Способ контроля периодических изображений

(5 Н 4 С 06 К 9/О ИОАН ИЗОБ ТЕН АВТОРСК СВИДЕТЕЛЬСТВ(прототип) . томаеди предпри кон тошабагаемо ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПЕРИОДИЧИЗОБРАЖЕНИЙ(57) Изобретение относится ктике и вычислительной технике бретение относится к автомати и вычислительнои техник начено для испольэовани роле качества изготовления фо лонов интегральных схем.Цель изобретения - повышение точ ности контроля за счет увеличения площади контролируемой области пери одического изображения.На фиг.1 изображена принципиальная схема устройства, предназначенного для осуществления предл г способа на фиг.2 - функциональная схема устройства.Устройство содержит лазер 1, зер кала 2, коллиматор 3, объектив 4, за которым размещается контролируемое периодическое изображение 5,вхо ную диафрагму 6, объектив 7, полупрозрачное зеркало 8, зеркало 9,назначено для контроля качества изготовления фотошаблонов интегральныхсхем. Целью изобретения является повышение точности контроля за счетувеличения площади контролируемойобласти периодического изображения.Цель изобретения достигается тем,что выделяют три области контролируемого периодического изображения,мультиплицируют их,взаимно совмещаюти компенсируют, По степени компенсации судят об однородности контролируемого периодического изображенияВыделение трех областей позволяетустранить зависимость степени компенсации от координат расположениядефектов. 2 ил. объективы 10 и 11, диафрагмы 12 и 13, дифракционные решетки 14 и 15, объективы 16 и 17, диафрагмы 18 и 19, зеркало 20, объективы 21, полупрозрачное зеркало 22, контрольный экран 23, объектив 24, фотоприемник 25 и электронный блок 26 регистрации. На контролируемой структуре имеются дефекты 27-29. Позиции 30-36 приведены для пояснения функциональной схемы.Способ осуществляется в следующей последовательности.Операция мультипликации. Луч света от лазера 1 направляетоя зеркалами 2 на вход коллиматора 3, расширяется и фокусируется объективом 4, в сходящемся световом пучке которого располагаются контролируемое периодическое изображение 5 и входная диафрагма 6, помещенная возможно ближек плоскость структуры. Б:,:танспьзный объективом 7 световой пучок расщепляется полупрозрачным зеркалом 8на две части одна из которых непосредственна, а другая зеркалом 9 направляются соответственна на абъек.тиВы 10 и 11. В сходящемся световомпучке объектива 10 располагаетсядвойная диафрагма 12, выделяющаяизображения первой и второй областей контролируемого изображения 5,а в световом пучке объектива 11диаФрагма 13, выделяющая изображениетретьей области контролируемого изабражения. В Фокальных плоскостях объективов 10 и 11 устанавливаются дифракционные решетки 14 и 15 периодвторой из которых выбирают равным половине периода первой. Посредствамрешеток 14 и 15 формируют па три изображения от каждого из трех вьГг;еленныхэлементов структуры: па одному иулеовага порядка 1,: и по два первого- +порядка 1.и 1мультипликации(позиции 30 и 31),Операция совмещения. Для выделения дефектов контролируемого периодического изображения используютсяизображения первых порядков мульти.пликацииСдвигам изабра кениедизфрагмой 6) ьдапь оптической осисистемы добиваются совмещения изображения 1 ., сформированного ат первой Области с. изоаражением 1 с:рармираванным решеткой 14 ат второи области (позиция 32), Изображения 1и 1:, сформированные решеткой 15 оттретьей области изсбраже-,.ия 5, си:темой из двух Объективов 21 подвер 40гают двум последовательным Фурье преобразованиям (позиция 33) и тем самым производят инверсию их системыкоординат (х, у - х , у"). Даннаяоперация позволяет в выходной плас 45кости попарно, совместить изображенияпротивоположных по знаку порядков-+1 -тс" тмультипликации 1, -1 и 1, - . влагодаря тому, ч-О период решетки 15в два раза меньше нериэда дифракци 50анной решетки 14, совмещение изображе.ний 1 и 1 , 1 и 1 производят непосредственно полупрозрачным зеркалом22 (позиция 35). Контроль Операциисовмещения ведут по экрану 23,55и компенсации. При положении дифракционных реыеток 14 и 15"соз" относительно оптической осисистемы изображения противоположных з-.сь а,; Ов ыу.сьт:.: . гаци. совпадают по ,.эе, газ".с .",. Фаэ ЯВПЛГ ТСЯ ПРН СМЕ 1 ЕНПИ ОЕШЕ . ОК В ложение "з 1 и" . Прн эта.: иформация о бездефсктных усчас, ках иэгражегЯ совмещен и к Об.,ас ей и. Ображения 5 взаимно компенсируется. В реэуль - тате. в плоскости кантпальнаго экрана 23 и объектива 24 формируется информация лишь о дефектах 27-29 соответственно первой, второй и третьей областей изображения 5 (позиция 36), Наличие дефектов 27- 29 вызывает появление импульса Фото- тока приемника 25, который регистрируют электронным блоком 26.Если апертура каллимированнога светового пучка и конФигурация изаб: ражения 5 г 1 оэваляю: .,сю поверхность последнего разбить ьа .ри области,та контроль ее на этом и заканчивается,. В противном с.пучае изображение 5 разбивают на число областей, кратное трем. а контроль производят в несколько циклов. При этом, как показало на спазиции 36 (фиг. 2), дефекты любой выделенной областинезависима от ее порядкового номерав выхаднои плоскости удваиваются, т,.е, .-.заГгоажение любой области впроцессе контропя сраппивается с изображениями двух соседних областс-й Та ПОЗВОПЯГТ гссРВНИТЬ ЗаВИсимссть значения выходпогс;ИгналаОт координат распалажегщз дефекта1 сг иэображении,Предлагаемый способ контроля павриодических иэобрасжений позволяетконтролировать "груктуры,. Количества гтолбпав которых равна трема при и кратному трем - устранитьзависимость значения выходного сигнала от координат расположения дефекта на структуре л тем самьм повысить достоверность контроля, Кро ,е того способ позволяет произвоПитъ СР-"ВсЕНИЕ ЛВХ "ЛажНЫХ РИСЧ- ков между собой с одновременным сравнением каядога из них с эталонам.сФормула изобретения Способ контроля периодических иэображений, включающий мультиплика;ию совмещение и компенсацию оптических сигналов, соответствующих различным областям контролируемого периодического изображения, о т л и51511753 6 ч а ю щ и й с я тем, что, с целью областей путе, периодической фаэоповышения точности контроля, произ- вой модуляции их ; ространственно водят оптическое маскирование перио- частотных спектров, совмещают муЛьдического изображения, выделяя три типлицированные оптические сигналы его одинаковые области, первая5первой области с мультиплицированныиз которых совпадает с оптическим ми сигналами второй и третьей облас-. центром периодического иэображения, тей, соответственно, после чего проа вторая и третья находятся на рав- иэводят оптическую компенсацию всех ных расстояниях по разные стороны 10совмещенных оптических сигналов и от первой, формируют два независи- по степени компенсации судят об одмых мультиплицированных оптических нородности контролируемого периодисигнала для каждой из выделенных ческого иэображения.1511753 Составитель А.Красноедактор И.Касарда Техред М,Дидык оррект авцова здательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 10 роиэводстве Заказ 5905/52 Тираж 668 НИИПИ Государственного комит 113035, Москвпо изобрЖ, Рау Подписноеениям и открытиям при ГКНТ СССР кая наб., д, 4/5