Вптб

ОПИСАНИЕ 4 Об 921ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик3 в но н ао Заявльчо тельства Х. -от авт. св 1. Кл. С 21 с 9 00 1712044/22-1.Х 1.1971 ( рнсосдннением заявки Лое Государственный комитетСовета Министров СССРоо делам изобретенийи открытий Приор нте Опублнко Дата опу но 21.Х 1.1973. Бюллетень Ле 4 С 621.783 (088.8) исания 30.1 Ч. ликования Авторызобретени Ефищова,К. Васильев, В, К. Костерев, Г. А. Фомин, 3. Е А. А. Овечкин, Б. С. Мухин и В, С, Насо ВП а я в гтелФЯ 3 3 ЯЮЩ 3 УСТАНОВКА ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИСКИХ ШТУЧНЫХ ИЗДЕЛИЙ НА ГАЗОВОЙ ПОДУШКЕ П Изобретение относится к термической обрботке изделий полупроводникового проиэводс Известна установка для терм ообработки лаоких штучных изделий на газовой подушке, в которой аперационно-транспортное устройство выполнено,в виде трубы, а,профилированный под печи выполняет при этом роль рабочей дорожки. Известная установка характеризуется возможностью,наплыва изделий при т о транспортировкеручной загрузкой и разгрузкой,и отсутствием,регулирования скорости перемещения обрабатываемых,изделий.Описываемая установка отличается тем, что труба с,рабочей дорожкой представляет собой т;, операционный и передаточные лотки, соединенные в единый пылезащитный транспортныт контур с направляющими боковыми буртиками, снабженный кассетами-носителяци, которые выполнены,из термостойкого чистого мате о риала в виде плосиих:пластин с ограничительными упорами и имеющих наклонные отверстия в основаниях, снабженный устройством для управления скоростью, перемещения кассет.носителей, выполненным в виде горизон тальных приводных дисков с профнлированнымн канавками, симметрично углубленных в концентрнчдье выемки транспортного контура, енабженный кассетой-питателем и кассетой- накопителем, выполненными в виде П-образно- зо го профиля с пазами для изделии, снабхенного лотками приема и подачи изделия, выполненными с направляющихи буртиками в примыкающей к транспортному контуру части п не ноеющим буртиков,в своей узкой части, размещаемон в кассете, и снабженного мехатоизмом совмещения кассеты-носителя с лотком подачи изделия, выполненным в виде вилки нз двух стержней, проходящих через тело транспортного;контура. Это позволяет избежать наплыва изделий, транспортировать их с вращением, плачевно регулировать скорость перемещения н автоматизировать процессы загрузки н разгрузки.На фиг, 1 показана установка, план; на фиг. 2 - разрез по А - А на фи. 1; на фиг. 3 - разрез по Б - Б на фиг. 1; на фнг. 4 - разрез по В - В на фиг. 1; на фпг. 5 - разрез по Г - Г на фиг. 1; на фиг. 6 - схема транспортировк изделия на газовой подушке,В нагревательной камере 1 установлен реактор 2, внутри которого располоокен операционный лоток 3, имеющий рабочую дорожку,с буртиками 4, шириной несколько большей, чем ши. рина обрабатываемого изделия 5 и в котором имеются наклоненные,в старону движения отверстия 6 для выхода газа, подаваемого внутрь лотка через штуцер 7. Обрабатываемые изделия э располатаются на 1 кассетах-носителях 8, снабхенных огранивительными упорами 9 н15 20 25 зо з 5 4 О 45 наклонными Огьерстпямн-соплами 10. На торцах реактора 2 установлены газовые завесы 11. Передаточные 1 отки 12 и И совместно с операционным лотком 8 образуют замкнутый транспортнып контур, заключенный в единый пылезащитный кожух, состоящий,из элементов 14, соединенных с камерой загрузки 15 и .камерой выгрузки 1 б. В приводном гнезде 17 казимеры загрузки 15 установлена,каосета-питатель 18, в,приводном гнезде 19 камеры выгрузки 16 - кассета-навопитель 20, Обе кассеты, выполнены с пазами 21, число которых соответствует числу загружаемых или принимаемых изделий 5, В П-образный профиль кассет вставлены передаточный лоток 22 и приемный лоток 23.