Электронномикроскопическое устройство для измерения полей рассеяния

5079 ОВ ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(49 Дата опубликования описаны Гвеударетаеннве квинтет Савата Мнннетрвв СССР ав делам нэебретеннй н втнрмтнй) ЭЛЕКТРОННОМИКРОСКОПИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛЕЙ РАССЕЯНИЯ Изобретение относится к электронной микроскопии и может быть использовано для измерения и исследования магнитных иэлектрических полей.Известны электроннооптические устройства для измерения полей рассеяния, содержащие электронную пушку, линзы, формируюшне электронный пучок, систему развертки пучка, видеоконтрольное устройствэ с синхронной разверткой, блок считывания 1 всигнала, несущего информашпо об измеряемых полях рассеяния, со светопроводом ифотоумножителем.Однако в этих устройствах кривые смешения электронного пучка имеют искажения, та точность измерения невысока, а получениекривых распределения поля рассеяния - довольно трудоемкий процесс.Цель изобретения - повысить точностьязмерений и автоматизировать получение Мкривых распределения нормальной и тангенцивльной компонент исследуемого поля . рассеяния.Эт к считы чиком информации об измеряемых ролях,выполненным в виде последовательно расположенных прозрачной подложки с нанесенным на ее поверхность слоем люминофора и оптического клина с линейно изменяюшейся по одной иэ координат прозрач,ностью, при этом датчик обрашен слоем, люминофора к исследуемому образцу, а ап.тический клин связан с фотоумножителемчерез сдетопровод.На чертеже схематически по праделагаемое устройство,Устройство состоит из электроннойки 1, отклоняющих катушек 2, линзымагнитной головки 4, бесструктурногочика 5, видеоконтрольного устройствагенератора 7, В свою очередь, датчик 8состоит из люминофора 8, оптического клииа 9 и прозрачной подложки 10.Работает устройство следуюшим абразом.Электронный пучок из электронной душ вки 1, сфокусированный конденсорной линзойразвертывается в линию по координате 3вдоль поверхности исследуемого нбраэца с казана луше3,датав6,бло о достигается тем, чтосигнала снабжен бесс ван уктурным да Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красногоени государственный унверситет имени М. В. Ломоносовапомощью отклоняющих катушек 2, Пучокфокусируется объективной линзой на исследуемый образец, так что в измеряемом поле рассеяния проходит тонки 4 й электронныйиучок с малым (менее 10 рад) угломрасхождения, При отсутствии магнитногополя рассеяния (над поверхностью магнитной головки 4) на поверхности датчика 5прочерчивается прямая линия ( отмеченупунктиром на поверхности люминофора).При появлении магнитного поля (подачатока в обмотку возбуждения головки) пучок отклоняется в этом поле, причем величина отклоненияб непосредственно после прохождения пучком рабочего зазорадлина зазора вдоль оси р равна Н ) илиотклонение 5, на поверхности датчика зависит от величины локального магнитногополя рассеяния в области прохожденияпучка, Поэтому при появлении магнитногополя рассеяния электронный пучок вычерчивает колоколообразную ( или иной формы)кривую на поверхности датчика 5, формаэтой кривой при ориентации магнитной головки, показанной на чертеже, зависит отраспределения тангенциальной компонентыполя рассеяния головки В - это и естькривая смешений", которая искажена изза влияния и нормальной компоненты поля В,.Поскольку прозрачность оптическогоклина 9 линейно меняется по координатеЛ то световой поток, генерированный электронным пучком при погадании на люминофор 8 и прошедший сквозь оптический клин,прямо пропорционален отклонению 5 электронного пучка на поверхности датчика.Таким образом осуществляется преобразование "кривой смещений в кривую распределения тангенциальной компоненты магнитного поля рассеяния, ибо величина б .прямо пропорциональна локальному значению тангенциальной компоненты ноля рас-,сеяния В для заданной координаты 1(прималых отклонениях О по сравнению с характерными размерами поля рассеяния покоординате Х ),На экране видеоконтрольного устрой ства 6 автоматически вычерчивается кри-вая распределении тангенциальной компоненты магнитного поля рассеяния исследуемой магнитной головки 4. Развернувоисследуемую головку на 90 по оси Р,можнотаким же образом снять распределение нормальной компоненты поля рассеяния.Для получения абсолютных значениймагнитного поля рассеяния вдвигают рас положенный непосредственно под образцомотсекаюший нож-диафрагму 11 (с помощьюмикрометрической головки) и измеряютмакс.величину отклонения о, , затем находим 6 , и максимальное значение танмакс.генциальной компоненты индукции магнитного поля рассеяния:в:ь" "Мг/(н, н ускоряющее напряжение РЭМ; 1,- отношение заряда электрона к его массе ( раэмеры Н и 1 указаны на чертеже),Таким образом производится калибровкакривой, полученной на экрдне ВКУ,изобретения формула Электронномикроскопическое устройстводля измерения полей рассеяния, содержащееэлектронную пушку, линзы, формируюшиеэлектронный пучок, систему развертки пуч- ф ка, видеоконтрольное устройство с синхронной разверткой, блок считывания сигнала,несущего информацию об измеряемых поляхрассеяния, со светопроводом и фотоумножителем, о т л и ч а ю ш е е с я тем,что, ф с целью повышения точности измерений иавтоматизации получения кривых распределения нормальной и тангенциальной компонент исследуемого поля рассеяния, блок считывания сигнала снабжен бесструктурным 49 датчиком информации об измеряемых полях,выполненным в виде последовательно расположенных прозрачной подложки с нанесенным на ее поверхность слоем люминофораи оптического клина с линейно изменяющей ся по одной из координат прозрачностью,при этом датчик обращен слоем люминофора к исследуемому ббраэцу, а оптическийклин соединен с фотоумножителем черезсветопровод.каэ 171 ираж 977 одпнсн БНИИПИ Государственного комитета Совета Министров ССС по делам изобретений и открытий я наб., д,4/ 13035, Москва, Ж, Рауш иал ППП Патент",г, Ужгород, ул, Гагарина, 101 Составитель Б. Калиноваедактор О, Стенина Техред О. Луговая Корректор Н. Эинзикова