Ахроматическое фазосдвигающее устройство

.СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 119) 111) 151)4 С 02 В 7860 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ юл. У 34диотехники и э кт ный в и Н.М.Россу 088,8)Г,С. Оптика. М 5-486.Селезнева В лизации супера двигающего ус На О ома ойсдова аука ия - м Ново 3.(57) Изобретенким поляризаци тносится к опти нным ента СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Институт рники АН СССР(56) Ландсбергка, 1976, с. 48Бернухов В.Свозможности реатического фазосва. Эллипсометрния поверхности1983, с. 121-12 изобретения - расширение спектрального диапазона ахроматичности, обеспечение воэможности перестройки фазового сдвига и снижение материалоемкости. Отражающий элемент приведения луча к первоначальному направлению выполнен в виде двух зеркал 2 и3 из материала, характеризующегосявозрастанием фазового сдвига с увеличением длины волны. Отраженный отромба 1 коллимированный пучок излучения падает на параллельные зеркала2 и 3 под углом т . Высокая ахроматичность устр-ва в различных спектральных диапазонах достигается совместным наклоном зеркал 2 и 3. Привыполнении зеркала 3 сферическимустр-во может быть использовано в качестве зеркального микрообъектива.3 ил.Изобретение относится к оптическим поляризационцым элементам и может быть использовано при измерениях состояния поляризации в спектральной эллипсометрии, поляриметрии, магнитооптике и интегральной оптике.Целью изобретения является расширение спектрального диапазона ахроматичности,обеспечения возможности перестройки фазового сдвига, снижение материалоемкости,а также расширение функциональных воэможностей.На фиг. 1-3 показаны возможные варианты реализации устройства;на фиг. 4 - спектральные зависимости фазового сдвига й при одном полном внутреннем отражении в ромбе Фрецеля и фазового сдвига Ь при отражении от зеркала с алюминиевым покрытием (у кривых отмечены значения соответствующих углов падения , и , );на фиг. 5 - спектральные зависимости суммарного фазового сдвига Д ,осуществляемого фазосдвигающим устройством для двух наборов углов с, и- 55,3 и Т, = 13 (кривая 1) и , = 55,0 и 1, = 15 (кривая ТГ).Фаэосдвигающее устройство содержит призму полного внутреннего отражения и расположенный за ней по ходу луча отражающий элемент приведения луча к первоначальному направлению, который выполнен в виде двух зеркал из материала, характеризующегося возрастанием фазового сдвига с увеличением длины волны, установлен ных параллельно друг другу с возможностью изменения угла их наклона и расстояния между зеркалами. В конкретном варианте исполнения устройство содержит ромб 1 Френеля из материала, прозрачного в рабочем спектральном диапазоне (ИаС 1, 2 пБе, ВаК ) а также зеркала 2 и 3 с алюминиевым покрытием, обеспечиваюшие соосность фаэосдвигающего устройства и высокую степень ахроматичности. Зеркала 2 и 3 могут быть выполнены из различных металлов,а также из сильно легированных полупроводников, у которых с увеличением длины волны фазовый сдвиг возрастает. В области решеточного отражения полупроводников тожеимеется спектральный диапазон, в котором фазовый сдвиг возрастает с увеличением длины волны. При этом одновременно обеспечиваются функции фильтрации оптического излучения, На фиг. 2 показаца конструкция ахроматического фазосдвигающего устройства с уменьшенными габаритами,в которой осупич твляется четыре отражения от зеркал 2 и 3 с алюминиевым по 1 О 15 20 25 30 35 40 50 Формула изобретения 1. Ахроматическое фазосдвигаюшее устройство, содержащее призму полного внутреннего отражения и отражающий элемент приведения луча к первоначальному направлению, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью расплгкрытием.На фиг. 3 представлена конструкция ахроматического фазосдвигающего устройства, в которой плоское зеркало 3 заменено сферическим.Устройство работает следующим образом.Коллимированный пучок излучения падает на ромб 1 под углом 1, к его отражающим граням. После двукратног отражения в ромбе Френеля пучок падает на параллельные зеркала,2 и 3 под уГлом , . При падении, близком к нормальному, 4 незначительно отличаоется от 180 , Спектральные зависимости 4 и й, ,представленные на фиг. 4, вычислены с использованием оптических констант для ИаС 1 и А 1. Суммарный фазовый сдвиг близок к 450, т.е. 5 / /2. Прц оптимальном подборе углов т", и 1 зависимости 4 и 6 имеют симметричный вид.Варьируя угол Т совместным наклоном двух параллельных зеркал, можно добиваться более высокой ахроматичности в нужном спектральном диапазоне. ГГри этом пучок смещается параллельно самому себе. Строгое приведение к первоначальному направлению пучка осуществляется при изменении расстояния между зеркалами.Вариант фазосдвигаюшего устройства с четырьмя отражениями от зеркал (фиг. 2) позволяет уменьшить габариты при сохранении угла падения или при сохранении габаритов уменьшить уголв 2 раза.Замена плоского зеркала 3 сферическим (фиг. 3) позволяет использовать предлагаемую конструкцию также в качестве, например, зеркального микрообъектива, когда излучение поступает со стороны сферического зеркала, з 133 рения спектрального диапазона ахроматичности, обеспечения возможности перестройки фазового сдвига и снижения материалоемкости, отражающий элемент приведения луча к первоначальному направлению выполнен в виде двух зеркал из материала, характеризующегося возрастанием фазового сдвига с увеличением длины волны, установленных 7860параллельно друг другу с воэможностью изменения угла их нэклна к оптической оси и расс тяпия между зеркалами,2. Устройство по и. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем,что, с целью расширения функциональных воэможностей, одно иэ зеркал выполнено сфери ческим.1337860 И оставитель В ехред В.Кадар ченк орректор А,Обруч Лежнин Редак Подпис д. 4 Производственно-полиграфическое предприят каз 4129/46 ВНИИПИ по 11303Тираж 521 сударственного комитета ам изобретений и открытий москва, Ж, Раушская на ор од, ул. Проект ная, 4