Способ доводки поверхностей

Определя дом величин мы обрабаты бранной пов вытом интерфают в пол акой наст средние ос ного поля рентном сл,.Фф Ф -ъ.,ф,6, я, СОЮЗ СОВЕТСКИХ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОБИЛИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ Н АВТСРСКОМУ С(57) Изобретение относится к машиностроенао, а именно к техцологическимпроцессам получения высокоточных поверхностей, преимущественно оптичес-ких, методами доводки. Цель изобретения - упрощение способа и повышениепроизводительности за счет исключенияопераций расшифровки интерферограммы,на которой Фиксируются отклоненияформы поверхности от эталонной, и ручного ввода значений погрешности Формы Изобретение относится к машиностроению, а именно к технологическим процессам получения высокоточных поверхностей, преимущественно оптичес-.ких, методами доводки.Целью изобретения является упрощение способа и повышение производитель ности за счет исключения операций рас шифровки интерферограм,ы, иа которой фиксируются отклонения Формы поверх ности от эталонной, и ручного вводазначений погрешности Формы в систему управления обработкой,в систему управления обработкой. Интерференционцым методом определяют величины и знаки отклонений Формы обрабатываемой поверхности от заданной. Интерференционную картину получают в полосах бесконечной ширины при такой настройке интерферометра, когда средние освещенности интерференционного поля при когерентном и некогерентном сложении волновых фронтов равны между собой. Зарегистрированную ицтерферограмму помещают между источником равномерного коллимированного излучения и Фотоприемником. Интерферограюу и фотоприемник приводят в движение, соответственно повторяющее СЩ движение обрабатываемой поверхности и инструмента-ретушера. Сигнал, полученный на выходе Фотоприемника, подает на вход устройства, которое плавно Ъеав изменяет величину давления инструмента на обрабатываемую поверхность. 1 ил. же изображена схема устализующего способеалцзуют следующим образом ют интерференционным метоы и знаки отклоненифорваемой поверхности отерхцости сравнения. Приеренционную картину полусах бесконечной гярины приойке ицтерферометра, когдаещеццости интерферевццон. -ри когерентцом ц некогежении волновых Фронтов рав:,. .тос.т 1 . ) )(сй пав(.р;:.( Сги инг(".: рагрялтм 1 т,(1:между соб(д) иРЕГ(; ТРИРУ(ат тц;Р РЕНЦИОж,о КаРти,1.)с.те чго )и "С)эт заростри - рогя;тую 1 нтер)От 1)здс 1 у лтс)(гту истсцт 10 ни(,О.: ря(;тсмед .(. го коллилдтрс)ь.Иного 11".).УЧ.Я И сОТОПР; М;ИКОМ, ПРИВОДЯТ нцт. . ерог)ятд".у и )о(опрне:;нк в дв.,;.е, соат тстеИо по; (орятотт еГд 1 с:;енте Об):;б".-яд.емо 1 пос:ност 11 ц инструмента; тугера (ня;.р мер, При нс могт( гтс 1(тя;(:-того н мяс (тябного я)я 1 логрялж:;ого и .ханнадон), пода;т толучецньй нс вью;оде фотоприемника с нгнял на вхот, устройства, плавно ( ИзмеЬяющего величину давления инструл 1 етття - ретугеря на обрабатываемуюпогрхность и осуществляют сеанс упрявля"мой ретуши.Коррекция дявлецця обеспечивается тем, что при указанной настройке интерф".)ометра оптическая прозрачность или коэффициент пропускания интерферограмлз пропорт(отсльни отклон( ниям обГяб:тътваемой поверхности от выбраннои с)верхности срг(вения. Помещая заре,истрн(роваиуо 1 Терферогря му ме)(сду ,;стопиком коллгированното равномер.Ого излу (дни и фотоприемником и приОд-; (;отопри( 1.1(111. и интер(ерограмму35 ( дг(ге(ие, янг(тогичное;.;",тнтт(о инструтента-ретулеря и обрябятывяемой О)ерхности, на входе (ЬоОтрилтнттка , О,т тают электгический стгцял, кото -;1 в са)тд.гй мотдсцт времени пропортио-, :Лен клоненптл обрабатываемой по:.)хтости От т)1;ряцнод О.:1 ,)хцостцсрав.Ния.Усзройство сс)држтгг изделие с Обрабатвясл 01 пов хно тью 1 ) сове)шаю-,5 щее врацательно 1 двия.ени(д Относит ельв НО ОС ОХ ПОВСДОК д.ПРИЦС(ОГ.;й ВОЗ - ВРПТНО - ПОСТУПЯТЕ)дпо(д ДВ.:т:ЕНИЕ МЯЛО- размерному инструменту (г о 1:(ро.яльци - 1;у) 3, устройство ( изменння дявлеПтл ня инструмент 3, пяряллелогряммцттй л;ехаццзм 5 с укрепленл ця цемс)тоц 1;ем 1 кол б, ццтрф( р: гра. е(у , стятопл(1111) н; 10 л т лп.д:т(. 8 ис( От Ц 1 9 К ОЛ Нт "т Р О Н Я Н Ц О Г О 1 З( С; (т Е1 т,55;, ; зуб.ятс. к ); "о 1, фт:;11)с)- )яНад) Ось 1 1 ( ттн:(ь зя Ото(ьи 1.1(ял 1 , уб 1;1 тъ(. 1 о 1с;1 141 ду;, ( ( (Я:ттоко:(- 1;с 1 т в зац(цтч.ние одновременно с зубчатьмКО)1 ЕСО 1 жСТКО Цтс(1)ЕЦНЫМ Ц 1 1(ЛгП(де(я зяготовктт и с кс)лесом, насанцътм я цо,тыи вял шпинделя ицтерферогрялт;11. В таком случае ошибки зубчато(О ЗяЕНЛЕНИя Вт,тбцраштСя ОдНОВ 1(МЕНцо и н Одцом напрявлеции, поэтомугаряцтнр;дтся высокая стабильность козффити(.тя передачи,И 1)оме этого, возможно решение вопроса при использовании в цепи обратНОИ СВНЭИ ДаТЧИКОВ ТИПЯ УГОЛ КОД дПой:"ццдель 8 устяцавливяют такимобразом, чтобы его ось врящеция былапараллельна оси врящецця шпицделя.