410494

п и С.Ахи ЗОБРЕТЕН И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ Ю 49 Союз Советских эциалистиыеских Республик Я е от авт. свидетельства15,Х.1971 ( 1705930/26-25)инением заявки-Зависи Заявле Кл. Н 011 7 с прис Государственный комитет Совета Министров СССР оо делам изооретений и открытийриоритет 621.382 (088.8) Опубликовано 05.1.1974. Бюллетень МДата опубликования описания 12 Х.1 Авторыизобретени егин, О, К. Тверд И, М. Глазков,узьмичев, Е. иВ,ф. Вол Заявител одиУСТАНОВКА ДЛЯ ПРИ РАМОК К ПОЛУПРОВ 1Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов, в частности оборудования для присоединения контактных рамок, выполненных на ленте, к контактным площадкам кристалла интегральных схем, диодных матриц, транзисторов, собираемых ленточным способом.Известна установка для присоединения контактных рамок к полупроводниковым кристаллам, содержащая лентопротяжный механизм, ловители, рабочий столик, сварочную головку и держатель кристалла. Контактная рамка фиксируется ловителями над рабочим столиком. Держатель кристалла вручную устанавливается над поверхностью рабочего столика таким образом, чтобы боковые стороны центрирующего отверстия для кристалла совпали с краями выводов контактной рамки, После этого полупроводниковый кристалл устанавливают в центрирующее отверстие держателя кристалла. Боковые стороны центрирующего отверстия скошены для приема и удержания кристалла, имеющего скошенные боковые грани, причем кристалл располагается лицевой стороной вниз. Сварочная головка опускается и приваривает сварочным инструментом контактную рамку к кристаллу. Рабочий столик служит жестким упором, а необходимое для сварки нагружение обеспечивается сварочной головкой. ИНЕНИЯ КОНТАКТНЫ КОВЫМ КРИСТАЛЛАМ Недостатками описаннои установки являются следующие: ограниченность сферы ее применения (установка приспособлена только для работы с кристаллами, имеющими скошенные 5 боковые грани), низкая точность совмещениякристалла с контактной рамкой; присоединение кристалла к контактной рамке лицевой поверхностью вниз, т. е, вслепую, что снижает выход годных изделий.10 Цель изобретения - повышение произвтельности и выхода годных изделий.Эта цель достигается тем, что установка содержит устройство совмещения контактных рамок с полупроводниковыми кристаллами, 15 состоящее из трех независимых прижимов,расположенных на расстоянии, кратном шагу ленты, один из которых закреплен жестко на корпусе, а другой выполнен подвижным для перемещения ленты к третьему (центрально му) прижиму. Под этим прижимом расположены закрепленные на салазке с вертикальной осью штыри-ловители, между которыми размещен рабочий столик, смонтированный на микроманипуляторе. Столик выполнен в 25 виде подпружиненной снизу каретки с вертикальной осью и снабжен двумя упорами, один из которых предназначен для регулировки расстояния между кристаллом и контактной рамкой при их совмещении, а другой является 30 ограничителем хода рабочего столика при за.хвате кристалла автооператором из кассеты - накопителя.Сварочная головка содержит упор, регулирующий опускание сварочного инструмента, производящего при этом отгибку выводов ниже плоскости контактной рамки,Такая конструкция обеспечивает автоматическое базирование контактных рамок независимо от неточйости подачи ленты на шаг с одновременной автоматической подачей ориентированных кристаллов с необходимым зазором на рабочий столик для совмещения кристалла с контактной рамкой.На фиг. 1 схематично показана предложенная установка; на фиг. 2, а - подача кристалла на рабочий столик; б - совмещение кристалла с контактной рамкой; в - присоединение контактной рамки к кристаллу.Установка для присоединения контактных рамок к полупроводниковым кристаллам содержит механизм 1 подачи ленты с контактными рамками; рабочий столик 2, установленный на микроманипуляторе 3; устройство 4 совмещения контактных рамок с кристаллами, автооператор 5, кассету - накопитель 6, сварочную головку 7, привод 8.Устройство 4 совмещения контактных рамок с полупроводниковыми кристаллами содержит три независимых прижима 9, 10, 11, расположенных на расстоянии, кратном шагу ленты; прижим 9 закреплен жестко на корпусе, а прижим 10 выполнен подвижным для перемещения ленты к центральному прижиму 11. Под прижимом 11 расположены штыри-ловители 12, закрепленные на вертикально перемещающейся салазке 13. Между штырями-ловителями 12 размещен рабочий столик 2, смонтированный на микроманипуляторе 3 и выполненный в виде вертикально перемещающейся каретки, приводимой в движение приводом 8 через рычаг 14. Для создания нагружения при сварке рабочий столик 2 снабжен снизу пружиной 15, Ход рабочего столика 2 ограничен двумя упорами 16 и 17, один из которых 16 служит для регулировки расстояния между кристаллом и контактной рамкой при их совмещении, а другой (упор 17) является ограничителем хода рабочего столика 2 при захвате кристалла из кассеты-накопителя 6 аВтооператором 5. Сварочная головка 7 снабжена упором 18, регулирующим опускание сварочного инструмента 19. Визуальный контроль совмещения кристалла с контактной рамкой осуществляется оператором при помощи проектора 20.