Устройство для измерения параметров тонких магнитных пленок

4 датчика без пленки настраивается на резо- :.ююряжением сигнала, поступающим с дат нансную частоту, большую, чем частота чика 5 на фазовый детектор 7, С фазогенератора. После установки пленки Резо-, вращателя.2 наарях ение высокой частоты нансная частота датчика 5 смещается в доступат в формирователь опорного ндпрясторону частоты генератора, В цепи катуш жения 3, где формируется напряжение треки датчика протекает высокочастотный ток, буемой амплитуды в форме меандра йз сисоздаюший слабое пробное поле. нусоидального напряжения. С выхода формиПри перемагничивании пленки внешним рователя опорного напряжения 3 напряжение низкочастотным полем, приложенным перпен- поступает на фазовый детектор 7. Для создикулярно к высокочастотному пробному по дания напряжения развертки по горизонтали лю, напряжение высокой частоты в измеря- применяется низкочастотный трансформатор тельной катушке датчика будет изменяться 14 и фазокорректируюшая ИС -цепочка. Напропорционально дифференциальной проница- пряжение с фазокорректируюшей цепочки, емости образца магнитной пленки. С датчи- пропорциональное току перемагничивания ка 5 напряжение высокой частоты поступа подается на вход Х осциллографа 13. Калибет в схему формирователя опорного напря- Ратор 15 напряженности перемагничиваюшежения, состоящую изпоследовательно соеди- го поля вырабатывает импульсы, которые ненныхселективного усилителя 1, фазовра- поступают на вход У осциллографа 13. Кашателя 2 и собственно формирователя опор- либржор 16 величины дифференциальной ного напряжения 3, и затем в симметрич проницаемости вырабатывает калибрационные ный коммутационный фазовый детектор 7, метки в виде уровней, которые подаются По второму каналу с датчика 5 напряжение затем на вход У осциллографа. При измеревысокой частоты поступает на линейный нии параметров магнитной пленки, имеющей усилитель 6 и затем в симметричный ком- очень малый объем, применяется трехкоормутационный фазовый детектор 7. фазо- И динатное устройство 17 для компенсации вый детектор по сравнению с амплитудным магнитного поля земли. детектором имеет большую помехоустойчивость к внешним электрическим и магнитным полям. Преобразованный сигнал с вы. П р е д м е т и з о б р е т е н и я хода фазового детектора подается на фильтр 30низкой частотыУстройство для измерения параметровтонких магнитных пленок, содержащее последовательно соединенные генератор высьС выхода фильтра низкой частоть О кой частоты, датчик измерительного поляа низкой частоты напряжение дост ает иа силитель постоянного то- З 0вае доступает иа усилитель постоянног то с помещенным в катушке датчика исследука 9. Наяряженне низкой частоты, несущее емым образцом пленки и линейный усилиинформацию о дифференциальной пр ниц е тель, катушки Гельмгольца, низкочастотныйенциальной проницаемости плеаки, с выхода усилителя постоян трансформатор, а также калибраторы напряного тоиа 9 наступает на вход У оспин" женности магнитного поля и дифференциаль 40лографа 13.В зависимости от положения ной магнитной проницаемости, своими выхоМлеюн относительно намагничивающего низ- дами подключенные к входу осциллографа, кочастотна о поля осциллограмма будетсвязанному через усилитель постоянногоотобракать завасимость дифференциальной тока с одним выходом фильтра низкой чамагаатвой праащаемости от напряженно стоты дрязгой выход которого через пико 45 ф Рсти доля в вадравлении оси легкого или вый преобразователь соединен со стрелочтрудджо аамагаичивания, С выхода фильт- ным прибором, о т л н ч а ю ш.:е е с я ра низкой частоты 8 напряжение сигналатем, что, с целью повышения точности изцодается также на пиковый преобразова- мерения, оно снабжено последовательно сотель 11, Выходное напРяженив преобразо- единенными селекюивным усилителем, фавателя измеряется мостовой балансной схе- зоврашателем, формирователем опорногомой:. со стрелфчным индикатором 12 в ее напряжения и симметричным коммутациондиагонали, пракалиброванным в величинах ным фазовым детектором, другой входккодифференциальной магнитной.проницаемы торого подключен к выходулинейного усисти. Фазовращателем 2 схемы опорного, лителя, а выход - к входу фильтра низкойнапряжения ликвидируется фазовый сдвиг частоты, причем вход селективного усилимежду опорным напряжением, поступающим теля соединен с выходом датчика измерина фазовый детектор, и высокочастотнымтельного поля.