Устройство для измерения виброперемещений

Сфюэ СоветскикСоциалистическиеРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(51)М. Кл, С 01 В 11/00 с присоединением заявки М -ЪсударстеевныЯ квинтет СССР аа диает взебретенкЯ и атерытвЯ(71) Заявитель 54) УстРойстВо ЗМЕРЕНИЯ ВИБРОПЕРЕИЕЦфЕН Изобретение относится к измерению параметров вибраций и может быть использовано для измерения виброперемещений в поверочных установках.Известно устройство для измерения виброперемещений, содержащее последовательно установленные осветитель, щелевую маску, элемент отсечения светового потока и фоторегистрирующую систему Г 11Недостат ком у строй ст ва я вляется низкая точность измерения, возникающая вследствие наличия постоянной составляющей светового потока, нелинейности зависимости светового потока от перемещения из-за дифракции на узких щелях и нечеткости границ светового потока после прохождения изделий.По основному авт. св. Ю 742704 известно устройство для измерения виброперемещений, содержащее последовательно установленные осветитель, щелевую маску, элемент отсечения светового потока, объектив, установленный между элементом отсечения светового потока и щелевой маской, однаиз кромок которой скрепляется с контролируемым объектом, механизм перемещения элемента отсечения, рассеивател ь и фоторе ги стрирующую систему 2.Этому устройству присуща недостаточная точность измерения из-за наличия фоновой засветки фотокатода фоторе гистрирующей системы.Целью изобретения является повышение точности.Указанная цель достигается тем,что у ст рой ст во сн абже но дополнит ел ьным элементом отсечения световогопотока с механизмом его перемещения, установленным симметрично основному.На чертеже представлена принципиальная схема устройства для измерениявиброперемещений,Устройство состоит из осветителя 14аски. После этого увеличивают свеовой поток осветителя 1 так, чтобы выходной ток 3 фоторегистрирующей истемы 15, соответствующий величине виброперемещения, не превышал предела инейности, и ре ги стрируют его.Затем проводят калибровку устойства с помощью калибровочной щели (не показана), расположенной на основом элементе отсечения светового поока, перемещая ее в положение, соответствующее определенной величине, например И = 1 мкм, перемещения кромки щелевой маски 5, и регистрируют полученное значение выходного тока 33.Величина виброперемещения 3 опредеяется из сравнения полученных выходных токов Формула изобретения Устройство для измерения виброперемещений по авт. св, 11 742704, о т л и ч а ю щ е е с я тем, цто, с целью повышения точности, оно снабжено Зо дополнительным элементом отсечениясветового потока с механизмом его ,перемещения, установленным симметрично основному. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе.1, Патент Японии М 49-48782,кл. 106 С 34, 19752 Авторское свидетельство СССРйф 742704, кл, С 01 В 11/00, 1977(прототип),3 890069мого ат источника 3 питания, имеющемго регулятор 4 интенсивности постоян тного светового потока, щелевой маски5, кромка которой скрепляется с конт- сролируемым объектом 6, объектива 7,формирующего увелиценное изображение лщелевой маски 5, основного элемента8 отсечения светового потока с ме- рханизмом 9 перемещения, .дополнительного элемента 10 отсецения светового 16 нпотока с механизмом 11 перемещения,тпопупрозрачного зеркала 12, оптического визира 13, рассеивателя 14 иФоторегистрирующей системы 15.Все элементы устройства, за исключением кромки щелевой маски 5, скрепляемой с контролируемым объектом 6,расположены на неподвижной плите,лимеющей виброизоляцию, и закрытыкожухом от попадания постоянного све- уета (не показан).Устройство работает следующим образомм.Постоянный световой поток осветителя 1 направляется на щелевую маску 2%5. Кромка основного элемента 8 отсецения светового потока с помощью микрометрицеского винта механизма 9перемещения устанавливается в такоеположение, цтобы в оптический визир13 была видна только вибрирующаякромка щели,Кромка дополнительного элемента10 отсечения светового потока винтоммеханизма 11 перемещения устанавливается с противоположной стороны. такчтобы щель, образуемая этой кромкойи кромкой элемента 8 отсечения светового потока, была близка, но неменьше величины увеличенной объективом7 виброперемещения кромки щелевой890069 ектор В кая Заказ 10948/62 Тираж 645 ВНИИПИ Государственного комитета С по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Й, Раушская наб