Электровакуумный ввод

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЛЬСТВУ Соиоз СоветскикСоциалистическикРеспублик щ 911645(22) Заявлено 200380 (21) 2897644/18-21с присоединением заявки Мо(51) М. Кп.з Н 01 Т 5/46Государственный комитет СССР ио делам изобретений н открытий Р(71) Заявитель Дагестанский политехнический институт(54) ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЙ ВВОД Изобретение относится к вакуумнойтехнике и предназначено преимущественно для использования в исследо-,вательских и проьыдленных герметичныхустройствах и в качестве-элементовэлектровакуумных приборов,Известные электрические выводыимеют металлические проводники и изолятор, который плотно соединен с металлическими проводниками и с корпусом герметизируемого объема. Аналогами предлагаемого приспособления.могут служить вакуумные электрические вводы с изоляторами из стекла,кварца, керамики 13Наиболее близким к предлагаемомуявляется вакуумный электрическийввод, содержащий металлические проводники и стеклянный изолятор, имеющие близкие температурные коэффициенты расширения (2,Недостатком данного ввода является опасность возникновения течи встыке изолятор-проводник, например,при перепадах температуры, так кактемпературные коэффициенты расширения проводника н изолятора, подоб"ранные близкими, неодинаково зависят от температуры, кроме того, ониимеют разные теплоемкости и резко. отличаются по теплопроводности, чтоприводит при нагреве и охлаждениик разнице в температурах между ними.Другим недостатком - высокая чувствительность его надежности к точности соблюдения технологии йзготовления. Указанная опасность возрастает при увеличении количества вво 1 р дов.Цель изобретения - повышениенадежности электрических вводов путем исключения всех швов, кроме шва,соединяющего предлагаемое приспособление с корпусом герметизируемогообъема, а также электрическая изоляция ввода от корпуса,Поставленная цель достигаетсятем, что в электровакуумном вводе,содержащем проводящие и изолирующиеэлементы, ввод выполнен в виде полупроводниковой пластины с проводящимиэлементами, выполненными в виде отдельных сквозных областей, тип проводимости которых противоположентипу проводимости пластины, а изо,лирующими элементами служат встречно включенные р-и-переходы междуобластями, а так же тем, что всесквозные области с пластиной окружены сквозным замкнутым контуром,тип проводимости которого противоположен типу проводимости пластиныНа фиг. 1 изображено приспособ-.ление в плане; на фиг. 2 - разрезА-А на Фиг. 1.,На чертеже обозначены полупроводниковая пластина 1 р- или и-типапроводимости, замкнутый контур 2,тип проводимости которого противопо,ложен типу проводимости пластины,области 3, тип проводимости которыхпротивоположен типу проводимости aластиныОбласти в предлагаемом приспособлении служат проводниками, а изоляция областей друг от друга осуществляется за счет того, что любые двар-и-перехода островок - пластинаоказываются включенными встречно.При любой. полярности напряжения между областями тока между ними не будет, потому что если один р-и-пере-. ф 0.ход открыт, то другой обязательнозакрыт. Если корпус, в котором установлено данное приспособление, проводящий, то вторым р-п-переходом между .областями и корпусом служит р-и-переход койтур - пластина, Овеческийконтакт с областями осуществляетсялюбым известным способом.При перепадах температуры, награницах областей разных типов 30"проводимости не возникают механические. напряжения, так как легирующиепримеси имеют концентрацию, не влияющую на температурный коэффициентрасширения, теплоемкость и тепло- . 35проводность материала пластины.Свободные от контактов областипластины используются в качествеокон для ввода или вывода излучения.Примером исполнения служит вакуумный электрический ввод, состоящий из полупроводниковой кремниевойпластины р-типа проводимости с областями и-типа проводимости, связанный со стеклянным корпусом. Втаком исполнении области служат 4 ф проводниками для ввода электричества, а свободная от контактов с областями часть пластиныокном для ввода ИК-излучения и мощных импульсов лазера на СО.Преимуществом предлагаемого приспособления перед другими электрическими вводами является более высокая надежность герметизации, большее количество вводов на единйцу площади, технологичность при мас- совом производстве Ьсе области и контур выполняются одной операцией и,трудоемкостьне зависит от количества областей, т,е. вводов). формула изобретения1. Электровакуумный ввод, содер"жащий проводящие и изолирующие элементы, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что с целью повышения егонадежности, ввод выполнен в видеполупроводниковой пластины с проводящими элементами выполненными эвиде отдельных сквозных областей,тин проводимости которых противопофложен типу проводимости пластины,а изолирующие.элементы выполнены ввиде встречно включенных р-и переходов между областями.2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюэлектрической изоляции областей откорпуса, они окружены сквозным замкнутым контуром тип проводимости которого противоположен типу проводимости пластины.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе .1. Данилин Б.С., Минайчев В.Е.Основы конструирования вакуумныхсистем. И., Энергия, 1971,с. 12-202. Розбери, ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. И.,Энергия, 1972, с. 40-53 (прототип) .911645 Жакова Составитель Техред С,Ми Редактор М. Яно орректор С. Жом Филиал ППП Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Заказ 1140/46 ТирННИИПИ ГосУдпо делам113035, Москва 758ственногообретений-35, Рауш Подписнокомитета СССРи открытийкая наб., д. 4