Вакуумная система течеискателя

Номер патента: 868135

Авторы: Иванов, Кононов, Хохлов, Юрченко

ZIP архив

Текст

(51)М. Кд,Р 04 Р 9/00 а 01 М 3/02 3 Ъеуааратаанаый кематет СССР ав ладам изобретений и атауитий(088.8) Опубликовано 30.09,81, Бюллетень М 36Дата опубликования описания 30,09.81 Б. В. Иванов, Ю. 3, Кононов, В. А. Хохлов и В.1 А, ЮрченкоМосковский ордена Трудового Красного Знаме титутхимического машиностроения(71) Заявитель 54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ТЕЧЕИС остигается тем, что в масс- амере размещена улитка соединенная со входом Изобретение относится к вакуумной техни.ке, а именно к устройству средств контролягерметичности вакуумных систем.Известны вакуумные системы течеискателей,содержащие масс-спектрометрическую камеру,соединенную со входом, диффузионного иасо.са И).Недостатком известной системы. является ог.раниченная чувствительность течеискателя вследствие наличия значительного фона остаточныхгазов в масс-спектрометрической камере.0Цель изобретения - повышение чувствительности течеискателя.Указанная цель дспектрометрической ккоробчатого сечения,диффузионного насоса,На фиг. 1 представлена вакуумная систематечеискателя; на фиг, 2 - масс-спектрометрическая камера, поперечный разрез; на фиг. Э -сечение А - А на фиг. 2,Вакуумная система течеискателя содержитмасс.спектрометрическую камеру 1, соединен-ную со входом диффузионного насоса 2, при чем в масс-спектрометрической камере 1 размещена улитка 3 коробчатого сечения, соединенная со входом диффузионного насоса 2. В масс-слектрометрической камере 1 располо. жены источник 4 ионов и коллектор 5 (тра. ектория 6 движения ионов пробного газа показана пунктиром), а выход диффузионного насоса 2 соединен со входом форвакуумного насоса 7 посредством трубопровода 8.Система работает следующим образом.Пробный гаэ, при помощи которого исследуемый объект проверяется на герметичность, попадая в масс-спектрометрическую камеру 1, иониэируется и его ионы из источника 4 под действием перпендикулярных электрического и мапитного полей по крутовои траектории 6 достигают коллектора 5, где преобразуются в электрический сягнал, соответствующий количеству пробного газа и фиксируемый регистрирующей аппаратурой, Улитка 3 размещена в масс-спектрометрической камере 1 таким образом, что меньший ее радиус больше радиуса траектории 6 движения ионов пробного газа, При этом ионы большинства остаточных газов(в случае использования в качестве пробного Формула изобретения газа гелия - всех остаточных газов, кромеводорода) будут попадать в улитку, так как Вакуумная система течеискателя, содержа- радиус траектории движения ионов при пали. щая массспектрометрическую камеру, соеди. чии перпендикулярных электрического и маг- пенную со входом диффузионного насоса, о т. нитного полей больше, чем больше масса ио- л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью по. на, а оттуда в диффузионный насос 2. вышения чувствительности течеискателя, вТаким образом, при размещении в масс- масс-спектрометрической камере размещена спектрометрической камере течеискателя улит. улитка коробчатого сечения, соединенная со ки, соединенной со входом диффузионного на, входом диффузионного насоса.соса, значительно уменьшается количество ио- Источники информации, иов остаточных газов, случайно попадающих на принятые во внимание при экспертизе коллектор и создающих нежелательный фонв 1. Глазков А. А. и др, Учебная лабораторезультате чего чувствительность течеискателя, рия вакуумной техники (теория и практив целом повышается. кум). М., Атомиздат, 1971, с, 135.868135 итель В. КряковкииМ,Пекарь Корректор Л, Бокша тор М. Тка 15 Подписиоеого коьппета СССРеиий и открытийРаушская иаб., д; 4/5 каз 8274/40 Тираж 7 ИПИ Государственн м изобрет ква, Ж, ло дела13035, Мое илиал ППП "Патентфф, г. Ужгород, ул, Проектная, 4

Смотреть

Заявка

2870767, 10.01.1980

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ

ИВАНОВ БОРИС ВИКТОРОВИЧ, КОНОНОВ ЮРИЙ ЭДУАРДОВИЧ, ХОХЛОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСЕЕВИЧ, ЮРЧЕНКО ВЛАДИМИР АВРААМОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04F 9/00

Метки: вакуумная, течеискателя

Опубликовано: 30.09.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-868135-vakuumnaya-sistema-techeiskatelya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная система течеискателя</a>

Похожие патенты