Контактные рамки привариваются к кристаллам следующим образом. Перед запуском установки механизм 1 подачи ленты настраивают таким образом, чтобы перфорационные отверстия ленты несколько не доходили до оси штырей-ловителей 12. После этого осуществляется,наладочный цикл: подача кристалла на рабочий столик 2 и проверка совмещения контактной рамки (устройство совмещения 4) без последующей сварки. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 Механизм подачи ленты 1 подает лепту на шаг, после чего отрезок натянутой ленты зажимается прижимами 9 и 10. Зажим механизма 1 разжимается, и механизм возвращается в исходное положение. Подвижный прижим 10 перемещает конец отрезка ленты к центральному прижиму 11 таким образом, чтобы перфорационные отверстия ленты оказались по другую сторону оси штырей-ловителей 12 и образовалась свободная петля на ленте, чем обеспечивается свобода перемещения базируемой контактной рамки. Установленные на подвижной салазке 13 штыри-ловители 12 входят в перфорационные отверстия ленты, и центральный зажим 11 осаживает и зажимает совмещенную контактную рамку. После этого прижимы 9 и 10 разжимаются, прижим 10 возвращается в исходное положение, а лента вытягивается в обе стороны от зоны ловления, чем устраняется погрешность подачи ленты на шаг.Одновременно с совмещением контактной рамки производится подача кристалла, Рабочий столик 2 рычагом 14 от привода 8 доводится до упора 17 и автооператор 5, захватив кристалл из кассеты-накопителя 6, устанавливает его на рабочий столик 2 (фиг, 2 а), Затем автооператор 5 уходит к кассете-накопителю 6, рычаг 14 отводится в нейтральное положение, а рабочий столик 2 под действием пружины 15, обеспечивающей необходимое нагружение при сварке, поднимается до упора 16, который устанавливает необходимый зазор между совмещенной контактной рамкой и кристаллом, а оператор при помощи микроманипулятора 3 совмещает контактные площадки кристалла с выводами контактной рамки по экрану проектора 20.После этого оператор включает автоматический цикл, за время которого производится сварка совмещенной контактной рамки и кристалла и подача следующей контактной рамки и кристалла. Сварочная головка 7 опускается до упора 18, который ограничивает опускание сварочного инструмента 19 ниже плоскости контактной рамки (фиг, 2, в), отгибающего выводы контактной рамки. Рабочий столик 2 отходит от упора 16, чем обеспечивается необходимое для сварки нагружение, и включается ультразвуковая сварка. После окончания сварки сварочная головка 7 поднимается, позволяя просматривать зону сварки под проектором 20. Штыри-ловители 12 выходят из перфорационных отверстий, центральный прижим 11 освобождает ленту, которая перемещается на шаг, и производится очередное автоматическое совмещение контактной рамки и загрузка кристалла аналогично описанному. В конце автоматического цикла оператор совмещает кристалл с контактной рамкой, и начинается новый цикл сварки,Предмет изобретенияУстановка для присоединения контактных рамок к полупроводниковым кристаллам, со 410494держащая лентопротяжный механизм для перемещения ленты с контактными рамками на шаг, фиксатор ленты, рабочий столик, сварочную головку, автооператор для загрузки кристаллов и механизм привода, о т л и ч а ющ а я с я зем, что, с целью повышения производительности и выхода годных изделий, она содержит устройство совмещения контактных рамок с полупроводниковыми кристаллами, состоящее из двух независимых прижимов, один из которых закреплен жестко на корпусе, а другой выполнен подвижным для перемещения ленты к фиксатору, под которым располоясны закрепленные на салазке с вертикальной осью штыри-ловители с размещенным между ними рабочим столиком, установленным на микроманипуляторе, выполненным в 5 виде подпружиненной снизу каретки с вертикальной осью и снабженным двумя упорами, один из которых предназначен для регулировки расстояния между кристаллом и контактной рамкой при их совмещении, а другой яв ляется ограничителем хода рабочего столикапри захвате кристалла автооператором из кассеты-накопителя.410494 Составитель Н. Островская ктор А. Дзесова едактор Т, Орловская Техред Т, Ускова Заказ 1067/9ЦН Подписи Типогр пр. Сапунова,Изд, ЛЪ 333 ПИ Государственного по делам изоб Москва, Ж, РТипаж 760митета Совета Министров СССтений и открытийушская наб., д. 4/5