обрябят).емого изделия 1.Устрой(ство регулируется так, чтобы при осциллируто)их движениях поводка 2 относительно центра изделия 1,фотоприемццк 6 исполнял подобное движение относительно центра интерферограммы . 11 ясштяб пяраллелограммцогомеханизма 5, т.е. соотношение плеч АВи Г,1 (фцг. 5), делают равным отношениюсветовътх диаметров обрабатъваемойповерхности и интерферограммы. Вращение интерферограммы передается при помощи плацетярного механизма (зубчатыхколес 10, 14, 15).Для обеспечения соответствия установки лте;д ту фотоприемником-интерферогряммой и инструментом-заготовкой) перед съемкой интерферограммы на краюзаготовки делают метку .11, котораяпосле съемки отображается на интерферограмме в виде метки 11. 7 еперь дляобеспечения соответствия по углу разворота л)ду заготовкой и интерферогрял.мой достаточно последнце развернуть так, чтобы метки попали на линию(или на ее цро(дкцп, соединяющуюцентры грящения заготовки и интерферогрямт ды. Для обеспечения соответствия по радиусу (ц(итры соответственцо в 0 и О) между инструментом и фотоприемником пара) .(ло грслтмцьп механизм исполняется в мясгтабе с коэфЪици(днтом подобия "К" из вряжения 1, а фиксированная ось 11 устяцавливается на лцнио 00. Теперь ри соглясоваццом вратнии заготовки и интер)ерограммьт фотоприемцк и инструмент будут скаццроттать соотвст(Уг;цсд учясткц цоврхности, Б качстн( устройстгя, изменяющего дявлснцс ттолцровялдцикя 3 ня изделие,испольэу( тс( вбря 1 отцты 1 электродинамический стенд (БЭДС), установленный позади станка (серии 11 Д илн ПП).ВЭ,1 С передает исполнительное усилие на инструмент через тянуще-толкаю 5 щий шток, укрепленный за проушину на удлиненном конце поводка. Диаметр диафрагмы фотоприемника определяется из соотношения=-,-= - й, 10 где 1), - диаметр заготовки;Р - диаметр инструмента;АВ - больаее плечо параллелограммного механизма; 5й - диаметр интерферограммы;- диаметр диафрагмы фотоприемника;С 0 - меныпее плечо параллелограммного механизма;Е - коэФФициент подобия.Такии образом, диаметр диафрагмы равен3 Ии 1 259(Диаметр инструмента определяется как среднее расстояние между экстремумами на нормальном профиле обрабатываемой новерхности, Фактически же выбирает размер инструмента равный или З 0 меньший размера неровностей.7 раектория сканирования характеризуется вращательным движением системы финтерферограмма-заготовка" и радиальиьп 4 движением системы "фотоприемник.ииструмент". 3 результате сложения этих перемещений суммарная результи" рующая траектория сканирования выглядит в виде скручив;пощейся относительно центра вращения заготовки, кривой -40 звольвенты. От величины скоростей вращательного и радиального движений зависит длина и размах эвольвенты. Скорость сканирования через относительные скорости заготовки и инструмента доллна быть подобрана так, чтобы,на краю заготовки обеспечивалось равномерное перекрытие обрабатываемой поверхности ряом последующих проекций инструмента. Кроме того, необходимо обеспечить скорость радиальногодвижения системы "ннстру.ент-сЬотопрцемннк с ускорением к центру. Поскольку к центру растет "коэФФициент перекрытия", соответственно пропорционально должно снижаться время присутствияинструмента в центральной зоне. Варьируя соотношением "коэффициенты пере -крытия" и "время присутствия", доби;ваются однородности величины удельного съема в любой зоне обработки. Формула изобретенияСпособ доводки поверхностей, преимущественно оптических. включающий в себя предварительное определение интерферениионным методом величины отклонений формы обрабатываемой поверхности от эталонной, обработку поверхности инструментом-ретушером с переменным давлением на поверхность, при этом величину давления задают пропорционально величине погрешности в соотвеТствующей точке, о т - л и я а ю щ н й с я темчто, с целью повьппения производительности и упрощения способа, определение погрешности формы осуществляют путем регистрации интерференционной картины в полосах бесконечной ширины при условии, что средние освещенности интерферограммы при когерентном и некогерентном сложении волновых фронтов равны между собой, а полученную интерферограмму помещают между источниками равномерного коллимированного излучения и фотоприемником, при этом давление на инструмент задают пропорционально сигналу с фотоприемника, которым сканируют интерферограмму синхронно с перемещением инструмента, а интерферограмму. перемещают синхронно с обрабатываемой поверхностью.ка 9 155 1 ПИ Го Составитель А.СтепанТехред М.Дидык Тираж Подпис н ое",зрств .ного ко.е.тета по изобретениям и открцтици при ГКНТ ССС 113035, Москва, БРаунскал наб., д. 4/5