Устройство для управления процессом откачки

(53 ДК 621.64688.8) лам нэейретеннн атнрмтнй ата опубликования опис(72) Авторы изобретени ношенков и Ю. В. Кодр техничеекнн. щститутомсомола ьвовский ордена Ленинаим. Ленинского(54) УСТРОИСТВ ЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМОТКАЧКИ Изобретение относится к коммутационной аппаратуре вакуумной техники и может найти применение в оборудовании для производства электровакуумных приборов, например в машинах откачки.Известно устройство для управления 5 откачки, содержащее корпус с фланцами для откачного гнезда, форвакуумного насоса, входа и выхода паромасляного насоса, штоки управления с клапанами и с сильфонными уплотнениями 1.10Недостатками известного устройства являются отсутствие защиты вакуумной системы от атмосферы при аварийном нарушении герметичности оболочки откачиваемого прибора и, как следствие, низкая надежность откачного оборудования. 5Целью изобретения является обеспечение защиты вакуумной системы от атмосферы при аварийной разгерметизации откачиваемого прибора и повышение надежности откачного оборудованияПоставленная цель достигается тем, что устройство снабжено контактным реле давления, установленным в корпусе у фланца откачного гнезда, и механизмом управления, выполненным в виде кулачка с двумя пазами и втулки, имеющеи возможность осевого перемещения относительно штока управления и имеющей радиальные отверстия, в которых расположены фиксирующие шарики, контактирующие с поверхностью штока, на котором выполнена фиксирующая канавка, и с поверхностью сухаря, свободно посаженного на втулке и соединенного с якорями электромагнитов, неподвижно закрепленных на втулке и электрически связанных с контактным реле давления, а шток управления и втулка снабжены роликами, взаимодействующими с упомянутыми пазами, причем профиль паза кулачка для ролика штока выполнен с переменным зазором.На фиг. 1 изображено устройство для управления процессом откачки; на фиг. 2 - развертка профиля кулачка управления (штрих-пунктирной линией показана траектория движения от ролика штока при откачке прибора с герметичной оболочкой, штриховой линией - траектория при разгерметизации) .Устройство для управления процессом откачки содержит корпус 1, части которого собраны при помощи металлических уплотнений 2. Корпус 1 имеет фланец 3 для от929944 55 Формула изобретения 3качного гнезда, фланец 4 для форвакуумного насоса, фланец 5 для входа паромасляного насоса и фланец 6 для выхода. Внутрь корпуса введен шток 7 с сильфонным уплотнением 8. На штоке 7 свободно посажены форвакуумные клапаны 9 и 10, соединенные со,штоком сильфонами 11, внутри которых расположены пружины 12, прижимающие клапаны к седлам корпуса.Корпус 1 оборудован цилиндрической направляющей, в которой установлен высоковакуумный клапан 13, поджатый пружиной 14. Шток 7 оборудован втулками 15, неподвижно закрепленными на штоке, а на выходном конце штока 7 выполнена фиксирующая канавка 16 и на оси 17 установлен ролик 18. Выходной конец штока 7 соединен с втулкой 19 механизма управления таким образом, что ось 17 расположена в прорези втулки и допускает относительное перемещение штока 7 и втулки 19. В трех радиальных отверстиях 20 втулки 19 расположены фиксирующие шарики 21, соприкасающиеся с поверхностью штока 7 и поверхностью 22 или 23 сухаря 24, свободно посаженного на втулку 19. Сухарь 24 соединен с якорями 25 электромагнитов 26, неподвижно закрепленных на втулке 19, и отжат пружинами 27 в крайнее левое положение. Втулка 19 оборудована роликом 28, Ролики 18 и 28 размещены соответственно в пазах 29 и 30 кулачка 31 механизма управления, который может приводиться вручную или быть установленным неподвижно на многопозиционных откачных машинах. Электромагниты 26 электрически связаны с контактным реле 32 давления, установленным в корпусе 1 у фланца 3. Пазы 29 и 30 кулачка 31 имеют профиль с участками ЗЗ - 37, предназначенными соответственно положению кулачка при загрузке прибора в откачное гнездо, контроле герметичности системы, откачке форвакуумным насосом, откачке паромасляного насоса и откачке прибора паромасляным насосом. Каждому из этих участков соответствуют положения 38 - 41 ролика 18, обеспечивающие необходимые переключения вакуумных клапанов устройства.Устройство работает следующим образом.