Установка для обработки лен-точного материала b вакууме

Союз Советских Социалистических Реслублик(22) Заявлено 21.11,78 (21) 2 б 86849/18-21 с присоединением заявки йо С 23 С 13/08 Государственный комитет СССР оо делам изобретений и открытий(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ЛЕНТОЧНОГО МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕИзобретение относится к вакуумной технике,и предназначено для технологической обработки в вакууме ленточных рулонных материалов, например, для снятия фоторезиста в процессе изготовления микроэлектронных изделий.Известна установка для нанесения покрытий в вакууме на рулонные материалы, содержащая камеру металлиэации,внутри которой установлены испаритель и нагревательные элементы, затворы, отсеки перемотки, соединенные с камерой металлиэации, механизм подачи ленты в камеру, включающий направляющие, смонтированные в камере металлизации, каретку с роликами, установленными по ее краям, и механизмы фиксации каретки. Затворы закреплены между камерой металлизации и отсеками перемотки, каретка выполнена из двух частей с воэможностью их взаимного зацепления по месту разъема; а механизм Фиксации - в виде толкателей и расположенных в камере металлиэации. упоров (.13.Недостатком этого устройства является сложность конструкции и кинематики механизмов подачи ленты и ее фиксации, сложность вакуумных вводов для приводов этих механизмов,недостаточная эффективность вакуумирования, приводящая к нарушениютребований вакуумной гигиены.5Наиболее близкой по техническойсущности к предлагаемой являетсяустановка для обработки ленточногоматериала в вакууме, содержащаярабочую и шлюзовую камеры, вакуумные затворы, размещенные попарнона рабочей и шлюзовых камерах,механизм перемещения ленточного материала 21.Недостатком установки является 15 сложность конструкции.Цель изобретения - упрощениеконструкции.Цель достигается тем, что в установке для обработки ленточного ма териала, содержащей рабочую и шлюзовые камеры, вакуумные затворы,размещенные попарно на рабочей ишлюзовых камерах, механизм перемещения ленточного материала выполнен 25 в виде двух различных по весу роликов, размещенных в шлюзовых камерах на поверхности ленточного материала с возможностью вертикальногоперемещения под собственным весом и 30 кинематически соединенные с вакуум 808555, ными затворами рабочей и шлюзовыхкамер.На фиг, 1 показана схема предлагаемой установки;на фиг. 2 - то же,рабочее положение,Установка содержит рабочую вакуумную камеру 1, сообщающуюся посредством управляеьых уплотнителей 2 и 3с загрузочной шлюзовой камерой 4 иразгрузочной шлюзовой камерой 5.Вокруг камеры 1 расположен индуктор6, образующий плазму для снятия Фотореэиста с поверхности протягиваемого через нее ленточного материала7 со смоточного шпинделя 8 на намоточный шпиндель 9, снабженный приводом вращения (не показан). Шлюзовыекамеры 4 и 5 сообщаются через управляемые уплотнители 10 и 11 с окружающей атмосферой. Обрабатываемая ввакууме лента проходит от смоточного шпинделя 8 к намоточному шпинделю 9 через загрузочную шлюзовуюкамеру 4, внутри которой на входе ивыходе соответственно в зоне уплотнителей 10 и 2, установлены направляющие ролики 12 и 13, через вакуумную камеру 1 и разгрузочную камеру 5, внутри которой на входе ивыходе, соответственно в зоне уплотнителей 3 и 11, установлены направляющие ролики 14 и 15.Устройство снабжено механизмомшагового перемещения ленточного материала 7, который выполнен в видедвух подающих роликов 16 и 17,установленных на поверхности ленточногоматериала 7 соответственно в загрузочной камере 4 между направляющимироликами 12 и 13 и в разгрузочнойкамере 5 между направляющими роликами 14 и 15 с воэможностью свободногоперемещения под собственной силойтяжести. Масса подающих роликов выбрана такой, что усилие давления наматериал ролика 16 в загрузочнойскамере 4 достаточно для преодолениясил трения, возникакщих нри смоткеленточного материала 6 со шпинделя 8и его протяжке в загрузочной камере 4, а усилие давления на материалролика 17 в загрузочной камере 5больше усилия давления на этот материал ролика 16 в загрузочной камере 4 на величину, превышающую силутяжести ролика 16 и суммарнуюсиуу трения, возникающую при перемещении материала через загрузочную 4, рабочую 1 и разгрузочную 5вакуумные камеры.