Способ измерения амплитудной и фазовой анизотропииоптического обекта

Союз СоветскикСоциалистически кРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 1753269(21) 2637606/1851)М 01 присоединением заявки И -Гоеударстваииый комитет СССР по аолом изобретеиий и открытий(088, 8) ата опубликования описан 06. 81 2) Авторы изобретен Д, П о и И, П, Пуга(7 ) Заявите вский ордена Ленина государственный университ им. Т,Г, Шевченко 54) С ОБ ИЗМЕРЕНИЯ АМПЛИТУДНОЙ И фАЗОВОЙИЗОТРОПИИ ОПТИЧЕСКОГО ОБЬЕКТА Изо еск о излучения Однако в связи с еристики объекта иэ ой поляризации иэуч ость такого способа Цель изобретения сть измерений.зовано других элемен тем, что харакмеряются для каж я порознь, твелика. Изв бы измвысить точ но анизо лючаю ризов остигается эа езонатора изме менени ражени неиному эа 11,Нед ные интервалы щи импульсачипульсов на выплитудную и фаделяют по форого способа я статками д низкая точ о в инфрак ость измерений,асной области сп собеннра, и зовую аниэотропию опрмулам:ЬМлЬ= 21 ь ) ,),1 )2 ъ длительность ни изме нии Наи олее блиэк я способ и ой аниэотр к предлага мерения амплитуднойпни, заключающийся ет-ь( ;,ретение относится к технике опих измерений и может быть исполь. при исследовании оптических и физических свойств веществ и ов оптических устройств. стны эллипсометрические спосорения амплитудной и фазовой опии оптических объектдв, эакеся в облучении объекта поляным светом и исследовании изполяризации света после от 10или прохождения через объект помещении оптического объекта везонатор, возбуждении резонатора моохроматическим поляризованным свеом и анализе отраженного или прошедПоставленная цель счет того, что длину няют по периодическому кону, измеряют времен между интерференционнь и длительность этих и ходе резонатора, а ам753269 10 3где Ь - фаэовая анизотропия;Я - амплитудная анизотропия;М - число зеркал резонатора,на которые излучение падает под углом, отличным от нуля;5Ь 9 - временной интервал междуимпульсами разных поляризаций;Ь 9- временной интервал междуимпульсами одной поляризаций;Ри Г - длительности импульсов Р и5 поляризацийР и Р - коэффициент отражения 1-гоРзеркала соответственно дляР и 5 поляризации 1=1,2 й,На фиг 1 изображено устройство,реализующее данньй способ; на фиг,2показаны эпюры интерференционных импульсов,Устройство содержит лазер 1, поляризатор 2, четвертьволновую пластину3, зеркало 4, объект 5 пьезокерамику 6, поляризатор 7 и отоприемник 8. 25Устройство работает следующим образом.Монохроматический пучок, излучаемый лазером 1, проходит через поляризатор 2, четвертьволновую пластинку 3 30и возбуядает резонатор, образованныйзеркалом 4, объектом 5 и зеркалом, установленным на пьезокерамике 6. Прошедшее через резонатор излучение анализируется поляризатором 7 и поступает в фотоприемник 8, При линейномпериодическом изменении длины резонатора его собственные частоты по очереди совпадают с частотой внешнегоизлучения и оно в эти моменты достигает фотоприемника. Одновременноенаблюдение импульсов, соответствующих .различным поляризациям излучения,обеспечивает высокую точность измерения оптических характеристик, 45 ф Формула изобретенияСпособ измерения амплитудной и фазовой анизотропии оптического объекта, включающий помещение объекта воткрытый резонатор, возбуждение резонатора монохроматическим поляризованным излучением и анализ отраженного или прошедшего излучения, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью повышения точности измерений,длину резонатора измвняют по периодическому линейному закону, измеряютвременные интервалы между интерференционными импульсами и длительностьэтих импульсов на выходе резонатора,а амплитудную и фазовую анизотропиюопределяют по формуламД%ДУ=ЬД 2Ю (йр 69 ) Н111 П (,/1 Р),где Д 9 - фазовая анизотропия;амплитудная анизотропия;Й - число зеркал резонатора, накоторые излучение падает подуглом, отличным от нуля;ЬМ - временной интервал между импульсами разных поляризаций;Ь 0- временной интервал между импульсами одной поляризации;и Ч- длительности импульсов Р и5 поляризаций;Р и Р - коэффициенты отражения 1-гозеркала соответственно дляР и 5 поляризаций, 1 =1,2.еИсточники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Горшков М,М. Эллипсометрия.М., "Советское радио", 1974,с, 156,2, Новиков М.А. Поляризационныйкольцевой интерферометр.-"Радиотехника и эдектроника", 976, т, 21, с. 904,753269 4523/18 Тираж 907 ВНИИПИ Государсгвенного комитетапо делам изобретений и открыти 113035 Москва ЖРа Зак П сно ушская наб,. д. 4/5Ужгород, ул. Проектн лиан ППП "Патент Составитель С. Р 1 естакедактор М. Кузнецова Техре ;Н.Ковалева Корректор Л Ива