Плоскошлифовальный станок

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик нн 973312(22) Заявлено 010877 (21) 2513341/25-08 с присоединением заявки М В 24 В 7/04 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) ПЛОСКОШЛИФОВАЛЬНЫВ СТАНОК Изобретение относится к станкостроению и может быть использовано, в частности, для шлифования поверхности полупроводниковых пластин в процессе изготовления.полупроводниковых приборов и интегральных схем,Известны плоскошлифовальные станки, содержащие станину, поворотный стол, три шпиндельные головки с инструментами и устройство (пневмоприбор) для контроля толщины обрабатываемых полупроводниковых пластин. Подлежащие шлифованию пластины укладываются на поворотный стол, удержи-. ваются с помощью вакуумных присосок. Все три шпиндельные головки вручную настраиваются на снятие заданных припусков механизмами грубой и тонкой регулировки. Цикл обработки пластины заканчивается по мере того, как она пройдет под всеми шпиндельными головкамй, Г 1 3Однако у станков такой конструкции низкая производительность и недостаточно вйсокан точность обработки пластин. Низкая производительность станка обусловлена тем, что по мере износа инструмента приходится периодически производить перенастройку каждого шпинделя в отдельности, что связано со значительными эатратамн времени. Недостаточно высокая точность. обработки связана с тем, что конструкция станка не обеспечивает строгой параллельности рабочей по-, верхности стола и инструмента, в результате чего обработанные пластиныимеют в сечении клиновидную формуИзвестен плоскошлифовальный станок, содержащий станину, шпиндельную головку и подъемно-поворотный стол с клиновым приводом вертйкального ,перемещения и приводом его вращения, выполненный в виде планшайбы, установленной на подъемном невращающемся кольце 2 1.Однако известный станок характеризуется недостаточновысокой точностью обработки, которая объясняется тем, что .конструкция станка не обеспечивает строгой параллельности рабочей поверхности стола и инструмента, в результате чего обработанные детали имеют клиновидяую форму.25 цель изобретения - повышение точности обрабатываемых деталей.Поставленная цель достигается тем,,что станок снабжен промежуточной плитой, установленной между невращающим ся кольцом и станиной с возможностью973312 10 но-поворотный стол, состоящий иэ. планшайбы 2 с вакуумными присосками 3 для крепления обрабатываемых пластин 4 и подъемного невращающегося кольца 5 с распределительным вакуумным золотником 6, шпиндели 7 с чашечными алмазными кругами 8, механизм загрузки обрабатываемых пластин 9, механизм съема обработанных пластин 10 и устройство для отмывки пластин 11.Между планшайбой 2 и невращающимся кольцом 5 расположен сепаратор с шариками 12. Невращающееся кольцо 5 снабжено шарнирно закрепленными в . нем колонками 13, установленными в шариковых направляющих 14, расположенных в промежуточной плите 15, которая установлена на четырех шаровых Регулируемых по высоте опорах 16, зак- ЗО репленных в резьбовых отверстиях станины 1. Станок снабжен приводом вертикального перемещения подъемно- поворотного стола, выполненным в виде неподвижного 17 и подвижного 18 35 5 и промежуточной плитой 15. Поступательное перемещение подвижного клина 18, обеспечивающее вертикальноеперемещение поворотного стола, осуществляется при помощи ходового винта 19, червячной пары 20 и электродвигателя 21. Для ручного вертикального перемещения поворотного столаслужит ручка 22. Вращательное движение поворотного стола осуществляетсяот электродвигателя (на чертеже непоказан) через червячную пару 23.Станок снабжен устройством 24 для активного контроля толщИны обрабатываемых деталей 4, связанным через блок25 преобразования и.усиления сигна 55 60 формула изобретения 1. Плоскошлифовальный станок, содержащйй станину, шпиндельные головки и подъемно-поворотный стол с кли-, 65 новым приводом вертикального перемерегулирования относительно горизонтальной плоскости и вертикальными напранляющими,смонтированными в промежуточной плите и шарнирно связаннымис невращающимся кольцом. При этомпромежуточная плита установлена настанине посредством регулируемых повысоте шаровых опор,На чертеже схематически изображенплоскошлифовальный станок, разрез,Станок содержит станину 1, подъемклиньев, расположенных между кольцом лов с электроприводом 21,вертикального перемещения поворотного стола.Станок работает следующим образом. При вращении планшайбы 2 поворотного стола обрабатываемая пластина 4захватывается вакуумной присоской 3и последовательно проходит под тремяшпиндельными головками 7, предварительно выставленными на снятие каждым закрепленным на них алмазным кругом8 своего припуска. При этом первымпо ходу обрабатываембй пластины алмазным кругом обеспечивается грубое шлифование, а вторым и третьим - получистовое и чистовое шлифованиесоответственно.При дальнейшем вращении планшайбы 2 прошлифованная пластина промывается при помощи устройства 11, затем устройством активного контроля 24 производится измерение толщины обработанной пластины. В случае, если толщина пластины вышла из поля допуска, устройство 24 через блок 25 подает сигнал на электродвигатель 21 вертикального перемещения поворотного стола, при помощи которого через червячную пару 20 и ходовой винт 19 производится перемещение клина 18 в горизонтальной плоскости и перемещение поворотного стола вверх, если толщина пластины больше допустимой, или вниз, если толщина пластины меньше допустимой.При дальнейшем вращении планшайбы 2 вакуумная присоска 3 при помощи золотника 6 соединяется сатмосферой, и обработанная пластина механизмом 10 перегружается в кассету 26. В процессе работы станка планшайба 2 совершает непрерывное вращательное движение, и шлйфование пластин ведется в непрерывном автоматическом режиме. Периодически вертикальный подъем стола на величину размерного износа алмазных кругов 8 также производится автоматически без остановки станка. В случае необходимости снятия припуска большего, чем можно снять тремя алмазными кругами за один проход, подается сигнал на перекрытие трубопровода 27, соединяющего вакуумную присоску 3 с атмосферой, механизмы загрузки 9 и выгрузки 10 пластины блокируются, и цикл шлифования пластин повторяется. Конструкция станка позволяет производить компенсацию размерного износа инструмента без перенастройки каждой головки и отдельности, что значительно увеличивает производительность труда, наличие регулируемых по высоте опор 16, взаимодействующих с промежуточной плитой 15, на ко-. торой смонтирован поворотный стол, позволяет с большой степенью точности выставить перпендикулярность оси шпинделя, производящего чистовую обработку пластины к рабочей поверхности поворотного стола. Это практически исключает клйновидность обрабатываемых пластин.973312 Составитель С.ухорскийедактор Л.Авраменко Техред М,Коштура Корректо"ференц Заказ 8587/14 ВНИИ, 6го кий иРауш сное Пота СССРытийнаб., д Тираж И Государствен делам изобрет 5, Москва, Жи т к филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектна щения и приводом вращения, выполненный Ь виде планшайбы, установленной на подъемном невращающемся кольце, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с,целью повышения качества обрабатываемых деталей, он снабжен промежуточной плитой, установленной между невращающимся кольцом и станиной с возможностью регулирования относительно горизонтальной плоскости, и вертикальными направляющими,смонтиро.ванными в промежуточной плите ишарнирно связанными.с невращающимся кольцом. 2. Плоскошлифовальный станок по п, 1, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что промежуточная плита установлена на станине посредством введенных в устройство регулируемых по высоте шаровых опор. Источники информации,принятые во внимание при экспертизеО 1. Авторское свидетельство СССР Р 294436, кл. В 24 В 7/04, 1967. 2, Авторское. свидетельство СССР Ч 536941, кл. В 24 В 7/04, 1973.