Датчик. линейных м 1-ргм1: 1цг и и

Номер патента: 394656

Авторы: Богаенко, Кравченко, Кудель, Суриков

ZIP архив

Текст

94656 ИЗ Союз Советских Социалистических РеспубликЕТЕ Н СКОМУ СВИДЕТЕЛЬС висимос от двт. свлстсль( 011) 102 Заявлено 16,Х 1,1971 ( 1714858,25-28 исоединенисм заявки Ь Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытийитет -У;1 К 531.715,1(08 бликовано 22 Х 11.1973. Б)ог)г)его)ь хо 34та опубликования описания Авторыизобретени И. Кравченко, Л. А. Куделя, М. С. Соскин и А. М. Суриков. Богаен аявител) нститут дитемикиИ К Л И Н Б Й Н 1) Х 111. Р . М 1:.1 Ц 1 Н ИИзобретение относится к области контрольгио-,измерительной техники и может быть использовано, в частности, для прецизионного измерения длин, например, в оистемах программного управления металлорежущими станками.Известен датчик линейных перемещений, содержащий лазер и интерферометр, состоящий из светоделительного элемента, например полупрозрачной пластины, расположенной на пути световых лучей от лазера, подвижного (связанного с перемещаемым объектом) и неподвижного зеркал, расположенных по разные стороны от пластичны во взаимно перпендикулярных плоскостях, и фотоприемного устройства, установленного на выходе световых лучей из полупрозрачной пластины.При располо)кении подвижного зеркала пол углом по отношению к падающему лучу, слегка отличным от прямого, на светолелительпой пластине получается иптерференциоиная картина полос равной толщины. При смещении подвижного зеркала эта картина лвижетс 51 Относительно щели фотоприемного устройства, что позволяет судить о величине перемещения по числу импульсов на выходе фотоприемника. Недостатком известного датчика является необходимость в светоделительных элементах, юстировка которых должна выпо,тняться с секундной угловой точностью. Кроме,ого, известный л;тчик сдсто)т .,болыпого );оличествд оптических элементо(Вкл)о 1)51 исто 11)икн светя). Онп полвзр)кен 1влиянию гибряций и лругих внешних Возму 5 Щен)111,Ь качестве источника светд в известно)Лят 1 икс л 11 нейных перез)е 1 цепий слжит Газовый лазер. Оптические элементы интерферометра и элемегы резонатора лазера отлеле 10 нь: лрт г от Лргд.Для упрощения конструкции Латчикдпреллдгдемом устройстве подвижное и неполВВ)кнОе зеркала )ясположены няряллельнй: 1)о ОЛ: )ТО;. ОТ 1)ОЛ 1 П;)Оз)НО) НЛ)СТИ 15 1 ы, 11 1)е 1)ОЛГ:же 31)кдг)О В 11 пог)11 сно п)лУпрозрачным.Кроме того, лля повышения точности изме.рения, полупрозрачная пластина, Гиеполижжн;3 с 1)кд 1 о ) Вхлнос зс 1)кя; лзе 1)д Ооъсл)11 е.5 О иы В куб)к тдкм разок), гго нротиволсжд.(Кти 3 м Веществох( 1 слмжит Гяз 1 ли ГяЗОВЯЯ СЫССЬ, ВОЗбмКЛс 7 СЪс 51 0 ЫЧПЬ)1 И:СТОИкми качки. Зеркало 2 стяиляртиое. Кубик 9СКЛСЕП Тс 1 К, ЧТО УГОЛ )1 ЕЖЛУ П 013 ЕРХИОС 5 МИ ЗЕРкс 7,7,5 и 7 состлист Несколько Уг.(0 ых секУНГ,я и,частпа - . сстяВГ 5 ст с ииыи у 0(1 ир 51;кя45. Коэ(1 фициент отря)кои:,я зеркала 7 иолооРс 1 И ТЯК, ТО ППТЕПСИ 13 ОСТЬ,МЧс, 0 1 РсКСПИО 0т этого зеркала, рявия ипси(иНоси луча,отражеииого от:сркяля 5 и иршедшегосквозь зеркало 7.Зсркс 1,О с Ожет 1 ть ням(.