При загрузке прибора в откачное гнездо реле 32 давления под действием атмосферы отключает электромагниты 26, и под действием пружин 27 сухарь 24 занимает крайнее левое положение, фиксирующие шарики 21 освобождаются от соприкосновения с поверхностью 23, и шток 7 под действием пружин 12 занимает положение, при котором все клапаны устройства закрыты, а ролик 18 находится в положении 38, при этом фиксирующий шарик 21 оказывается между поверхностями 22 и цилиндрической поверхностью штока 7, не препятствуя перемещению последнего относительно втулки 19. 5 1 О 15 20 25 30 35 40 45 50 4При перемещении кулачка в положение, соответствующее контролю герметичности системы, ролик 18 отводится в положение 39 и шток 7 втулкой 15 открывает клапан 1 О, начинается откачка прибора форвакуумным насосом. При этом ролик 28 перемещается в положение, при котором отверстия 20 совмещаются с фиксирующей канавкой 16. При обеспечении герметичности системы срабатывает реле 32, включаются электромагниты 26, перемещающие сухарь 24 в положение, при котором фиксирующие шарики 21 оказываются зажатыми между поверхностью 23 и фиксирующей канавкой 16, блокируя перемещение втулки 19 относительно штока 7. При сохранении герметичности прибора шток 7 перемещается по программе профиля паза 30. На участке 35 клапан 10 открыт, а клапаны 9 и 13 закрыты, В случае разгерметизации прибора в этой стадии откачки ролик 18 занимает положение 38 и клапан 1 О закрывается, сохраняя такое положение до участка 36, где пазом 29 ролик 18 переводится в положение 40 и открывается клапан 9, обеспечивая откачку паромасляного насоса. При герметичном приборе после откачки паромасляным насосом ролик 28 перемещается в положение 41, открываются клапаны 9 и 13 и осуществляется откачка прибора паромасляным насосом. При нарушении герметичности прибора шток 7 разблокируется с втулкой 19, кла-, пан 13 закрывается, однако профиль паза 29 на участке 3 препятствует закрытию клапана 9, через который откачивается паромасляный насос, обеспечивая постоянную готовность его к работе.Предлагаемое устройство при применении в многопозиционных откачных машинах различного типа (конвейерных или карусельных с золотником в области низкого вакуума) позволяет достаточно просто автоматизировать процесс управления при помощи программы заданной кулачком управления, обеспечивая защиту вакуумной системы. Защита вакуумной системы от атмосферы при аварийной разгерметизации откачиваемого прибора позволяет повысить надежность откачного оборудования как за счет. параметрической надежности (повышение качества, приборов, откачиваемых на позициях последующих за позициямина которых прибор оказался разгерметизированным, для машин с золотником в области низкого вакуума), так и за счет увеличения межремонтных периодов эксплуатации, обусловленных временем воздействия атмосферы на горячее масло паромасляных насосов. Устройство для управления процессомоткачки, содержащее корпус с фланцами для929944 фиг.1 37 ВНИИПИ Заказ 3308/47 Тираж 981 Подписное филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 5откач ного гнезда, фор вакуум ного насоса, входа и выхода паромасляного насоса, шток управления с клапанами и сильфонными уплотнениями, отличающееся тем, что, с целью обеспечения защиты, вакуумной системы от атмосферы при аварийной разгерметизации откачиваемого прибора и повышения надежности откачного оборудования, устройство снабжено контактным реле давления, установленным в корпусе у фланца откачного гнезда, и механизмом управления, выполненным в виде кулачка с двумя пазами и втулки, имеющей возможность осевого перемещения относительно штока управления и имеющей радиальные отверстия, в которых расположены фиксирующие шарики,6контактирующие с поверхностью штока, накотором выполнена фиксирующая канавка,и с поверхностью сухаря, свободно посаженного на втулке и соединенного с якорямиэлектромагнитов, неподвижно закрепленныхна втулке и,электрически связанных с кон 5тактным реле давления, а шток управленияи втулка снабжены роликами, взаимодействующими с упомянутыми пазами, причемпрофиль паза кулачка для ролика штокавыполнен с переменным зазором.10 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Александрова А. Т. Оборудованиеэлектровакуумного производства. М., Энергия, 1974, с. 316, рис. 15 - 15 б, в.