411334

Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-Заявлено 27.Х.1971 ( 1729706/18-10)с присоеди(нением заявки.-ПриоритетОпубликовано 151974. Бюллетень2Дата опубликования описания 17 Л.1974 Л. Кл. 6 01/ 21/34 Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытийЗаявитель ВАКУУММЕТР Изобретение предназначено для измерения низких давлений.Известны магнитные электроразрядные вакууметры, содержащие магнитный электроразрядный манометрический датчик, разрядный ток которого является мерой давления, высоковольтный выпрямитель д(ля высоковольтного питания датчика, постоянное по величине балластное сопротивление в цепи высоковольтного питания и измеритель разрядного тока датчика. Верхний предел давлений, измеряемых такими вакууметрами, ограничен тем, что в цепь высоковольтного питания датчика включено балластное сопротивление, которое ограничивает максимальный ток в цепи измерения величиной 1 о, не превышающей нескольких миллиампер. Это необходимо для исключения возможности перерастания разряда в дуговой, уменьшения катодного распыления, уменьшения мощности, выделяемой в манометре, и мощности источпика высокого напряжения. Наличие балластного сопротивления приводит к тому, что с ростом давления разрядный ток перестает изменяться, когда его величина становится соизмеримой с током Уо. В результате градуировочная характеристика вакуумметра, отражающая зависимость тока У в цепи измерения от давления, показывает, что верхний предел давлений, измеряемых вакуумметром,ограничен,Для расширения диапазона измерения всторону более высоких давлений предлагае 5 мый вакуумметр снабжен нелинейными сопротивлениями, например варисторами, включенными в анодную цепь датчика, Варисторы вотличие от постоянных сопротивлений имеютнелинейную вольт-амперную характеристику,10 выражаемую следующим соотношением:1У=АР где А и Р - постоянные.15 Значения постоянной р для различных типовваристоров лежит в пределах от 2 до 5.На фиг, 1 показана блок-схема описываемого вакуумметра; на фиг. 2 - график зависимости тока в цепи измерения от давления Р.2 о Цепочка варисторов подбирается так, чтобыпадение напряжения на цепочке при токебыло равно напряжению источника высоковольтного питания манометрического датчика.Поэтому даже при коротком замыкании датчи ка ток в цепи измерения не превышает величину 1 о. При понижении давления и уменьшении разрядного тока датчика величина падения напряжения на варисторах благодаря нелинейности их вольт-амперных характеристик 3 О будет уменьшаться медленнее, чем при посто3янном балластном сопротивлении, Тасим образом, напряжение на электродах датчика с уменьшением давления будет возрастать по более плавному закону, чем в случае постоянного балластного сопротивления, и градуирово шая характеристика принимает вид, соответствующий кривой 1 на фнг. 2. Верхнии предел измеряемых давлений Р в этом случае сдвигается в сторону более высоких давлегнй по сравнешцо с Р ,и (кривая 11 на фиг. 2).На анод 1 магнитного электроразрядного датчика 2, в качестве которого можно использовать датчик пеннингского, инверсно-магнетронного типов, подается положительное высокое напряжение от высоковольтного выпрямителя 3 через балластное сопротивление 4 и варисторы 5.Катод 6 датчика соединен со входом усилителя постоянного тока 7 и находится под нулевым потенциалом.Варисторы могут быть включены как последовательно, так и параллельно. Типы варисторов 5 и схема их включения выбираются в соответствии с их вольт-амперными характери 411334сякахи так, чтобы падение напряжения на суммарном балластном сопротивлении при токе 1" было равно напряжению высоковольтного выпрямителя 3.5 Градуировочная характеристика вакуумметра с варисторами 5 представлена кривой 1 на фг. 2; для сраьченья представлена х;рактеристКя с Однм Остолыы б;лссным соротивлснисм 4 (кривая 11, фиг. 2), когда 10 верхний предел давлений, измеряемых вакуумметром, ограничивается величиной Рп.Предмет изобретения15 Вакуумметр, содержащий магнитный электроразрядный манометрический датчик, высоковольтный выпрямитель, балластное сопротивление в анодной цепи датчика и измеритель разрядного тока, отличающийся тем, 20 что, с целью распирения диапазона измерения в сторону более высоких давлений, он снабжен нелинейными сопротивлениями, например варисторами, включенными в анодную цепь датчика,Корректор А. Дзесова Редактор И. Шубина Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 1121/14 Изд.1157 Тираж 750 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5