Для управления процессом загрузки в лоток 22 встроен датчик 24, фиксирующий взаимное положение кассеты-питателя 18 и лотка 22, а для совмещения лотка с кассетой. носителем 8 установлен механизм 25, состоящий из двух стержней в виде вилки, проходящей через отверстия в передаточном лотке 12, где,установлены также датчики 2 б, 27 и 28, фвксирующие положение каосеты-носителя в начале и в конце зоны загрузки, и датчик 29 положения изделия в кассете-носителе.Для управления процессом разгрузки установлены: датчик 30, плоскощелевое сопло Л и датчик 82. Устройство для управления скоростью линейного перемещения каосет-носителей состоит из двух горизонтальных дисков 88 и,34, соединенных подпружиненным шарниром 35. Оба диска снабжены профильными торцовыми канавками Зб и,расположены в копцентричных выемках 37 лотка 12. Виптовые опоры М предназначены для взаимного регулирования лотков по плоокости транспортировки,В приводное гнездо 1 Г камеры загрузки 1 б устанавливается кассета-почитатель 18 с изде. лиями 5, а в приводное гнездо 19 камеры выгрузки 1 б - порожняя кассета-накопитель 20. Далее включается схема управления, при этом изделия 5 из кассеты-питателя 18 периодически пэдаются на подходящие на загрузку кассеты-носители 8, поступающие далее в реакторр 2 на термическую обработку,Изделие при обработке, находится во взвешенном состоянии и вращается между Оргапичптельными упорами 9 и направляющнмн буртиками 4.На выходе из реактора 2 датчик 32 подает свгнал на плоскощелевое сопло 31, энергия струи которого перемещает изделие с кассетыносителя 8 на лоток Л и далее в паз кассеты- накопителя 20, а порожняя кассета-носитель 8 по замкнутому транспортному контуру перемещается на позвцию загрузки. Далее цикл повторяется.П р ед м е т,из О б р е т е н и яУстановка для термической обработки плоских штучных изделий на газовой подушке, содержащая нагревательную камеру, операционно-транопортное устройство, выполненное в виде профилированной трубы, отлиаающаясл тем, чтос целью избежания наплыва изделий, транспортирования их с вращением, плавного регулирования окорости перемещения и автоматизации процесса загрузки,и разгрузки, труба с рабочей дорожкой представляет собой Операционный и передаточные лотки, соединенные в единый пылезащитный транопортпый контур с направляющими боковыми буртиками, снабженный каосетами-носителямн, выполненными из термостойкого чистого материала в,виде плоских пластин с ограничительными упорами и имеющих наклонные отверстия в оспованиях, устрОЙством для управления скоростью пвремещения кассет-носителей, выполненным в ниде горизонтальных приводных дисков с профилированными канавками, симметрично углубленных в концепатричные выемки 7 ранспортного контура, кассетой-питателем и кассетой-накопителем, выполненными в виде П-Образного профиля с лазами для изделий, лотками приема,и подачи, изделия, выполненными с направляющими буртиками в примыка. ющей и трапспортному контуру части и пе имеющими буртпков в своей узкой части, размещаемой в кассете, и механизмом совмегцення кассеты носителя с лотком подачи изделия, выполненным в виде вилки из двух стержней, проходящих через тело транспортного контура,406921 Г Составитель В. Мальцев 1 едактор Л. Струве Техред 3. Тараненкоорректор Т. Добровольск Заказ 5795Тирагк 647Цг 1 ИИПИ Гкомитета Советапо делам изобр Изд.183 ПодсударственноМинистров Сений и откр ытии Обл, тип. Костромского управлении издательств, полиграфии