Устройство для транспортирования

Союз СоаетсиикСоциалистнчесииаРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ оц 834378В 65 Я 15/02 пс делам наебретеиий и вткрмтий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ Изобретение относится к радиотехникеи может быть использовано при транспортировании в напылительных установках дляпроизводства интегральных .схем,Известны устройства для транспорти 5рования испаряемого материала, содержащие карусель с тиглями, в которых помещены порции испаряемого материала 11,Недостатком известных устройств является ограниченный запас испаряемого ма-териала за счет небольших размеров карусели, Увеличение размеров карусели приводит к конструктивному усложнению устройства,Наиболее близким к предлагаемомупо технической сущности является уст-ройство для транспортирования, содержащее связанные с приводом вертикальные валй, на которых расположены и скоторыми фрикционно связаны спиралибесконечного гибкого конвейера с держа ,телами, и пружинный механизм натяженияконвейера, на,рычагах которого закреплены опоры вертикальных валов 2,2Недостатком известного устройства является его сложное конструктивное выполнение,Цель изобретения - упрощение конструкции устройства.Поставленная цель достигается тем,что в устройства, содержащем связанныес приводом вертикальные валы, на которых расположены и с которыми фрикционно связаны спирали бесконечного гибкогоконвейера с держателями, и пружинныймеханизм натяжения конвейера, на рычагах которого закреплены опоры вертикальных валов, участки вертикальных валов взонах схода и захода ленты бесконечногоконвейера выполнены в виде усеченныхконусов, углы которых равны углу подъема спирали конвейера,На фиг. 1 изображено предлагаемоеустройство, общий вищ на фиг. 2 - механизм натяжения ленточного конвейера,разрез А-А на фиг. 1,Устройство содержит вертикальные валы 1, на которых намотана лента 2 бес8343 3конечного конвейера с держателями 3тиглей 4, в которых помещен испаряемыйматериал. Валы 1 закреплены на осях 5,снабжениых шестернями 6, Концы валов1 установлены в подшипниковых втулках7, закрепленных на рычагах 8 и 9. Рычаг 9 имеет воэможность поворачиватьсяна втулке 1 О под действием пружины 11.Это позволяет менять расстояние междувертикальными валами 1 и компенсировать температурное удлинение ленты 2при:разогреве тигля 4, Втулка 12 расположена в рычаге 8 и служит подшипником для опоры 13, на которой закреплена ведущая шестерня 14 в храповоеколесо 15, а собачка 16 связана с рычагом 8.Рабочая поверхность вертикальных валов 1 выполнена гладкой и состоит из; трех участков, Центральный участок имеет цилиндрическую форму 17, а участки в зонах схода и захода ленты (концы валов) бесконечного конвейера выполнены в виде усеченных конусов 18, углы которых РаВнЫМ УГЛУ ПОДЪЕМа СПИРаЛИ КОНВЕИЕРа. 25 При переходе ленты с конического участка вала на цилиндрический шаг навивки ленты остается постоянным.Устройство работает следующим образом. 30При повороте храпового колеса ведущая шестерня 14 поворачивает шестерни 6 и связанные с ними валы 1. Лента конвейера 2, намотанная на валы, имеет две прямые ветви - верхнюю и . нижнюю, 35 причем в этих местах плоскость ленты непараллельна плоскости опор валов, поскольку концы валов конические. При наматывании на коническую поверхность .лента изгибается по спирали с определен" 40 ным углом наклона относительно опоры вала, задаваемого углом конуса и его протяженностью. При переходе ленты на цилиндрический участок 17 вала угол наклона, приобретенный лентой на кониче ском участке 18, сохраняется и поэтому 78 4лента ложится на цилиндрический участок вала по спирали с постоянным шагом. При попадании ленты на сбегающую коническую поверхность лента теряет угол спирали и выпрямляется в сторону приемного конуса другого вала, причем плоскость ленты наклонена к плоскости опор вала под таким же углом, но в противоположную сторону. При наматывании ленты на другой вал направление спирали будет противоположным, т,е. если на одном валу оно было правым, то на другом будет левым, а лента, навиваясь на одном валу снизу вверх, перейдет на другой вал и, навиваясь на нем сверху вниз, перейдет на первый.Предлагаемое изобретение позволит упростить конструкцию устройства и уве: личить продолжительность работы напылительной установки без разгерметизации формула изобретения Устройство для транспортирования, преимущественно навесок испаряемого материала, содержащее связанные с приводом вертикальные валы, на которых расположены и с которыми фрикционно связаны спирали бесконечного гибкого конвейера с держателями, и пружинный механизм натяжения конвейера, на рыча, - гах которого закреплены, опоры вертикальных валов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения, участки вертикальных валов в зонах схода и захода ленты бесконечного конвейера выполнены в виде усеченных конусов, углы которых равны углу подъема спирали конвейера. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Данилин Б; С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М.,"Энергия", 1972, с. 49-52,2. Авторское свидетельство СССР Мо 532733,кл, Г 26 В 15/26, 1975.Редактор Н; Кеш Шом Тираж 740сударственного комитета Сизобретений и открытийква, Ж, Раушская наб;,аказ 4042/60ВНИИПИ Гопо делам113035, Мос дписное лиал Г 1 ПП "Патент", г. Ужгород,; ул, Проектная,