Контактное устройство для контроля электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами

(51)4 Н 05 К 1/18 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Авторское свидетельство СССР У 481546, кл, Н 05 К 13/00, 1972,Авторское свидетельство СССР В 949860, кл. Н 05 К 1/18, 1982. (54)(57) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КОМПОНЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ С ПЛАНАРНЫМИ ВЫВОДАМИ, содержащее корпус, подвижное и неподвижное основания и зонды, выполненные в форме плавных кривых и расположенные в отверстиях оснований, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения технологичности и надежности в работе, оно содержит перфорированную эластичную мембрану, закрепленную на подвижном основании, диаметры отверстий которой меньше диаметра зондов, и эластичные трубки, расположенные в полости непод 801182691 вижного основания, выполненного ввиде сферической чаши, причем зонды расположены внутри эластичныхтрубок, а полость неподвижного основания заполнена злектропроводящимсвязующим материалом, при этом радиус сферического основания Й определяется из следующего соотношения:рар 127 ЬоРгде Р - площадь поля контактируемой поверхности компонентов микроэлектронной аппаратуры, мм,а в .расстояние между контактами на контролируемойповерхности компонентоврадиоэлектронной аппаратуры, ммш, - расстояние между зондамипо внутренней поверхностисферической чаши, ммЪ - глубина сферической чаши,мм в1181Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к устройствам для контроля электрическихпараметров комчонентов микроэлектронной аппаратуры с планарно расположенными выводами,Цель изобретения - повышение технологичности и надежности в работе.На фиг.1 схематически изображенопредлагаемое устройство, разрез 1 Она фиг.2 - то же, рабочее положениес контролируемым компонентом радиоэлектронной аппаратуры; на фиг,Зузел 1 на фиг.1 (контактная частьзонда, исходное положение), на 15фиг.4 - узел Й на фиг,2,(то же,рабочее положение).Контактное устройство содержитзонды 1, выполненные из упругихстержней, свободно пропущенных через отверстия подвижного 2 и неподвижного 3 диэлектрических оснований,плавно изогнутых диэлектрическихтрубок 4, установленных в радиальнонаправленных отверстиях основания5, выполненного в виде сферическойчаши. Для уменьшения паразитных емкостей и индуктивностей в системедиэлектрические трубки 4 объединеныи зафиксированы друг с другом и корпусом 6 электропроводящим связующимматериалом, например контактором 7.Лля обеспечения идентичных контактных давлений по всему полю контактирования стержневая часть каждого 35зонда заканчивается б -образнымпружинящим контуром 8, размеры которого определяются исходя из условия создания необходимого давленияпри контактировании. Зонды выполнены 40из термообработанной бронзовой проволоки. При пропускании их черездиэлектрические трубки 4 они принимают форму плавных кривых отрезкабольшой окружности с центром, расположенным в плоскости подвижной направляющей 2, поэтому зонды направлены по нормам к контактным площадкам контролируемого компонентарадиоэлектронной аппаратуры 9. Зон- . 50ды заканчиваются резьбовой опорой10, установленной в основании 5. Приувеличении числа контактов в изделии (преобразование малого шага между контактами (а 4 0,625 мм) в более 55крупный шаг) для присоединения коаксиальных кабелей 11 увеличивает изгиб направляющих трубок 4 до 90с 2691При этом использование фторопластовых трубок 4 позволяет получить разницу усилий на зондах, не превышающую 5 , что не отражается на надежности контактирования. Для обес,печения уравнения длин зондов и создания направленного плавного изгиба диэлектрических трубок 4 с зондом 1, основание 5 выполнено в форме сферической чаши (шарового сегмента). Радиус сферы определяется из условия равенства длин центральных и периферийных зондов по полю контактирования исходя из формулыРи,22 Л 16"где Р - площадь поля контактнруемойповерхности изделия; а - расстояние между контактнымиплощадками на контролируемом изделии;а =АВ - расстояние между зондами наосновании 5;глубина сферической чаши -основания сегмента. Выбирается конструктивно при уравнивании длин центральных ипериферийных зондов.Для повышения технологичности установки зондов, регулировки их по высоте, а также создания возможности их простой замены в случае выхода из строя, каждый зонд оканчивается резьбовой опорой 10, установленной в основании 5. После регулировки зондов положение опор 10 фиксируется вследствие распайки на коаксиальный кабель 11, экран которого соединен с кожухом 12, заземленного корпуса 6. Помимо этого зонды с противоположной стороны по своей контактной части имеют беззазорное направление, обеспечиваемое эластичным уплотнением, выполненным в виде, например, полиамидной пленки ПМ-А ТУ 6-19-121-79, имеющей отвер стия подзонды меньше их диаметра и закрепленной на подвижном основании 2. Наличие уплотнения вносит ряд пре имуществ, повышающих надежность работы устройства при увеличении числа контактов, повышая точность совмещения зондов с контактными площадками контролируемого изделия и создавая начальное усилие на зондах, что повышает надежность электрического контакта и служит для над жного возвращения зондов в исходное положение после окончания контактирования.Подвижное основание 2 установлено на подпружиненных резьбовых упорах 13, путем изменения высоты которых обеспечивается регулировка величины начального усилия на зондах, Для технологичности сборки устройства основание 5 выполнено из двух половин. Для базировки контролируемого изделия на устройство служит ложемент 14. Для приведения устройства в действие служит йрижим 15, а для предохранения контактов от загрязнений и повреждений-мембрана 16. Устройство работает следующимобразом,При опускании прижим 15 воздей -ствует на компонент радиоэлектрической аппаратуры 9, опуская его наконтактные части зондов 1, которые,11826914преодолевая воздействие мембраны 16,с определенным усилием и строго направленно попадают на контактныеплощадки контролируемого компонента радиоэлектронной аппаратуры 9.При этом направляющая 2, опускаясь,достигает своего упора на корпусе6, а каждый стержень зондов 1, перемещаясь вдоль диэлектрической труб 1 О ки 4, воздействует на 5 -образныйпружинящий контур 8, который деФормируясь, создает надежное усилиеконтактирования, компенсируя перепады высот расположения контактныхплощадок на контролируемом изделии,При подъе прижима 15 подвижнаянаправляьцая 2 от воздействия подпружиненных упоров 13 поднимаетсяв исходное состояние, вовлекаяза счет кожуха 12 и распрямления5-образного пружинящего контура,зонды 1 на подъем до исходного положения.1)82691 Фиг. 3 Подписноекомитета СССР каз 6122/56 Тираж 793 ВНИИПИ Государственног по делам изобретени 113035, Москва, Ж, Рау