Многоэлектродный электрический зонд

ОП ИСАНИЕИЗОБВЕТЕ Н ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик1) Дополнительное к авт, свид-в 2) Заявлено 24.08.73 (21) присоединением заявки М 1955270/263/О 3/1 СО 1 С 01ооударствеиныи комнтетСовета Мннистров СССРпо делам нзооретенийи открытий(71) Заявитель ой С петровское отделение Института механики АН Укра 54) МНОГОЭЛЕКТРОДНЫЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ЗОН в Предлагаемый зон тсокую точность в обеспечивает боле процессе непрерывног ия ионов по энергиЭто обусловлено замкнутость а зонда, что приводит к попавших в этот объем боченакопизмерениям е ел о объемению ейтрало огоэлектродной с острымиеплена на трубнцов диэлектрторого установос тато ого газа в вакуумной ка ся в результате взаимодлами медленные ионы иатомы создают дополнитводящий к значительнойергетического спектра ио мере, Обействияметастаельныймаскиразуюшиес нейтрабильныефонд, при О кольцевые ровке эн ного пот в основка плазм Изобретение относится к измерительнйм приборам и приспособлениям, применяемым в качестве инструмента для диагно.- стики параметров потока частично ионизированных газов низкой плотности.Известный многоэлектродный зонд;применяемый для определения параметров электронной и ионной компонент потока разреженной плазмы, содержит диафрагму, корпус и электроды.Однако известный зонд характеризуется значительной погрешностью измерения при непрерывной эксплуатации в течение длительного времени. Кроме того, известный многоэлектродный зонд применяется только при очень,точно выдержанных условиях свободномолекулярного обтекания. В противном б случае, при промежуточных давлениях, т. е.при переходных режимах обтекания донда,перед входной диафрагмой многоэлектродного зонда образовывается.облако частиц,испытывающих взаимные соударения, что О конечном результате приводит при достаточно высоких плотностях набегающего потока к искажению измеряемых йараметров. Для этого диафрагма м зонда выполнена коническо входными кромками и закр чатом открытом с обеих к ческом корпусе, внутри ко лены разделенные втулкам ,электроды.3 478234 4 Г На чертеже показана принципиальная,Коническая диафрагма в предлагаемомсхема предлагаемого многоэлектродного многоэлектродном зонде уменьшает веро- электрического зонда. ятность соударений набегающих и отраженВниз по потоку за конической диафрагных частиц и расширяет диапазон примемой 1 установлены в диэлектрическом пения зонда в б а бпения зонда в области более высоких корпусе 2 разделенные диэлектрическими плотностей и раб ч хи рабочих давлений, соответвтулками 3 электроды 4, на которые.ствчоших переходному и со скольжением, подается потенциал по проводникам 5. Впроцессе измерения поток ионов через отверстия конической диафрагмы 1 попадает в открытый рабочий объем много- электродного зонда. Каждая попадаюшая в зонд заряженная частица имеет свою собственную составляющую скорости, нормальную к направлению движения плазменного потока, а также и под действием электростатического поля электродов 4 она движется по направлению к внутренней поверхности корпусазонда, где попадает на один из электродов 4. При этом частицы с большей нормальной составляющей скорости нопадают на более близкие к диафрагме 1 электроды 4, а с меньшей - на более удаленные.По величине ионного тока, регистрируемого на каждом из электродов 4, судят о величине нормальной составляющей скорости движения ионов, а следовательно, находят распределение ионовпо энергиям. По суммарной величине тока на электроды 4 и по диаметру отверстия ко нической диафрагмы 1 рудят о концентрации ионов в набегающем плазменном потоке. режимам обтекания,Попадающие в рабочее устройство нейтралы и нейтрализованные на электродахионы свободно вылетают из открытогорабочего объема зонда по направлениюдвижения плазменного потока, в результате чего накопления частиц в открытом 15рабочем объеме зонда не происходит ипоэтому не наблюдаются. нежелательныепобочные эффекты.26 Предмет изобретенияМногоэлектродный электрический зонд, содержащий диафрагму, корпус и электроды, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с целью повышения точности непреепрерывного измеоения распределения ионов по энергиям, диаф гмафра а многоэлектродного зондавыполнвна конической с острыми входныоткрытом с обеих. концов, диэлектрическом корпусе, внутри которого установлены разделенные втулками кольцевые электро478234 д. И каз Тираж 90 Подписно арственного комит по делам изобретен Москва, 113035, Рау 1 ИПИ та Совета М й и откРытий шская наб., 4 стров СССР редприятие Патент, Москва, Г 59, Бережковская наб., 24 Составитель Ю,МордвиновРедактор 1.фадеева Техред А,Камышникова Корректор Л.Брахы