Электронно-оптическое устройство

) ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТ Изобретение относится к электрон.но-оптическим устройствам для фокусировки и отклонения пучков заряженных частиц и может быть использованов различных электронно-оптическихприборах.Известно устройство, обеспечивающее одновременную фокусировку и отклонение пучков заряженных частиц,содержащее дефлектрон, электроды которого связаны как с источником отклоняющего напряжения так и фокусирующего 11.Недостатком этого устройства явялется невысокое качество изображенияиз-за наличия симметричных анизотропных аберраций, связанных с наличиемкраевого поля, содержащего кроме осесимметричной составляющей составляющую с четырехкратной симметрией.Наиболее близким техническим ре. шением к предлагаемому изобретению явлеется электронно-оптическое уст" ройство, содержащее скрещенную лин.2зу, по крайней мере, из трех элементов, крайние иэ которых выполненыв виде пластин, расположенных перпендикулярно оптической оси и имеющихотверстия с двумя плоскостями симметрии. Элементами линзы являютсяпластины с прямоугольными отверстияоми, поочередно повернутыми на 90относительно электронно-оптическойоси. Скрещенная линза обеспечивает ф высококачественную фокусировку, аее элементы конструктивно просты итехнологичны 2.Недостатком известного устройстваявляется невозможность отклонения 1пучка заряженных частиц беэ применения дополнительных отклоняющих элементов.Цель изобретения - обеспечение 20одновременной фокусировки и отклонения пучка заряженных частиц.мере, из трех перпендикулярныхоси плоских элементов с одинаковыми прямоугольными отверстиями, средний элемент линзы выполнен из двух изолированных друг от друга частей, равноудаленных от плоскости, проходящей через оптическую ось линзы и перпендикулярной длинной оси симметрии отверстии в крайних элементах, причем расстояние между этими частями 10 не превышает длины отверстия в крайнем элементе.В предлагаемом устройстве в облас" ти элементов линзы помимо осесимметричной, квадрупольной и октупольной 15 составляющих поля возникает дополнительная поперечная составляющая, откс лоняющая пучок заряженных частиц от оси линзы. Направление отклонения определяется знаком заряженных час- щ тиц и направлением вектора напряженности поперечной составляющей поля.Расстояние между частями среднего электрода линзы не должно превышать длины отверстия в крайних элементах линзы, так как в противном случае электростатическое поле, характерное для скрещенной линзы, резко нарушается и, как следствие, резко ухудшается качество фокусировки, Таким образом, в устройстве возможны одновременная фокусировка и отклонение пучка при сохранении высокого качества фокусировки, свойственного скрещенной линзе.35точки зрения увеличения чувствительности к отклонению элемент (электрод) скрещенной линзы, заключенный между крайними элементами (электродами), может быть выполнен в виде набора одинаково ориентированных между собой указанных частей, соединенных между собой электрически, а также может быть образован, например из плоско-параллельных пластин.145На чертеже представлена схема пред" лагаемого устройства.Устройство содержит крайние элементы 1 линзы, средний элемент 2 линзы, делитель 3 напряжения, источник М питания.50Эле ктронно-опти ческое устройство состоит из двух крайних элементов 1 (электродов), прямоугольные отверстия которых вытянуты в направлении оси У, подключенных к общей точке делителя 3 напряжения, а обе части среднего элемента 2 (электрода) расположены так, что плоскость симметрии зазора между ними пежит в плоскости ХОЕ и связаны с точкой делителя 3 напряжения, потенциал которой, например, ниже потенциала общейточки, и источником 4 отклоняющегонапряжения.Устройство работает следующимобразом,Пучок заряженных частиц, например,электронов, из источника, расположенного на оси, совпадающей с оптической осью, попадает под действие поляуказанной системы электродов устройства, При этом квадрупольная составляющая устройства собирает пучокэлектронов в направлении оси У и рас-сеивает в направлении оси Х, осесимметричная составляющая, более слабаяпо своей природе, осуществляет подфокусировку пучка по всем направлениям, октупольная составляющая уменьшает сферическую аберрацию при фокусировке пучка, а поперечная составляющая отклоняет пучок, подобно отклонению в поле плоского конденсатора.При необходимости отклонения пучка заряженных частиц в двух направлениях, например в растр, и при этомсфокусированном в двух направленияхпоследовательно на оптической оси устанавливают две ортогональные междусобой электродные системы предлагаемого устройства, связанные соответствующим образом с делителем напряжения и источником кадровой и строчнойравертках.Предлагаемое электронно-оптическоеустройство может быть использованов передающей телевизионной трубкетипа видикон с электростатическимифокусировкой и отклонением пучка,При использовании предлагаемогоустройства в спектрометрах заряженных частиц вместо узла возможнаэлектрическая юстировка,формула изобретенияЭлектронно-оптическое устройство, содержащее скрещенную линзу по крайней мере из трех элементов, крайние из которых выполнены в виде пластин, расположенных перпендикулярно оптической оси и имеющих отверстия с двумя плоскостями симметрии, о т л ич а ю щ е е.с я тем, что, с целью обеспечения одновременной фокусировки и отклонения пучка заряженных936087 Составитель Е. Пчелдактор Т.Веселова Техред 3. Палий ектор Ю.Макаре Т Государств елам изобр Москва, Ждписное аз 4228/59ВНИИ аж 761 ного комитета С ений и открытий5, Раушская наб д 113035,ктная, 4 лиал ППП "Патент", г.ужгород,частиц, средний элемент линзы выполнен из двух изолированных друг отдруга частей, равноудаленных от плоскости, проходящей через оптическуюось линзы и перпендикулярной длинной оси симметрии отверстий в крайних элементах, причем расстояниемежду этими частями не превышаетдлины отверстия в крайнем элементе. Ь Источники информации,прияытые во внимание при экспертизе1. Гершберг А.Е. Электростатичес"кие видиконы. Л "Энергия", 1969с.232. Авторское свидетельство СССРМ 516316, кл. Н 01 Д 29/56, 1975