Токосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхем

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ЕЛЬСТВУ АВТОРСКОМУ С 1) Допо ьное к авт. саид 25.05,7 276 а 378(24-07(23) Прнорит во делам изаоретеи и открытий Опубликовано 15,02.8 етень Р 1 х 3) УДК 621.316.,02.82 ата ванин описаии 2) Авторы изобретен ивчиковтут связи,.Е. Михайлов, Е.В. Никольс и А. скин инсвича нинградскии электротехни им. про. М.А. Бонч-Бр(71) Заивител ОСЬЕМНОЕ УСТРОИСТВО ДЛЯ КОНТРОЛ КТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МИКРОСХЕМ(5 оь достигается ставленна Изобр технике контролячто в устройстве,водящий элемент, вс контактной площа окп содержащем заимодейств дкои микрос одящий элем рметичного кой,на конц ующит емы,нтссуда указанныи токо ге уб ыполнен в видекапиллярной т за- конкрыта . еталл лненного жидк икросхемьда. я площад й пироуг тактн пленк 1 ОН уктивн уя ого в виде трубкой ка онце. Сосуд лом 2, в ко онцом элекщего элемента, выполнен герметичного сосуда 1 с пиллярного сечения на к 1 заполнен жидким метал торый погружен своим к трод 3, другой конец ко ключен к измерительной Лавление в сосуде 1 рег любым извесным способом металл 2 взаимодействуе торого под аппаратуре.улируетсяЖидкий так т с актеристик,ение относится к элек может быть использова лектрических параметро электросхем.Известно токосъемное устройство для контроля электрических параметро микросхем, содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с кон тактной площадкой микросхем.и выполненный в виде иглы, изготовленной из бронзы, которая с некоторым усилием устанавливается на контактной площадке1.Недостатком такого устройства является нестабильность контактных характеристик, обусловленная нестабильностью контактного нажатия, притуплением иглы, образованием царапин на контактной площадке, наличием Окисных пленок, как на самой игле, так и на контактной площадке и т.д.Целью изобретения является обеспечение стабильности контактных чертеже представлено коне выполнение устройства.тройство состоит из токопной площадкой 4 микросхемы черезпленку пироуглерода 5,Устройство работает следующим образом.3 исходном состоянии жидкий металл 52 полностью находится в капиллярнойтрубке сосудаи контактная система разомкнута, Для замыкания системыувеличивают давление в сосуде с помощью устройства .для регулирования 10давления, При этом на конце капилляра образуется капля жидкого металла,с помощью которого осуществляетсяэлектрический контакт с контактнойплощадкой 4 микросхемы через защитную пленку пироуглерода 5, При этомток течет через контактную площадку4, жидкий металл 2, твердометаллический электрод 3 к контрольно-измерительной аппаратуре. 20После снятия необходимых электрических параметров уменьшают давлениев сосуде 1, капля втягивается в капилляр, и контактная система приходитв исходное состояние. 25На конце капиллярной трубки в месте непосредственного контакта жидкогометалла с атмосферой образуется окисная пленка, которая разрушается в момент контактирования с площадкой микросхемы за счет увеличения площадиповерхности капли, что приводит к контактированию через чистый жидкий металл. С другой стороны, пленка пироуглерода, которая наносится в вакууме на контактную площадку микросхемы, не позволяет окисляться последней и предохраняет ее от химического взаимодействия с жидким металлом. Совокупность указанных признаков позволяет осуществлять неразрушающий контроль микросхем и обеспечить стабильность контактных характеристик,Формула изобретенияТокосъемное устройство для контроля электрических параметров микросхемг содержащее токоподводящий элемент, взаимодействующий с контактной площадкой микросхемы, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью обеспечения стабильности контактных ха рактеристик, токоподводящий элемен выполнен в виде герметичного сосуд, с капиллярной трубкой на конце, заполненного жидким металлом, а контактная площадка микросхемы покрыта пленкой пироуглерода.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе1. Смирнов В,И Иатта Ф,9. Теория и конструкция контактов в электронной аппаратуре. И., Советскоерадио", 1974,: А.Бабине Сост Заказ 388/69 Тир ВНИИПИ Государственног по делам изобретений 113035 Иосква Ж757омитета Соткрытийушская наб тд.4 илиал ППП "Патент", г. жгород, ул. Проектная едактор Т. Веселова Те лосовКорректо Подписно Ркшан