Устройство для подгонки пленочных микроузлов

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯСеафз Советских Сфциалистических Республик(51) М 1( 2 с присоединением заявки М 9 -01 С 17/00 Государствеииый коиитет СССР ио дмаи изобретеиий и открытий(53) УДК 621. 317. .735 (088.8) Дата опубликования описания 050579(71) ЗЬЯВИТ 6 ЛЬ Ленинградский институт авиационного приборостроения(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ПЛЕНОЧНЬИ ИИКРОУЗЛОВ Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть применено для регулировки пленочных микроузлов радиоэлектроннойаппаратуры.Известно устройство для подгон ки пленочных микроузлов, содержащее координатный стол, блок тестовых сигналов, состоящий из блока источников питания, блока эталонных источников постоянного напряжения, блока эталонных сопротивлений, схемы сравнения,.исполнительный орган,и блок управления координатным столом, причем блок 15 источников питания, подключается к подгоняемому микроузлу, к блоку эта-. лонных сопротивлений и блоку эталонных напряжений, выход блока эталоннйх сопротивлений подключен к входу подгоняемого микроузла, выходы, блока эталонных источников напряжения и блока эталонных сопротивлений подключены к двум входам схемы сравнения, выход схемы сравнения 25 подключен к входу исполнительного органа,Однако это устройство позволяет ,подгонять простейшие микроуэлы, содержащие однн-два каскада, только в статическом режиме (по постоянному току). Поэтомувдинамическом режиме выходные параметры могут значительно отличаться от заданных, что приводит к снижению точности подгоняемых микроуэлов. Использование данного устройства для подгонки мно-. гокаскадных микроузлов требует,;значительных затрат времени.Целью предлагаемого изобретения является повышение производительности подгонки многокаскадных пленочных микроузлов по амплитудно-частот" ной характеристике.Цель достигается тем, что в устройстве для подгонки пленочных микроузлов, содержащем исполнительный орган, блок сравнения, состоящий иэ эталонного микроузла и детектора эталона, соединенных последовательно н подключенных к одному из двух входов элемента сравнения, детектора подгоняемого микроузла, включенного между выходом подгоняемого микроуэла и вторым входом, элемента сравнения, выход которого подключен к входу исполнительного органа, синхронизатор, блок тестовых сигналов, координатныйстол с каретками:по координатам Х и У и блок управления каретками координаТНа чертеже представлена Функциональная схема устройства, которая содержит синхронизатор 1, первый интегратор 2, ключ 3, второй интегратор 4, перестраиваемый генератор 5 высокой частоты, подгоняемыи микроузел 6, детектор 7 подгоняемого микроузла, элемент 8 сравнения, исполнительный орган 9, эталонный микроузел 10, детектор 11 эталона, логический элемент И 12, сдвигающий регистр 13, координатный блок ждущих мультивибраторов 14, первый формирователь 15 заднего фронта, элемент совладения импульсов формирователя 16, управляющий триггер 17, Фантастрон 18, второй Формирователь 19 . заднего фронта, каретку 20 коордйнатного стола,прецизионный, потенциометр 21, коммуГатор 22, двигатель 23, элемент 24 совпадения координаций. 45 ного стола, блок тестовых сигналоввыполнен в виде последовательно соединенных первого интегратора, ключа,второго интегратора и перестраиваемого генератора высокой частоты, выходкоторого подключен к входам подгойяемого и эталонного микроузлов,причем выход элемента сравнения подключен к второму входу первого логического элемента И, блок управлениякаретками координатного стола выпопнен в виде логического элемента И, 1 Одва входа которого подключены соответственно к выходам синхронизатораи элемента сравнения, элемента совпадения координат и двух каналов селекции импульсов по длительности, каждый из которых содержит последовательно соединенные сдвигающий регистр,координатный блок ждущих мультивибраторов, первый формирователь заднего Фронта, эл мент совпадения импульсов формирователей, управляющий триггер, второй вход которогоподключен к выходу элемента сравнения, коммутатор и двигатель, который механически соединен с соответст.вующей кареткой координатного стола, и последовательно соединенныепрецизионный потенциометр, которыймеханически соединен с соответствующей кареткой координатного стола,фантастрон и второй формировательзаднего Фронта, выход которого подключен к второму входу элемента совпадения импульсов Формирователей,причем выход координатного блокаждущих мультивибраторов подключен 35к второму входу коммутатора, входсдвигающего регистра - к выходулогического элемента И, а вторыевыходы управляющих триггеров обоих .каналов селекции импульсов по длительности подключены к двум входамэлемента совпадения координат, выход которого подключен к второмувходу исполнительного органа. Устройство работает следующим образом.При включении устройства первый импульс синхронизатора подается на первый интегратор 2 и логический элемент И 12. Первый интегратор 2 за время длительности чмпульса вырабатывает на выходе напряжение ступенчатой формы и запоминает уровень выходного напряжения до следующего импульса синхронизатора 1. Выходное напряжение первого интегратора 2 подается на первый .