Датчик измерения изменения давления в высоковакуумной системе

) ДАТЧИК ИЗМЕРЕНИЯ ИЗМЕНЕНИЯ В ВЫСОКОВАКУУМНОЙ СИСТЕМ Известен датчик измерения давленияв высоковакуумной системе, содержащийчувствительный элемент с газопоглощаюшими свойствами и индикатор регистрации натекания 2,Этот датчик является наиболее близпо технической сущности и достигаму результату к изобретению.Невысокая чувствительность известного датчика обусловлена избирательностьюпо кислороду, т.е., невозможностью зафиксировать полный спектр газов, натекающих в вакуумную систему из атмосферы,а также газоотделением со стенок системы во времени. ким емо води при коим углеми поЦелью изобретения ние чувствительности Зто достигается т мый датчик снабжен чувствительном элем механического напря ный элемент датчика ала, допускающего бося повыш 1Изобретение относится к испытательной технике, в частности к измерениюна текания в высоковакуумной системе.И.звестно устройство для обнаружения газа, содержащее чувствительный элемент,. 3 выполненный в виде пленки с радиоактивным веществом, диспергированным в оксидированном полупроводнике. Про мость полупроводника изменяется тактироввнии с газом, содержащи водороды, вследствие насыщения и лупроводнико в Ц .Однако такое устройство имеет избирательную способность реагировать на углеводороды, а так как в любой высокова куумной системе остаточная среда обязательно содержит углеводороды, то устройство нельзя применять при контроле гер- метичности системы.Кроме того, натекание воздуха из ат мосферы в систему характеризуется проникновением кисЛорода и азота, которые с помощью этого устройства регистрироваться не будут. ем, что предлагаеустановленным на енте преобразователем жения, а чувствительвыполнен иэ матеря- льшие механические/Предварительная тарировка датчиковдля определения величины натекания газаосуществляется путем измерения привесачувствительного элемента эа определенныйпромежуток времени при фиксированныхтемпературе и давлении, а также с помощью специальных устройств с калиброванной величиной натвкания газа,Использование изобретения обеспечивает простоту определения натекания газа и высокую чувствительность при минимальных затратах,Предлагаемый датчик обладает избирательной способностью к различным компонентам газа в высоковакуумных приборах,а также измеряет интегральную величинунатекания газа.Миниатюрное исполнение датчика, позволяет использовать его в различных областях вакуумной техники,3 71759напряжения, возникающие в процессе егоокисления.Ча чертеже изображен датчик, общий. вид.Датчик содержит чувствительный элемент 1 датчика, выполненный,из материала, допускающего большие механическиенапряжения, возникающие в процессе егоокйсления; преобразователь 2 "механического напряжения, установленныйна чувствитвльном элементе и преобразующий механйческий сигнал в Электрический; металлическую оболочку 3 для предотвращениясвободной деформации чувствительного-элемента и индикатор 4 регистрации нате 15калия,Датчик работает следующим образом.Чувствительный элемент 1 помещаютв высоковакуумную систему (или сообщают с ее атмосферой), Газ (кислород, азот, 20аргон и др.) взаимодействует с металломчувствительного элемента, в результатечего последний распухает. Напряжения оболочки чувствительного элемента воспринимает преобразователь 2, преобразуя механичвское усилив в электрический сигнал,который регистрирует индикатор 4. Величина механического напряжения чувствительного элемента пропорциональна количеству поглощенноГо газа.З 0Преобразователь 2 мвхани-еского на пряжения может быть выполнен из ферромагнитного материала, тогда при измене нии чувствитвльйого элемента будут меняться магнитные свойства преобразователа, возникает переменный ток, пропор.циональный механическому напряжению,а следовательно, и количеству поглощенного газа.Температурный режим чувствительного 40элемента датчика поддерживается любымизвестным способом и выбйрается, исходя. из материала чувствительного элемента.Емкость чувствительного элемента регулируется величиной его сорбционной поверхности. Материалы, используемые в каФормула изобретения Датчик измерения изменения давленияв высоковакуумной системе, содержащийчувствительный элемент с газопоглощающими свойствами и индикатор регистрации натекания, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения чувствитвльности, он снабжен установленным на чувствительном элементе преобразователеммеханического напряжения, а чувствительный элемент датчика выполнен из материала, допускающего большие механическиенапряжения, возникающие в процессе егоокисления.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент Японии М 52-47920,кл. 113 д, 06.12.77,2. Авторское свидетельство СССРХ 567985, кл. 6 01 М 3/40, 1976Составитель Э. ЛазареваРедактор Л. Народнаа Техред Н, Вабурка Корректор С. Шекмар,Заказ 9827/58 Тираж 1019 . Подписное ШЗИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035; Москва, Ж 35, Раушская набд. 4/5 Филиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул, Проектная, 4