Стекло

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советсиии Социавистичесиик Республикрисоединением заявки % -осуларственный ноюнтет Соаета Мнннстрое СССР по лелац нзобретеннй н открытнй(43) Опубликовано 251178, Бюллетень % 43 (45) Дата опубликования описания 26,) 178 3) УДК 666.11 .4 (088,8) ова, Р.Ф.Иутова, Т,М.Морозова,лдашов и В.Г.Красов В.З.Пе(72) Авторы изобретен и 1) Заявит Иосковский инстиТут электрон ехники 54) СТЕ ся обесп опротивм, темпе 5-520 С ,15 г/см ющее РЬО ачестве или Чг Осоотноше 10 60,00 11,74 РЬО 510 Изобретение относится к составамстекол, применяющимся для изготовления прецизионных рутениевых толстопленочных резисторов, применяемых впроизводстве микросхем для радиотехнической и электронной техники.Известно стекло, используемое дляполучения прецизионных толстопленочных резисторов, включающее, вес.%РЬО - 66, ВаОЭ - 12, 5 тО - 11, )ОИРезисторы на основе указанногостекла нестабильны при воздействииповышенной влажности и при перепадетемператур и имеют относительно высо окий температурный коэффициент сопротивления ( ТКС ), достигающий+1 ООО,10-1/С.Наиболее близким к изобретению посоставу является стекло, используемое 20для защитного слоя полупроводников,включающее, мол.ЪРЬО 25,0-50,0В 0 6,0-18,0510 33,0-65,0А 6 О, 0-19,0йв 0 Тдго,Т 1 ог или ЕЛО О,-,О(2,этот состав обеспечивает получение прецизионных толстопленочных резисторов на основе соединений рутенияз) в диапазоне от сотен Ом/кв до еди"ниц мОм/кв, Однако на основе этогостекла невозможно получение низкоомныхрезисторов ( 5 ( 200 Ом/кв) со стабильными характеристиками прн воздействии различных климатических факторов(влага, перепад температур и т.п,),Резисторы на основе этого стекла имеюттакже относительно высокий температурный коэффициент соуротивления (ТКС),достигающий 400 10 1/град, Это обусловлено высоким удельным объемным сопротивлением стекла (56 10 Ом см),его низкой температурой началаразмягчения ( Т . 450 С )и относительно высоким удельным ве"сои ( Й 5, 2 г/смз),Целью изобретения являет ечение удельного объемного сления 5 н 5;10 -;б 10 д Ом.сатуры размягчения Т,46и удельного веса д а 4,75-5ВДля этого стекло, включатЬОг, АЕаОа, ВгОа, Я О в кКгОЮ содержит Мьг 05илнТаг О при следующемнии компойентов, вес.Ъ:,М О 3,91 - 8, 157,50 - 12,60ФЭО илиЧО или Та 061,00 - 10,00В таблице 1 приведены составыстекол,Фвраждую смесь сплавляют отдельно вВоруидиэовом тигле в силитовой печипри температуре 1250 ф в течение 30 мин,В таблице 2 приведены характеристики стекол.Характеристики резисторов на основе синтезированных стекол с содержанием двуокиси рутения 40 вес.% представлены в таблице 3,Характеристики резисторов на основе стекол, содержащих ЧРэ нли ТаО аналогичны характеристикам резисторов на основе стекол с ЮЬ Рэ.Приведенные данные показывают, что предлагаемый состав стекла обеспечивает получение прецизионных толстопленочных резисторов с низким ТКС и высокой стабильностью к воздействию повншенной влажности и перепадов температур. Т а б л и вТм, О1115 МФ О1 Т О 7 4,13 3 91 отид 10 мЭ4,10 5,0 4,85 480 4,75 5,00 20 50 0 Прототи 66,90 65,00 61,58 65,20 63,33 60,00 67,10 66,09 62,61 69,04 15,45 15 с 00 14 ф 21 16 30 15,83 15,00 12,60 12,39 11,74 15,63 9. 1.0 6,10 110 510 5,15 5,00 4,74 815 7,92 7,50 4,20 10,30 10,00 9,47 8,15 7,92 7,50 12,60 12,39 11,74 9,42 2,20 5,00 10,00 2,20 5,00 10,00 3,50 5,00 10,00 0ормула изобретени 0,0 1,7 7 О 10 Ае о ВО ИЬр,3;91 7,50 илитаО 1 00 ки инФормаци ри экспертиз принятые во Источнвнимание США 93324049, кл,252-51 ат Составитель О.Самохинаактор А.Морозова Техред О.Андрейко Корректор Н.Ковалев 554омитетид и о5 Ра Заказ 6701/22 ЦИИИПИ ГосУд по ре 113035Тира ственногонзобрете Москва Жи Подписиар к а Совета Министровлам н ткрытид3 ская наб. 4 5илиал ППП Патент ф, г.ужгород, ул,Проектная, 4 Стекло, преимущественно для прецизионных толстопленочных резисторов, вкхпочающее РЕО, 5 О , М О , В О ЯдО отличающееся тем, что, с целью обеспечения удельного обьемноо сопротивления=5.10 -610 Ом.см, температуры раз. мягчения Т 4 у = 465520 С и удельного веса д ф 4,75-:5,15 г/см , в качестве ааою оно содержит МЬО 5 или Ч 205 или ТадО при следующем соотношейнй кампо иейтов, вес.Ъ г. 1967.30 2. Акцептованная заявка ФР Р 1496545, кл. 32 В 3/10, 1973.