вход ключа 3, и если этот ключ открыт, то подается на вход второго интегратора 4, который вырабатывает также ступенчатое выходное напряжение, которое передается на вход перестраиваемого генератора 5 высокой частоты, частота которого изменяется в зависимости от приложенного к его входу напряжения интегратора, Напряжение с выхода перестраиваемого генератора высокой частоты подается на входы подгоняемого и эталонного микроузлов б и 10, с выходов которых оно поступает на детекторы 7 и 11 подгоняемого и эталонного микроузловсоответственно, Продетектированные сигналы с обоих детекторов 7 и 11 подаются на два входа элемента 8 сравнения, где они сравниваются. Если . разность уровней напряжения с детекторов 7 и 11 находится в пределах допуска, то на выходе элемента 8 сравнения вырабатывается сигнал, соответствующий логическому Оф, открывающий ключ 3 и запирающий логи" ческий элемент И и управляющие триггеры 17 обоих каналов селекции импульсов по длительности. В то же время первый импульс синхронизатора 1, пройдя логический элемент И 12, пода" ется на сдвигающие регистры 13 обоих каналов селекции импульсов по длительности, устанавливая значение логической 1 в первом разряде сдвигающих регистров 13, выходной сигнал которых включает соответствующий мультивибратор координатного блока ждущих мультивибраторов 14 в автоколебательный режим. Эти мультивибраторы вырабатывают импульсы, дли" тельность которых пропорциональна соответствующей координате Х или У подгоняемого элемента микроузла, Импульсы с координатных блоков ждущих мультивибраторов 14 подаются ,через соответствующие первые формирователи 15 заднего Фронта, где вырабатываются импульсы, соответствующие заднему фронту импульсов с координатного блока ждущих мультивибраторов 14, на первый элемент совпадения импульсов формирователей 16, В это время каретки 20 координатного стола находятся в начальном положении, а механически свя;занные с ними соответствующие прецизионные потенциометры 2 вырабаты6616Мают постоянное напряжение, пропорциональное текущему положению кареток 20. Это напряжение подается на Фантастроны 18, где оно преобразуется в импульсы, длительность которых пропорциональна также текущему положению кареток 20 и соизмерима с дли тельностью импульсов с координатного блока ждущих мультивибраторов 14. Импульсы с выхода фантастронов 18 подаются через формирователи 19 заднего Фронта, аналогичные фор мирователям 15, на вторые входы эле.мента совпадения импульсов формирователей 16. Элементы совпадения импульсов формирователей 16 вырабатывают на, выходе импульс в том случае, когда импульсы с координатных блоков ждущих мультивибраторов 14 и фантастронов 18 совпадут по длительности, т. е. каретки 20 координатного стола отработают координаты требуемого подгоняемого элемента, Импульсы с выходов элементов совпадения импульсов формирователей 16 подаются на соответствующиеуправляющие триггеры 17, перекидывая их в открытое состояние и запирая 25 коммутаторы 22, которые, н свою очередь, останавливают двигатели 23, После отработки каретками обеихкоординат импульсы с управляющих триггеров 17 подаются на элемент 24 30 совпадения координат, который выдает сигнал разрешения на исполнительный орган 9. При этом включается исполнительный орган и производится подгонка регулируемого элемента до по" падания выходного параметра микро- узла в поле допуска. В этот момент элемент сравнения вырабатывает сигнал, запирающий управляющие триггеры 17 и логический элемент И 12 и открывающий ключ 3, после чего выходное напряжение с первого интегратора 2 подается на вход второго интегратора 4, и процесс контроля продолжается. Аналогично при выработке второго импульса синхронизатора 1 происходит подгонка следующего каскада микроузла. Сигнал с выхода элемента 8 сравнения дает дополнительную информацию о направлении подгонки, Этот сигнал через управляю щие триггеры 17 подается на коммутаторы 22, которые по программе отрабатывают перемещение кареток 20 координатного стола но время подгонки, 55Формула изобретенияУстройство для подгонки пленочных микроузлов, содержащее исполни 17 6тельный орган, эталонный микроузел и детектор эталона, соединенныепоследовательно и подключенные к одному из двух входов элемента сравнения, детектор подгоняемого микроузла включеннйймежду выходом подгоняемого микроузла и вторым входом элемента сравнения, выход которого подключен к входу исполнительного органа, синхронизатор, блок тестовых сигналов, координатный стол с каретками по координатам М и У и блок упранления каретками координатного стола, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышений производительности подгонки много- каскадных пленочных микроузлон по амплитудно-частотной характеристике блок тестовых сигналов ныполнен в ниде последовательно соединенных первого интегратора, ключа, второго интегратора и перестраиваемого генератора высокой частоты, выход которого подключен к входам подгоняемого и эталонного микроузлов, причем выход элемента сравнения подключен к второму входу первого логического элемента И, блок управления каретками координатного стола выполнен в виде логического элемента И, два входа которого подключены соответственно к выходам "синхронизатора элемента сравнения, элемента сонпадения координат и двух каналов селекции импульсов по длительности, каждый из которых содержит последовательно сОедииенные сдвигаю- щий регистр, координатный блок ждущих мультинибраторов, первый Формирователь заднего фронта, элемент совпадения импульсов Формирователей управляющий триггер, второй входкоторого подключен к выходу элементасравнения, коммутатор и двигатель, который механически соединен с соответствующей кареткой координатного стола, и последовательно соединенныепрецизионный потенциометр, который механически соединен с соответствующей кареткой координатного стола, фантастрон и второй Формирователь заднего фронта, выход которого подключен к второму входу элемента сов;падения импульсов Формирователей, причем выход координатного блока ждущих мультивибраторов подключен к второму входу коммутатора, вход сднигающего регистра - к выходу логического элемента И, а вторые выходы управляющих триггеров обоихканалов селекции импульсов по длительности подключены к двум входам элемента совпадения координат, выход которого подключен к второму входу исполнительного органа.емчикЗаказ сное илиал ППП Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 489/51 Тира ЦЯИИПИ Государств по делам изобре 113035 Москва Ж922 По нного комитета СС ений и открытийРа ская наб,