Н(НО прзмоиПогиОГО Ви РЕННЕГО ОТРЯЖЕН 51, УСЯИОВЛЕПИОИ ис 7 ПОЛВИЖПОЙ КсРЕТЕ Г ТЯК, стоб 07 РяЖЕППЬИ ОТ ПрпзЫ 11 ПгсОК С 3 СТЯ ЬГ ИОГ 1 ОСТЬЮсомецеи с падающим.13 предлагаемом лят Нке зеркало 7: зеркало 5 рясиоложеиы по олпу сторону от погу 31 розрячпои плс 7 стипы 1 При этох мловос поЛОкспис иссс,иеЙ и(. Ли 1(1 и 31и кс 1 чсстВо интерференционной картииы. Угол 45 ВыОраи кя 1 па 00,Сс дооиыйоп с( Ня пегиетреоуется. Тим описываемая схсыя сущсствгчио отличается от изссыпьх.Ку(ик 9 оось(Линяет и (с(с э)с 1.11, лязсР (ВЫХОЛИОС:3 ЕРКсГИ 1 ИТ(РфСРОЫСТс(зсрк(Го 7 и плястии 4. Косркти 3 ио:может бьь ьио,Неп 3) Чи) )Но,и)кс (.,язерох,Дпчик лиисииых и. рсмсИспи работ;стСлсдукнциы ооразоы,к)ипое вещество 1 исТОЧННКОм па 1;с 1 ки перСВО;НТС 51 В 03(уклепиое состояиие и ир: Выполисин пороговыхУСЛОВИЙ ЧЕРЕЗ ЗЕРКаЛ с ИРОХОЛИ ПУЧОК НИЛУ.Ц И Р ОВ сап И 0 0 П 3 Г 1 У Ч С И И 51. П 0 О В И И с 1 С Г 0 Э И Е Р Г И Ипроходит через полуирозря шую пластину 4 иопадает иа зеркало 7, 1 асть изгчеиия тражастся от зеркала 7, затем т пластины 4 направляется на щель фотоприемиого устроиства (. Большая же доля (62 Ос) излусеи 5 проходит через зеркало 7, отражается (п зср ь кала 5, снова проходит через зеркя;и 7, тр;жет(.я т и;ЯстНп 4 и Также попал;ет щель фотоприемного устройства (с. Тскис об РЯЗОЫ, ВОЗНИКаЕт пптЕРфСРЕПЦИОсЯ КаРтпп ВьсокОГО коптрастя, так как пптерфсрирм 10 ис 10 пучки имеют одииаковуо ипте сивиость . Нлиостью совыешены в прострагстве. При смецении зеркала 5 иитерфереасивые полосы движутся отюоительио 1 цели, и фотоприемное устройство выдает сигналы иа счетчик чис 3 ла иыпульсо 3, опрслеляощий велииу перемещсиия.Поскольку Весь латчик с(;стоп всего издвух узлов (лазера и движущегося зеркал, Воздействие виешиих возмущений сведено к 20 ыипимуыу, что увеличивает стги,7,вость яботы всего устройства.Предмет изорстеи;я25 1. Датчик лииейиых псрсмсцеиий солержящиЙ лазер и питер(1 сро)етр, сост 05 щий и 3 ПОЛ(ПРОЗРЯЧПОИ ПЛЯСТИПЬ, РсСиЛОЖЕНОп;1 с пу)и световых лучей от лазера, под.;жио(-о и иеПОДВж 0 О Зеркал и фотоприв)1 ОГОстроЙ ства, установгСиНого ия выходе световых лу 1 С И 3 И 01т Р 03 Р с 1 Ч И 0 И П Л с 1 С ТП 1ГЬ Г Т. 1 и и ( Сов С(С(иСсС тСМ, Чт, С ЦЫЫО ПРОЩСЯ 1 КОИ(.ТРК ции датчика, подвижос и иепшшпкшс зерк ля рясиоложеиы параллелио и ио одну сторону от иолуирозрачиой пласт:Гы, и иеиол ИЖПОЕ ЗЕРКсЛО ВЫПОЛНЕНО ПОЛМИРОРЯ 3 ЫМ.2. ДатЧИК ИО П. 1, Отссис(СГСГсс(с(СССсС те(1, Чи,С ЦЕЛЬЮ ПОВЫШЕНИЯ ТОсНОСТИ;ЗАВЕРЕН 51, ИОЛУ.прозрачная пластина, неподвижное зеркало выходиое зеркало лазера обьелингны В кубик ТЯ 1 ИЫ ООРЯЗОМ, ЧТО ПРОТИ 30:1 ЕЖЯИИС С 10 ГРс 1.ии образованы выходным зеркалом лазера исподвп)кныы зеркалом, а Лияоаль . - пол- прозрачной пластиной.394656 а у Составитель В. ЛобзоваТскрсд 3, Тараненко Гсдактор И, Шуоина Коррсктор Е. Хмелева Загорская типография Заказ 6026 11 зд.1879 Тиракк 756 Подписное11-И 1 П 1 Государсзвспиого комитста Совета Министров СССРпо долам изоорстсиий и открытийМосква, Ж, Раушская пао., д. 4,5

Смотреть

Заявка

1714858

Институт автомат

И. Н. Богаенко, В. И. Кравченко, Л. А. Кудел М. С. Соскин, А. М. Суриков

МПК / Метки

МПК: G01B 11/00

Метки: 1-ргм1, 1цг, датчик, линейных

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-394656-datchik-linejjnykh-m-1-rgm1-1cg-i-i.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Датчик. линейных м 1-ргм1: 1цг и и</a>

Похожие патенты