Турбомолекулярный вакуумный насос

Номер патента: 918552

Авторы: Гончаров, Демихов

ZIP архив

Текст

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветснмкСоцналнстлчвснмкРеслублнн и 918552 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 6 ) Долояннтелвеое к авт. сена-ву(23) йтнор Г 04 О 19/О Тйэрстеека 4 каетвт ЮСьР юаи кзабретеей в фткраткй Овублвкеввве 07. 04,82 В Дата овублвкованнв ол 3) УДК 621,528.7(088.8)саян 07.04.8 Авторызобретення П,А,Гончаров б,Домих Московское ОР намени высшее на Ленина и ордена техническое училищ) Звяввтея 54) ТУРЬОИОЛЕКУЛЯРНЬФ ВАКУУМНЫЙ НАСО четны на и Изобретение относится к вакуум ной технике, а именно к устройству. турбомолекулярных вакуумных насосов,Наиболее близким к предлагаемому является турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий, корпус и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор с лопатками, расположенными параллельно оси насоса 1.Недостатком известного насоса яв"1 О ляется снижение степени сжатия от" дельных ступеней, вследствие уменьшения линейной скорости лопаток по мере приближения к оси насоса.Целью изобретения является пова"15 шение степени сжатия.Указанная цель достигается тем, что в роторе установлены поперечные перегородки, разделяющие его на ряд ступеней, причем в перегородках перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези, в зазоре на уровне перегородок с прорезями расположены,уплотняющие элементы, а лопат1 ных и нечетных ступенях выппротивоположными углами накл На фиг.1 представлен насос, продольный разрез; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.3 - разрез Б-Б на ф г. 1; на фиг.4 - разрез 8-8 на фиг. 1Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор 2 с лопатками 3, расположенными. параллельно оси насоса, при этом в роторе 2 установлены поперечные перегородки 4 и 5, разделяоцие его на ряд ступеней, причем в перегородках 4 перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези 6, в зазоре на уровне перегородок 4 с прорезями 6. расположены уплотняющие элементы 7, а лопатки 3 в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами552 фФормула изобретения 3 918Насос работает следующим образом.Газ из откациваемого объема поступает к прорезям 6 в перегородке 4 перед первой ступенью насоса, выполняющим функции рабочего колеса с осевым потоком газа. Затем он поступает к лопаткам 3, расположенным на цилиндрической поверхности ротора 2. Здесь газ имеет радиальное направление от центра к периферии. Попадая в зазор между ротором 2 и корпусом газ меняет направление вследствие .изменения угла наклона лопаток второй ступени на противоположный по отношению к первой ступени и движется от периферии к центру насоса, Далее процесс повторяется аналогично первой ступени и газ нагнетается в форвакуумную магистраль.Таким образом, лопатки всех ступеней. имеют максимально допустимую линейную скорость, которая обеспечивает повышенную степень сжатия насоса. Турбомолекулярный вакуумный насос,содержащий корпус и размещенный в нем 5 с зазором цилиндрический ротор с лопатками, расположенными параллельно оси насоса о т л и ц а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения степени сжатия, в роторе установлены попереч ные перегородки, разделяющие его наряд ступеней, причем в перегородках перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполнены радиальные прорези, в зазоре на уровне 15 перегородок с прорезями расположеныуплотняющие элементы, а лопатки в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона. 20 Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1 Авторское свидетельство СССРИ 174314, кл. Г 04 Р 19/04, 1964.,Мериен Составитель В,КряковкинТехред А, Ач Корректор С,йекмаролда Зака 13 Тираж 671 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам иэобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб; д.4/5илиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4

Смотреть

Заявка

2964298, 29.07.1980

МОСКОВСКОЕ ОРДЕНА ЛЕНИНА И ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ВЫСШЕЕ ТЕХНИЧЕСКОЕ УЧИЛИЩЕ ИМ. Н. Э. БАУМАНА

ДЕМИХОВ КОНСТАНТИН ЕВГЕНЬЕВИЧ, ГОНЧАРОВ ПАВЕЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

Опубликовано: 07.04.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-918552-turbomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Турбомолекулярный вакуумный насос</a>

Похожие патенты