Двухмерный компаратор

ОП ИСАНИЕ Эзо 17 оИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Дополнительно т. свил-ву) Заявлено 13,08,74 (21) 2052418/2(51) Г 1/08 явкисоединением з осударствеиныи комитетСовета Министров СССРпо делам иэаоретеиийи открытий 23) Прио(71) Заявител УХМЕРНЫЙ КОМПАРАТО хмерных обьектов Лий перемещения, Зт рения.1 точности измерения ор снабжен жестко размероврисунков-дву для одного из направл снижает точность изме С целью повышения тредлагаемый компаратным столом пло( Изобретение относится к оптико-механическим устройствам, предназначено для сравнительных линейных измерений и мо,жет быть использовано при сравнении рисунков двух фотошаблонов, применяемых5 в производстве микроэлектронных схем.Известны двухмерные компараторы сперемещающимися микроскопами и неподвижным предметным столом или с неподвиж. ми микроскопами и перемещающимся В : предметным столом,Наиболее близким по технической сущности к предложенному изобретению является двухмерный компаратор, содержащий двухкоординатный стол, визуальную оптическую систему, осветительное устройство и проекционную оптическую систему, состояшую из двух объективов микроскопа двух оборачиваюших ахроматических линз, прямоугольной призмы с крышей, призменной .0 , оборачивающей системы деформированнойФпризмы, двух прямоугольных призм.Недостатком таких коМпараторов является невозможность соблюдения принципа компарирования Аббе при сравнении линейных 25 ким зеркалом, расположенным между це р)ированной призмой и призменной оборачиваю-а)цей системой, плоскость которого параллельра плоскости двухкоординатного стола инаклонена к оптической оси проекционнойсистемы под углом не ,менее 75 а виЬуаль;лая оптическая система выполнена из двухсимметричных 1 проекциониых оптических систем,На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого двухмерного компаратора,В компараторе сравниваемые объекты 1и 2 расйоложены один над другим на двухкоординатном столе 3 так, что идентичныеточки объектов находятся на одной прямой,перпендикулярной плоскости стола, Проек,ционая оптическая система переносит изображение одного из объектов в однократноммасштабе на поверхность другого. Она сос 530170тоит из двух объективов 4 и 5 микроскопас длиной тубуса, равной бесконечности, установленных над объектами 1 и 2. Междуобъективом 4 микроскопа и оборачивающейахроматической линзой 6 установлена прямоугольная призма 7 с крышей, которая введена в схему для обеспечения расположенияобъективов 4 и 5 строго один под другим на одной оси, перпендикулярнойплоскооти стола, т. е, для компенсации "увода"оптической оси призменной оборачивающейсистемой 8 Малафеева-Порфо Ц рода,установленной за объективом 5 микроскопа,Между призменной системой 8 и второйоборачивающей ахроматической линзой 9проекционной системы расположена деформированная призма 10, обеспечиваюшаянаклон оптической оси системы по отношениюк плоскому зеркалу 11, жестко связанномусо столом 3. Прямоугольные призмы 12 и13 служат для излома хода лучей в проекционной оптической системе.Освещение ведется в проходящем светечерез световод 14, выходной торец которогссовмещен с передней фокальной плоскостьюлинзы 15, склеенной с прямоугольной призмой 16, что обеспечивает телецентрическийход луча в пространстве предметов и изображений проекционной системы,Для одновременного наблюдения двух щразличных участков объекта служат две одинаковые симметричные проекционные оптические системы, объединенные в визуальныйканал. Он состоит из призмы-куба 1 7,прямоугольных призм 12 и 13, двух зеркал 18 и 19, прямоугольной призмы 20 и окуляр-микрометра 21, в поле зрения которого проектируются изображения, создаваемые объективами, причем в одну половину поля зрения окуляр-микрометра попадают изображения от первой пары объективов, а в другую - от второй.Изобретение позволяет увеличить допустимые разворотыкоординатногостола вокруг осей, лежащих в его плоскости, и ускорить процесс взаимной ориентации рисунков объектов.формула изобретенияДвухмерный компаратор, содержащий визуальную оптическую систему, двухкоординатный стол, осветительное устройство и проекционную оптическую систему, состояшую из двух объективов микроскопа, двух оборачивающих ахроматических линз, прямоугольной призмы с крышей, призменной оборачиваюшей системы, деформированной призмы, двух прямоугольных призм, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен плоским зеркалом, жестко связанным с двухкоординач ным столом и расположенным между деформированной призмой и призменной оборачивающей системой, плоскость зеркала параллельна плоскости двухкоординатного стола и наклонена к оптической оси проекционнойо системы под углом не менее 75, а визуальная оптическая система выполнена из двух симметричных проекционных оптических систем.Составитедв Я, ьаи;,;ова Техред Левв 1 акзя .а,орр Редйкто Ч. Хубларова гакова Зка 5215 О Тираж е чстров ко:-.Б 3 Раущс я ша:Зат Дт илиаа ППП Патеыт, и, Унтэреа, уп. Праеатыаы,ПИ 3. осдарс рв ПО диаттаиа 35 Москнат