Устройство для регулирования соотношения расходов потоков

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик н 11987591(22) Заявлено 28. 05. 81 (21) 3292243/18-24с присоединением заявки Мо -(23) Приоритет -Опубликовано 07.0183. Бюллетень йо 1Дата опубликования описания 07,0183 И)М.Кп,з С 05 0 11/16 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(,54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ СООТНОШЕНИЯ РАСХОДОВ ПОТОКОВ Изобретение относится к регуляторам соотношения двух потоков, пред-. назначено для автоматического регу. лирования массовых расходов потоков и может быть использовано для поддержания заданного соотношения постояннымеПо основному авт.св. Р 805268 известно устройство для регулирования соотношения расходов потоков, содержащее термопреобразователи, например терморезисторы, и регулятор, один вход которого соединен с потенциометрическим задатчиком, а выход - с входом исполнительного механизма, установленного на трубопроводах. Устройство содержит резистивный делитель напряжения, включенный в первое и второе плечи моста, одна диагональ которого подключена к источнику питания термопреобразователей, другаяк другому входу регулятора, а терморезисторы охватывают одновременно все трубопроводы и включены в третье и четвертое плечи моста (.1 1.Недостатком известного устройства для регулирования соотношения массовых расходов потоков является слож ность изготовления и получения иден- ф тичных по электрическому сопротивле-нию и теплопередаче термопреобразователей, в связи с чем снижаетсяточность регулирования.Цель изобретения - повышение точности устройства.Поставленная цель достигается тем,что в устройстве термопреобразователиразмещены на пластине из термостойкого материала, служащей одновременностенкой обоих трубопроводов,На фиг,1 показана принципиальная. схема устройства; на фиг,2 - сечениеА-А на Фиг.1 т на фиг.3 - сечение Б-Вна фиг.1.Термопреобразователи (терморезисторы) 1 и 2 выполнены из фольги в виде гребенок или из проволоки пилообразной формю, запрессованные в пластину 3 из термостойкого изоляционногоматериала, например полинмида, приэтом она является общей стенкой длядвух трубопроводов 4 и 5, которыесоединены со смесителем 6. Резистивный делитель 7 напряжения (блок балансировки) и терьюпреобразователи1 и 2 образуют мостовую схему 8, водну диагональ которой включен источник 9 питания термопреобразователя. Другая диагональ соединена с входом регулятора 10, выходы которогосоединены с потенциометрическим задатчиком 11 и исполнительным механизмом 12. Регулятор 10. выполнен в виде последовательно соединенных усилителя 13, измерителя 14 расходовпотоков икомпаратора 15.Принцип работы устройства заключается в следующем.Включают источник 9 питания термопреобразователя для нагрева термопреобразователей 1 и 2, после чего щподают потоки газов в трубопроводы 4и 5, которые нагреваются, проходяучастки трубопроводов 5 и 4, для ко-,торых термопреобразователи 1 и 2,запрессованные в пластину 3 из термостойкого материала, являются общей5стенкой. При этом происходит охлаждение термопреобразователей 1 и 2 газом,проходящим с одной стороны по трубопроводу 4, сдругой .стороны - по трубопроводу 5,Мостовая схема 8 выделяет электрический сигнал с термопреобразователей1 и 2 на выходе регулятора 10, гдеусиливается усилителем 13. Измеритель14 соотношения массовых расходов потоков позволяет визуально наблюдатьи контролировать зто соотношение. На компаратор 15 подают сигналы сизмерителя 14 и потенциометрического 30зад 6 тчика 11, где.сигналы сравниваются, т.е. на выходе компаратора 15 появляется электрический сигнал разности между напряжением с задатчика 11 ирегулятора 10. Этот сигнал воздействует на исполнительный механизм 12,который регулирует один из потоковтаким образом, чтобы отношение массовых расходов потоков вызывало сиг. нал с моста 8, усиленный усилителем 4 О13 и равный сигналу с задатчика .11.Потенциометрическим задатчиком 11устанавливают требуемое соотношение(пропорцию расходов потоков). В смеситель б поступают потоки в определенной пропорции по трубопроводам4 и 5. Из смесителя б смесь используют для технолбгических процессовтаких, как, например, эпитаксия,диФФузия,50Перед началом работы, в отсутствие расходов потоков (или при ихравенстве) после нагрева терморезисторов 1 и 2, мост балансируется по нулевому показанию измерителя 14.Изменение давления, температуры потока, действие внешней температуры и других Факторов не влияет на точность регулирования, так как термопреобразователи находятся в одинаковых условиях относительно возмущающих Факторов и реагируют лишь на разность массовых расходов потоков.Исполнение терморегуляторов на одной пластине установка их между двумя трубопроводами (Фиг.З, где 16 уплотнители, например, резиновые) таким образом, что они являются общей стенкой для двух трубопроводов, позволяют повысить точность изготовления, так как преобразователи могут быть выполнены, например, травлением на подложке из какого-либо термостойкого материала, например полиимида. Упрощение изготовления возможно благодаря механизации и автоматизации процесса изготовления термопреобразователей, а увеличение точности регулирования стало возможным за счет того, что термопреобразователи находятся в одинаковых условиях и установлены с большей симметрией и идентичными характеристиками.При использовании предлагаемого устройства на операции легирования, например, ФосФором и на операции эпитаксиального наращивания слоев выход годных приборов увеличивается на 0,1Экономический эФФект составляет 50 тыс.руб. в год.Формула изобретенияУстройство для регулирования соотношения расходов потоков по авт.св.Р 805268, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения точности,в нем термопреобразователи размещенына пластине иэ термостойкого материала, служащей одновременно стенкойобоих трубопроводов,Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССР9 805268, кл, С 05 О 11/16, 1979.987591и Составитель Т.Озерова Редактор НКешеля Техред Л.Пекарь Корректор Г.Огар