Устройство для регистрации информации

. СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК С 06 1 15/14 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ ИНФОРМАЦИИ,содержащее источникмонохроматических колебаний, оптически связанный с расширителем, блокуправления, соединенный с блокомввода информации, с ключами и датчиками перемещения двухкоордйнатного стола, приводы которого одключены к датчикам совмещения и фокусировки, фокусирующий элемент, оптйчески связанный с носителем информации, и светоделительный элемент,о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения разрешающей способности и быстродействия устройства, оно содержит пространственно-временной модулятор, соединенный с ключами и оптически связанный с расширителем и с входом светоделительного элемента, выход которого оптически связан с датчиками"совмея(ейия й"фокусировки, и дефлектор, оптически связанный со светоделительным и фокусирующим элеМентами.2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что простран- Е ственно-временной модулятор содержит оптически связанные многоканаль- ный дефлектор, узел формирования сигналов равномерной освещенности фокусирующие элементы и щелевую диафрагму.673042Изобретение относится к области,автоматики и вычислительной техникй,в частности к устройствам"для реги-страции информации, и может быть использовано для регистрации графической информации на фоточувствительнойповерхности носителя информации приизготовлении прецизионных фотошабло-нов,Известны устройства для регистрации информации. Первое из известных/устройств содержит лазер, оптйческисвязанный через расширитель с оптической системой, соединенной с блоком управления, носитель информации,оптически связанный с фокусирующимэлементом и через светоделительныйэлемент с оптической системой. Недостаток этого устройства состоит в его низкой разрешающей способности,известно устройство, содержащееисточник монохроматических колебаний,оптически связанный с расширителем, 25блок управления, соединенный с блоком ввода информации, с ключами и с-":датчиками перемещения двухкоординатного стола, приводы которого подключены к датчикам совмещения и фокусировки, фокусирующий элемент, оптически связанный с носителем информации, и светоделительный элемент.Кго недостаток заключается в недостаточно высокой разрешающей способности и быстродействии устройства,Цель изобретения - повышение разрешающей способности и быстродействия.Поставленная цель достигается тем, 40что устройство содержит пространственно-временной модулятор, соединенный .с ключами и оптически связанныйс расширителем и с входом светоделительного элемента, выход которого 45 оптически связан с датчиками совмещения и фокусировки, и дефлектор, оптически связанный со светоделительным и фокусирующим элементами,а также и тем, что пространственно- временной модулятор содержит оптически связанные многоканальный дефлектор, узел формирования сигналов равномерной освещенности, фокусцрующие элементы и щелевую диафрагму. 55На чертеже представлена структур 1ная схема устройства.Устройство включает источник монохроматических колебаний 1, иапри 2мер лазер, расширитель 2, простран-. ственно-временной модулятор 3, содержащий многоканальный дефлектор 4,выполненный в виде совокупности элементов, узел формирования сигналовравномерной освещенности 5, фокусирующие элементы 6,7, выполненные в виде сферической и цилиндрической линз соответственно, и щелевую диафрагму 8, светоделительный элемент 9, выполненный в виде зеркала, фокусирующий элемент 10, выполненный в виде проекционного. объектива, носитель информации 11, двухкоординатный стол 12, датчики перемещения 13,блок управления 14, блок ввода информации 15, ключи 16, датчик совмещения 17, привод 18 двухкоординатного сТола, датчик фокусировки 19 и дефлектор 20.Устройство работает следующим образом.На двухкоординатный стол 12 устанавливают носитель информации 11,например полупроводниковую пластину со знаками совмещения таким образом,что она попадает в зоны захвата автоматических систем фокусировки и совмещения. Система фокусировки начинаетфследить за профилем поверхности полупроводниковой пластины так, что точки поверхности, находящиеся в зоне обработки, всегда находятся в плоскости изображения проекционного объектива 10. Система автоматического совмещения по знакам на полупроводниковой пластине производит ееориентацию по углу в плоскости пластины и привязку ее координатной сис- темы к координатной системе датчиков перемещений 13. По окончании операции совмещения двухкоординатный стол 12 устанавливают в исходное положе-" ние. Из блока 15 в блок 14 заносят информацию. б количестве строк топологического рисунка, и координатный стол 12 совершает движение с приблизительно постоянной скоростью. Блок 14 производит сРавнение ин- формации о топологическом рисунке с информацией от датчиков перемещения 13 о положении двухкоординатного стола 12 и подготавливает соответствующую кодовую комбинацию на управление ключами 16. При попадании координатного стола 12 вузел координатной сетки блок 14 вырабатывает стробируюший импульс, передающий коКорректор И. Муска Заказ 7742/1 Тираж 670. Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная,4 3 67304 довую комбинацию на управление ключами 16. Ключи создают комбинацию напряжений на электродах многоканального дефлектора 4 так, что через одни элементарные ячейки свет проходит без отклонения (состояние " 1"), а через другие ячейки с отклонением (состояние "0") в плоскости ХОУ кристаллофизической системы координат. Эле/ментарным ячейкам в состоянии "1" в Ю сопряженных точках щели щелевой диафрагмы 8 соответствуют светлые элементы, а ячейкам в состоянии "0" темные элементы. Длительность стробирующего импульса, если используется ла зер непрерывного действия, определяет время экспонирования изображения. Таким образом экспонируют в движении на фоточувствительном слое ши рокую строку. Рисунок циклически повторяют с периодом, равным разме-ру модуля вдоль строки и образуют наг 1 Редактор С. Титова Техред И.ПоповичI 2 4фоточувствительном слое мультиплицированный рисуйок широкой строки. Затем двухкоординатный стол 12 смещают по координате у (шаговое движение) на заданный размер, из блока 15 заносят информацию о следующей широкой строке топологического рисунка, двухкоординатйый стол 12 сканируют в обратном направлении, экспонируя следующую строку. Так происходит до тех пор пока не будет проэкспонирована мультиплицйрованнаястрока размером, равным поперечному размеру модуля. После чего весь предыдущий цикл повторяется до тех пор, пока не будет полностью заэкспонирован весь носитель информации 11. Блок 15 должен содержать информацию только об одном модуле БИС.Введение новых блоков и новых конструктивных связей позволило существенно повысить разрешающук спо- собность и быстродействие устройства.