Способ испытания на герметичность замкнутых изделий

Союз Советскик Социалистическик Республик(22) Заявлено 01.0877 (21) 2516549/25-28 (51)М. Кл.2 с присоединением заявки Нов(23) Приоритет -6 01 М Э/02 Государствеииый комитет СССР по делам изобретеиий и открытий(54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬЗАМКНУТЫХ ИЗДЕЛИЙ Изобретение относится к технике испытаний на герметичность замкнутых изделий малого объема, особенно микроминиатюрных, и может быть использовано в электротехнической и радиотехнической отраслях промышленности.Известны различные способы выявления негерметичности замкнутых изделий, например, когда готовые изделия помещают внутрь вакуумируемой камеры, соединенной с регистрирующей аппаратурой, при этом выявление негерметичности осуществляется по уровню давления в камере, достигае; мому к моменту завершения ее форвакуумной откачки за время цикла 1),Недостатком этого способа является невозможность обнаружения больших течей в иэделиях, особенно в микроминиатюрных, так как гаэ иэ них откачивается практически мгновенно.Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является масс-спектрометрический способ испытания ,на герметичность замкнутых изделий, заключающийся н том, что изделие помещают в контрольную камеру, заполняют ее пробным газом, подключают камеру к контрольно-регистрирующей аппаратуре и регистрируют проникновение газа иэ негерметичного изделия 12.Недостатком этого способа является то, что оказываются невыявленными изделия с большими течами из-за потери ими индикаторного газа, во-первых, эа время неиэбежнсй в массовом производстве длительной вылежки испытуемых иэделиЯ на воздухе после герметизации или опрессовки их в среде пробного газа до помещения изделия в контрольную камеру, во-вто" рых, эа время откачки камеры с прибором форвакуумным и высоковакуумным насосами до момента создания ее с масс-спектрометрическим анализатором течеискателя, Пробный газ при этом теряется особенно микроминиатюрными изделиями, внутренний объем которых очень мал, например до 1 мм Целью изобретения является расширение диапазона выявляемых течей в сторону их увеличения.20 40 45 50 55 60 Указанная цель достигается тем,что испытываемое изделие помещают вдополнительной, негерметичной камере, которую размещают и выдерживают в опрессовочной камере со средойпробного газа, затем герметиэируютдополнительную камеру, изолируют ееот опрессовочной камеры и подключают к изолированному, предварительновакуумируемому дополнительному объему, подключенному к контрольно-регистрирующей аппаратуре, При этомобъем дополнительной камеры выбирают из соотношения,а величина изолированного, предварительно вакуумируемого дополнительного объема выбирается из соотношения где / - внутренний объем дополнительной камеры;Ч наружный объем испытываемогонизделия;Ч - внутренний объем испытываемого изделия;Ч - изолированный предварительно вакуумируемый дополнительный объем, подключаемый кдополнительной камере и контрольно-регистрирующей аппаратуре,Р - парциальное давление среды пробного газа в контрольной камереР - минимальное, достовернорегистрируемое, изменениепарциального давления пробного газа в изолированномобъеме, подключенном к контрольно-регистрирующей аппаратуре.Способ осуществляется следующим способом.Герметично закрытая контрольная камера содержит дополнительную негерметичную камеру с изделием в среде пробного газа, например гелия.Датчик регистрации пробного газа, например диффузионно-магнитораэрядный датчик индикации гелия контактирует с изолированным, предварительно вакуумированным объемом. При герметичном соединении дополнительной камеры с изолированным, предварительно вакуумированным объемом пробный газ из этой камеры равномерно распределяется в объеме камеры и изолированном объеме. Причем никакой откачки газа при этом не производится и перед датчиком устанавливается определенное парциальное давление пробного газа. При контроле изделий предлагаемым способом подсоединение к изолированному объему, контактирующему с датчиком, дополнительной камеры, содержащей как герметичное, так и негерметичное изделие, вызывает изменение сигнала датчика. Но сигнал датчика, вызываемый подсоединением негерметичного иэделия, больше, чем при подсоединении камеры с герметичным изделием, так как при контроле негерметичного иэделия на величину парциального давления пробного газа перед датчиком влияет и то количество пробного газа, которое вошло во внутреннюю по-, лость негерметичного изделия во время опрессовки, С тем, чтобы негерметичные изделия надежно выявлялись выбраковывались, необходимо выбирать величину дополнительной камеры Ч, и величину иэолированного, предварительно вакуумируемого объема Ч из соотношений, приведенных выше.При испытании замкнутых иэделий по данному способу существенно расширяется диапазон выявляемых течей в сторону их увеличения, так как испытуемое изделие находится в дополнительной камере, в среде пробного газа в процессе всего времени контроля герметичности, при этом пробный гаэ, попавший в изделие, вообще "не теряется, например, иэ-за неизбежной в производстве вылежки подготовленных для контроля изделий. Формула изобретения 1, Способ испытания на герметичность замкнутых изделий, заключающийся в том, что изделие помещают в контрольную камеру, заполняют ее прочным газом, подключают камеру к контрольно-регистрирующей аппаратуре и регистрируют проникновение газа иэ негерметичного иэделия, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона выявляемых течей в сторону их увеличения, испытываемое изделие помещают в дополнительной 1 негерметичной камере, которую размещают и выдерживают в опрессовочной камере со средой пробного газа, затем герметиэируют дополнительную камеру, изолируют ее от опрессовочной камеры и подключают к изолированному, предварительно вакуумируемому дополнительному объему, подключенному кконтрольно-регистрирующей аппаратуре.2, Способ по п,1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что величина объема дополнительной камеры выбирается из соотношения а величина изолированного, предварительно вакуумируемого дополнитель(1.,2)(Ч -Ч ) Л 4(о щр 1(Ч -Ч ) Составитель В.МахровРедактор С.Лыжова Техред М, Петко Корректор,Н.Григорук Заказ 4222/27 Тираж 1019 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д,4/5Филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 ного объема выбирается из соотношения где Ч, -"внутренний объем дополнительной камеры;Ч, - наружный объем испытываемогоиэделия)Ч - внутренний объем испытываемого изделия;Ч - изолированный вакуумируемыйобъем, подключаемый, к дополнительной камере и контрольно-регистрирующей аппаратуре; Р - парциальное давление средыпробного газа в контрольнойкамере;Р,- минимальное, достоверно регистрируемое, изменение парциального давления пробногогаза в изолированном объеме,подключенном к контрольнорегистрирующей аппаратуре.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Франции 137920 б,кл. С 01 Ь, 1971.2. Способ обнаружения течей вмикроминиатюрных герметиэированныхприборах. Электронная техника, сер.8,вып. 7, 1972, с.46-50 (прототип).