Электромагнитная линза

ОЮЗ СОВЕТСН ЦИАЛИСТИЧСПУБЛИН ИХ 51) Н 01 1 37/ Р 27водственное объед нитно ук ьство СССР 37/20, 197(57) Изобретениетронной микроскоп ТНЛЯ ЛИНЗАотносится к элекии и может бытьразработке охлажданых линз (ЭГЛ) дляских систем. Цель использовано при мых электромагни электронно-оптич элекет быть ке охлажинз (ЭМЛ) систем. ышение счет введ к аюцегоеи. со схемои Аиг.2 и колькими т каркаскоторая ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР(56) Гравель В.И., Ченцова Н.ВОхлаждаемая обмотка электромаглинзы. - В сб. Х 1. Всес.конА.электронной микроскопии. - 11.:1979, т.1, с.22.Авторское свидетелР 661646, кл, Н 01 3 Изобретение относится тронной микроскопии и мо использовано при разрабо даемых электромагнитных для электронно-оптических Цель изобретения - по термостабильности Э 11 Ч за ния дополнительного охлади элемента в виде термобат На Аиг.1 показана Э 1 Л регулирования, разрез; н 3 - то же, снабженная не отдельными термобатареями Конструкция ЭМЛ включ 1, обмотку 2 возбужденияизобретения - повышение термостабильности Э 1 ГЛ путем введения дополнительного охлаждающего элемента в видетермобатареи (ТБ). Э 11 Л содержит магнитопровод, обмотку возбуждения, размещенную внутри герметизированногокорпуса и пропитанную легкоиспаряющейся жидкостью. Над обмоткой возбуждения расположена система конденсации жидкости в ниде кольцевой проточной полости, которая имеет общуюстенку с герметизированным корпусом.В этой стенке выполнены зазоры, вкоторых установлена ТБ. Ее холодныеслои контактируют с общей стенкойсо стороны герметизированного корпусса, а горячие - со стороны проточной полости. ЭИЛ может содержать несколько ТБ, которые размещены в зазорах, выполненных в пределах равномерно расположенных по окружностисекторов, 1 з.п. А-лы, 3 ил.1 размещена в герметизированном корпусе 3 и пропитана легкоиспаряюцейся жидкостью, например диэтиловымэАиром, Над обмоткой возбуждения расположена система конденсации жидкостив виде кольцевой охлаждаемой проточной полости 4, соединенной штуцером 5с внешним источником хладагента, обычно воды. Проточная полость и герметизированный корпус имеют одну общуюстенку конденсации - охлаждения. Взазорах, выполненных в этой стенке,размецена плоская термобатарея 6,холодные спаи которой контактируютс общей стенкой со стороны герметиэи 1580454рованного корпуса 3, а горячие - со стороны проточной полости 4, Схема регулирования включает коммутационный блок 7 управления, источник 8 питания, блок 9 сравнения, входы которага соединены с датчикам 10 температуры охлаждающей воды и датчиком 11 температуры обмотки возбуждения,Электромагнитная линза работает 10 ;следующим образом.В проточную полость подается ох,лаждающая вода и включается питание ,обмотки возбуждения ЭИЛ. Предварительна задается диапазон регулирования напряжения, подаваемого на термабатарею, в зависимости от установившейся разности температур воды и обмотки охлаждения так, чтобы температура последней находилась в задан О ных предепах. Вследствие выделения тепла в обмотке возбуждения происходит нагрев и испарение легкоиспаряющейся жидкости, пары которой поднимаются вверх, конденсируются на охлаждаемой общей стенке и стекают вниз, обеспечивая непрерывностьпроцесса,. аналогично тому, как зто происходит в тепловых трубах. При нестабильной температуре воды в случаеизменения наружной температуры и других внешних тепловых Аакторах, которые регистрируются датчиками 10 и 11, дополнительно регулируется охлаждающее действие термобатареи, которое сглаживает или компенсирует колебания температуры обмотки возбуждения при ее выходе за установленные пределы. В результате уменьшается термодрейА обмотки возбуждения, что ловьппает качество злектронно-аптических характеристик электронного микроскопа. Интенсификации теплообмена способствует установка отдельных термобатарей в равномерна расположенных по окружности зазорах в пределах секторов. При этом реализуются васходяще-нисходящие потоки легкоиспаряющейся жидкости. Угловые размеры спектров и их число определяется плотностью тока в обмотке возбуждения, ее йормой и размерами. Например, для ЭИЛ с наружным диаметром обмотки возбуждения 120 мм, внутренним 50 мм и толщиной 30 мм при заданной плотности тока 12 А/ммбыли установлены четыре термобатареи толщиной 6 мм в секторах с углом при вершине 60 , а в пределах секторов междуотермобатареями с углом 30 общая стенка выполнялась сплошной, При таких соотношениях обеспечивалась высокаяинтенсивность и равномерность охлаждения обмотки возбуждения по азимуту.Формула и з а б р е т е н и я1. Электромагнитная линза, содержащая магнитопровод, обмотку возбуждения, размещенную внутри герметизированнога корпуса и пропитанную легкоиспаряющейся жидкостью, а также систему конденсации жидкости в виде кольцевой охлаждаемай проточной полости, расположенной над обмоткой возбуждения и имеющей общую стенку с герметизированным корпусом, а т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения термостабильнасти линзы, ана снабжена плоской термабатареей, расположенной в зазорах, выполненных в общей стенке, причем холодные спаи термобатареи контактируют с общей стенкой со стороны герметизираваннога корпуса, а горячие - со стороны про" точной полости.2, Линза по п,1, а т л и ч а ю - щ а я с я тем, чта зазоры в общей стенке выполнены в пределах, равномерно расположенных па окружности секторов.1580454 оатавительаврюши Редактор Л.Зайцева Техред М,Ходанич Корректор М.Пож Заказ 2017 Тираж 406 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5агарнна, 101 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород