Способ изготовления измерительного преобразователя с плоской мембраной

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗЬБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 ц 958885не делам нзобретеннй и нтнрмтий(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С ПЛОСКОЙ МЕМБРАНОЙ1Изобретение относится к измерительнойтехнике и может быг использовано приизготовлении мембраннь 1 х преобразователей давления.Известен способ изготовления измерительного преобразователя путем жесткого 5закрепления мембраны на корпусе сваркой 11.Недостатками такого способа являютсянепостоянство натяжения мембраны во время ее изготовления и возможность провисания мембраны со временем.Известен способ изготовления измерительного преобразователя с плоской мембраной путем фиксации мембраны в корпусеи ее натяжения 2.Однако этот способ характеризуетсянестабильностью характеристик мембраныво времени из-за нежесткого закреплениямембраны в корпусе,. Цель изобретения - повышение стабильности характеристик. гоПоставленная цель достигается тем, чтосогласно способу изготовления измерительного преобразователя с плоской мембранойпутем фиксации мембраны в корпусе и ее натяжения, после натяжения корпус с мембраной нагревают до заданной температуры, большей 60 С, и жестко соединяют мембрану с корпусом в нагретом состоянии, охлаждают корпус до 50 - 60 С, после чего производят охлаждение мембраны.На фиг. 1, 2 и 3 изображены принципиальные схемы устройства, реализующего предлагаемый способ изготовления преобразователя.Предварительная фиксация мембраны 1 осуществляется между фиксирующими фланцами 2 и 3, имеющими плоскости прижима (фиг. 1). При этом в один из фланцев предварительно помещается часть корпуса преобразователя 4 с пазом. Торцевая поверхность корпуса преобразователя 4, лежащая на мембране совпадает с поверхностью прижима фланца 2. Затем внутрь фиксирующего фланца 3 вставляется часть корпуса преобразователя 5 с зубом и он прижимается натягивающим фланцем 6 до тех пор, пока зуб части корпуса преобразователя 5 не войдет в паз части корпуса преобразователя 4 (фиг. 2). Высота зуба и глубина паза определяется экспериментально и зависит958885а Во всех изготовленных преобразователях й степень натяга мембраны при одних и тех еже толщинах мембраны, материала и высотезуба остаются постоянными и проверяются я с помощью измерения емкости при измене- а 5 нии перепада давления по обе стороны мембраны.Использование предлагаемого способаизготовления вакуумного мембранного преобразователя обеспечивает возможность получения любой степени натяжения мембраны, ее жесткости, взаимозаменяемость й преобразователей при использовании электроизмерительного блока, надежное соединение мембраны с корпусом преобразователя, а также воспроизводимость вакуумных хам 1 рактеристик от образца к образцу,Формула изобретения 3от толщины мембраны, диаметра корпус и материала. После этого внутрь часте корпуса 4 и 5 вставляются удерживающи фланцы 7 и 8, они поджимаются, а флан цы 2, 3 и б снимаются (фиг. 3), Кра мембраны 1 обрезаются по диаметру корпус прибора, после этого включается подогре ватель 9, дается выдержка во времени, мем брана разогревается до заданной темпера туры и за счет линейного расширения про висает, после чего проводят операцию жест кого соединения корпуса имембраны аргоно дуговой, электроннолучевой или лазерно сваркой. Время разогрева мембраны 1 - 2 мин. После герметизации проводят охлаж дение корпуса прибора до 50 - 60 С, с по мощью, например, потока воздуха, а зате выключают подогрев мембраны, После охлаждения мембрана занимает положение и имеет степень натяжения, которые она имела при сжатии натягивающим фланцем б.Подогрев мембраны перед сваркой позволяет сохранить выбранную и уже полученную с помощью предыдущей операции степень натяга, а охлаждение корпуса после окончания герметизации позволяет зафикси.- ровать геометрические размеры и сохранить полученную жесткость мембраны.Предлагаемый способ позволяет проводить сварку мембраны с корпусом, изготовленных из разных материалов, с отличающимися температурными коэффициентами линейного расширения.Проводят изготовление мембранных вакуумных преобразователей с корпусами из нержавеющей стали и мембранами из нержавеющей стали и никеля толщиной 20 и 60 мкм. Способ изготовления измерительногопреобразователя с плоской мембраной путемфиксации мембраны в корпусе и ее натяжения, отличающийся тем, что, с цельюповышения стабильности характеристик,после натяжения корпус с мембраной нагре 25 вают до заданной температуры, большей60 С и жестко соединяют мембрану с корпусом в нагретом состоянии, охлаждают корпус до 50 - 60 С, после чего производят охлаждение мембраны.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Андреева Л. Е. Упругие элементы приборов. М., Машгиз, 1962, с. 259.2. Андреева Л. Е. Упругие элементы приборов. М Машгиз, 1962, с. 227 (прототип),Составитель 3 тулинец Техред А. Войк Тираж 887 ИИПИ Государственного к по делам изобретений и 5, Москва, Ж - 35, Раушс ППП Патент, г. УжгородКорректор М. Шароши одписное СР митета Соткрытийая наб.,ул. Про