Электроразрядный манометр

рн 964509 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(22) Заявлено 2306,80 (21) 2943605/18-10с присоединением заявки Мо -(23) ПриоритетОпубликовано 071082: Бюллетень Мо 37Дата опубликования описания 071082 51) М. Кл з 0 О 123/08 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ МАНОМЕТР ибороованося давизмереуде про м быстроастания должно развития Изобретение относится кстроению и может быть, исполдля измерения быстроменяющеления газа.Известно устройство дляния давления газа по амплитбивного напряжения 1 .Однако оно обладает низкдействием, так как время наимпульса высокого напряженисущественно превышать времяпробоя. Наиболее близким к изобретению является устройство для измерения давле ния газа, содержащее генератор высоко вольтных импульсов, электрический раз рядник и измеритель амплитудно-времен ной характеристики 2 .Однако известное устройство имеет ограниченное быстродействиеЦель, изобретения - повышение быстродействия.Эта цель достигается тем, что устройство снабжено передающей линией и согласованной нагрузкой, а в генераторе высоковольтных импульсов коммутатор выполнен в виде управляемого разрядника-обострителя, причем генератор высоковольтных импульсов, разрядник-обостритель, передающая линия,электрическии разрядник и согласованная нагрузка включены последовательно, а вход измерителя амплитудно-вре.5 менной характеристики подключен между передающей линией и электрическимразрядником.Кроме того, электрический разрядник выполнен микрозаэорным.При этом для увеличения срока службы электрического разрядника и повышения стабильности его характеристик,в генератор высоковольтных импульсоввведена наносекундная формирующая линия, включенная перед разрядникомобострителем.На фиг. 1 представлена функциональная схема предлагаемого электроразрядного манометра; на фиг. 2 - типич-.ная осциллограмма импульса напряженияна электродах электрического разрядника; на фиг. 3 - одна из калибровочных кривых зависимости давления газа. от времени задержки разряда; на фиг.4 одно из измеренных временных распределений давления газа.Электроразрядный манометр содержитгенератор 1 высоковольтных импульсов,передающую линию 2, электрический разрядник 3, согласованную нагрузку 4 и ЗО измеритель 5 амплитудно-временнойхарактеристики разряда, Генератор 1высоковольтных импульсов состоит иэисточника 6 постоянного высокого нап.ряжения, формирующей 7 наносекунднойлинии и управляемого разрядника-обострителя 8. 5Манометр работает следующим образом.В исходном состоянии формирующаялиния 7 заряжается от источника 6 дорабочего напряжения Оо, Затем, пос Оле срабатывания управляемого разряд.ника-обострителя 8, сформированныйнаносекундный прямоугольный импульсвысокого напряжения с длительнос,тью Ти и амплитудой Оо/2,через передающую линию 2 подается на электроды электрического разрядника 3. Втечение времени ь до момента пробоя разрядного промежутка, Импульсотражается в передающую линию 2 с 26амплитудой ОО.В момент пробоя разрядного промежутка электрического разрядника 3 напряжение на его электродахрезко падает и остается равным Оо/2до окончания разряда через согласованную нагрузку 4 в течение оставшегося времени импульса.форма импульса напряжения наэлектродах электрического разрядника 3 регистрируется измерителем 5амплитудно-временной характеристикиразряда (фиг. 2).На фиг, 3 приведена калибровочная кривая для электроразрядногоманометра, в котором амплитуда высоковольтных импульсов равна 10 кВ,а зазор у электрического разрядника 3 равен 80 мкм. Электроразрядныйманометр с такими параметрами позволяет измерять давление газа как стационарного, так и быстроуеняющегося 4 Ов области давлений 5 10 - 100 торр,эа время до 15 нс.На фиг. 4 приведено одно из измеренных временных распределенийдавления газа предлагаемым электроразрядным манометром. Электрическийразрядник манометра расположен нарасстоянии 6 см от места импульсного напуска газа электродинамическимклапаном в камеру дрейфа, предвари Отельно откаченную до давления 7 хх 10 торр,Технико-экономическая эффективность предлагаемого электроразрядного манометра состоит в повышении быстродействия, что расширяет область применения электроразрядных манометров и позволяет измерять пространственно-временное распределение быстро меняющегося давления газа, Предлагаемый электроразрядный манометр обладает высокой помехоустойчивостью и широким диапазоном измеряемых давлений,формула изобретения1. Электроразрядный манометр, содержащий генератор высоковольтных импульсов, электрический разрядник и измеритель амплитудно-временной характеристики, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения быстродействия, он снабжен передающейлинией и согласованной нагрузкой, а в генераторе высоковольтных импульсов коммутатор выполнен в виде управляемого разрядника-обострителя, причем генератор высоковольтных импульсов, разрядник-обостритель, передающая линия, электрический разрядник и согласованная нагрузка включены последовательно, а вход измерителя амплитудно-временной характеристики подключен между передающей линией и электрическим.разрядником.2. Манометр по п.1, о т л и ч а ю щ и. й с я тем, что электрический разрядник выполнен микрозазорным.3. Манометр по пп. 1 и 2, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения срока службы электрического разрядника и повышения стабильности его характеристики, в генератор высоковольтных импульсов введена наносекундная формирующая линия, включенная перед разрядникам-обостри,телем.Источники информации,принятые .во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРУ 286301, кл. 0 О 1 1. 11/00,12.05.692. Заявка Японии в 50-9440,кл. 6 О 1 1. 21/34 (прототип)."Патент", г.ужгород, ул,Проектна илиал П Редак Заказ 18/23 Тираж 88 ВНИИПИ Государственно по делам изобретени 113035, Москва, ЖСумцова Корректор М. Демчик Подписноекомитета СССРоткрытийушская наб д, 4