Управляемые уплотнители 2,3,10и 11 шлюзовых камер 4 и 5 выполненыс возможностью попарного периодического открытия то со стороны.рабочей вакуумной камеры 1 (уплотнители 2 и 3),то со стороны атмосферы,Цля создания вакуума в рабочейкамере 1 и промежуточного вакуума в шлюзовых камерах 4 и 5 установка снабжена системой вакуумирования (не показана).Установка работает следующимобразом.Управляемые уплотнители 2 и 3закрываются и герметизируют вакуумную камеру 1 со стороны загрузочного и со стороны разгрузочногоалюзов 4 и 5, управляемые уплотнители 10 и 11 открываются и шлюзовыекамеры 4 и 5 сообщаются с атмосферой. Ленточный материал 7 неподвижнозафиксирован в вакуумной камере 1,где он подвергается технологической обработке в плазме, возбуждаемой 15 индуктором 6, удаляющей с ленточного материала 7 фоторезистивныйслой.Подающий ролик 16 под собственной силой тяжести опускается в ниж О нее положение. Ленточный материал 7,сматываясь со шпинделя 8, протягивается в загрузочную шлюзовую камеру4 в виде петли, образованной междунаправляющими роликами 12 и 13 подводящим роликом 16.Приводимый во вращение намоточный шпиндель 9, преодолевая силутяжести подающего ролика 17 и возникающие силы трения, протягивает рр обработанный ленточный материал иэразгрузочной камеры 5 через открытый уплотнитель 11 в атмосферу,приэтом петля, образованная между направлякщими роликами 14 и 15 подающим роликом 17, выбирается и ролик17 занимает крайнее верхнее положение. При открытых уплотнителях 10и 11 вакуумные насосы поддерживаютрабочий вакуум в камере 1. Послепротяжки ленточного материала 7 взагрузочную камеру 4 и на выходеиз разгрузочной камеры 5 в этихкамерах производится откачка роэдухадо степени, близкой к разрежению врабочей камере 1. Управляемые уплотнители 2 и 3 на входе иовыходе рабочей вакуумной камеры 1 открываются и освобождают ленточный материал7, который под действием силы тяжести подаквего ролика 17 протягияр вается на шаг в виде петли,образованной между направлякщими роликами 12 и 13 подающим роликом 16 взагрузочной шлюзовой камере 4, выбирается в рабочую вакуумную камеру 1, а ролик 16 занимает крайнееверхнее положение.Эатем уплотнители 2 и 3 закрываются. В камере 1, герметизированной от камер 4 и 5,создаетсянеобходимый рабочий вакуум и после ЙО окончания технологического времениобработки поданного в камеру 1участка ленточного материала 7цикл работы повторяется.Положительный эФФект от пред лагаемой установки выражается в прос808555 Формула изобретения Составитель Л. Беспаловаехред А. Бабинец Корректор Н. Швыдкая Редактор Н. Кешеля Тираж 1059 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Заказ 79/28 Филиал ППП фПатент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 тоте ее конструкции и упрощении уп-. равления шаговыми перемещениями обрабатываемого материала.Использование установки позволит увеличить эффективность и снизить время откачки шлюзовых камер эа счет сведения к минимуму возможности натекайия воздуха из-за отсутствия вакуумных вводов для привода механизма перемещения ленточного материала, что обеспечивает дополнительную возможность соблюдения высоких требований вакуумной гигиены в процессе изготовления изделий микроэлектроники. Установка для обработки ленточного материала в вакууме, содержащая рабочую и шлюзовые камеры, вакуумные затворы. размещенные. попарно нарабочей и шлюзовых камерах, механизмперемещения лейточного материала,о т л и ч а ю щ а я с я тем, что,с целью упрощения конструкции, механизм перемещения ленточного материала выполнен в виде двух различных повесу роликов, .размещенных в шлюзовых камерах на поверхности ленточногоматериала с возможностью вертикального перемещения под собственным весом и кинематически соединенные свакуумными затворами рабочей и шлюзовых камер.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе15 1. Авторское свидетельство СССРР 515833, кл. С 23 С 12/10, 1976.2. Авторское свидетельствоСССРР 515834, кл. С 23 С 13/10, 1976