Ан ссср

Союз Советских Сопналнстнческнх Республиквисимое от авт. свидетельства3 аявлено 17.Х 1.1970 ( 1494142/20-25 Кл. Н 011 37 присоединением заявкиоритет Комитет по делам зобретеннйпрн СоветеССС ткрытни Опубликовано 17 ЛЧ.19 ДК 621.385,8 ллетень18 нстроо 1.197 та опубликования описа в ляко Специальное конструкторское бюро института кристаллограАН СССР аявите ТОЛИК Д ЕКТРОННОГО МИ КРОСКОПА 1Изобретение относится к области электронной микроскопии,Известны, поворотные, охлаждаемые жидким гелием столики к электронным микроскопам, состоящие из корпуса, охлаждаемого жидким азотом, и держателя объекта, охлаждаемого жидким гелием. Держатель выполнен в виде резервуара с каналом для прохождения электронного луча и помещения объекта, Жидкий гелий:подводится и отводится по двум ме таллическим трубкам, впаянным в резервуар. Поворот осуществляется посредством толкателей с приводом, выведенных за пределы рабочей камеры. Стабильное доложение центра поворота в точке пересечения оптической оси 15 с плоскостью объекта, именуемой впредь точкой наблюдения, достигается направляющими в виде двух цилиндрических или сферических салазок с центром кривизны, совпадающим с точкой наблюдения, Кинематичес кое замыкание обеспечивается пружинами или подгонкой базовых поверхностей. Салазки и толкатель, а также трубки Б месте ввода в камеру теплоизолированы.Поворотные, охлаждаемые жидким гелием столики к электронным микроскопам должны отвечать следующим требованиям:они должны быть малогабаритными,так как объем рабочих камер электронных микроскопов ограничен, и столики с объектами при ходится, вводить в камеру через люки малых размеров. При этом желательно иметь гелиевые резервуары по возможности большими, так как это обеспечивает лучшую стабильность темпер атуры. Следовательно, стоит задача уменьшения размеров промежуточных деталей и устройств;наклоняемый резервуар, являющийся держателем объекта и охлаждаемый жидким гелием, должен быть надежно теплоизолирован, Этого можно достигнуть путем выбора соответствующих материалов для промежуточных деталей, уменьшения их поперечного сечения и увеличения длины;центр поворота должен совпадать с наблюдаемой точкой с точностью, по крайней мере, соизмеримой с птолем зрения микроскопа. Для этого кинематическое замыкание между наклонным резервуаром и корпусом должно быть надежным, перемещения должны быть тонкими и плавными, в противном случае трудно удержать исследуемый участок объекта в поле зрения и в фокусе,В известных конструкциях столиков промежуточные детали громоздки по сравнению с гелиевым резервуаром, теплоизоляция затруднена ввиду больших площадей контакта. Плавности поворота и четкого кинематического замыкания трудно добиться из-за жесткости проводящих гелий трубок. В случае малых за 377922зоров в кинематических парах и сильных пружин возникают значительные силы трения, особенно заметные в вакууме.Цель изобретения состоит в уменьшении габаритов столика, а также повышении теплоизоляции резервуара для хладагента и повышении плавности поворота держателя.Эта цель достигается тем, что устройство для сохранения центра поворота в точке наблюдения выполнено в виде двух симметричных относительно оптической оси пластин из теплоизолирующего материала, например кварца, шарнирно связанных с держателем объекта и корпусом, причем в исходном положении держателя центры шарниров расположены на прямых, пересекающихся в точке наблюдения.Столиквыполненный в соответствии с предлагаемым изобретением, представлен на чертеже.Он состоит из резервуара 1 с каналом для прохождения электронного луча и помещения ооъекта исследования. В резервуар впаяны трубки 2 для подвода и отвода жидкого гелия так, что их направление перпендикулярно плоскости поворота. К резервуару с двух сторон шарнирно присоединены две пластины 3 из твердого теплоизолирующего материала, например кварца. Другими концами эти пластины шарнирно присоединены к корпусу 4, охлаждаемому, например, азотом из бачка б, принадлежащего микроскопу. Корпус создает вокруг гелиевого резервуара зону пониженной температуры .ив свою очередь, крепится через изолирующую шайбу б к,предметному столику микроскопа 7. Наклон осуществляется посредством кварцевого пальца 8, упертого в подпятник 9 на,резервуаре и связанного с толкателем 10, принадлежащим микроскопу. Кинематическое замыкание обеспечивает пружина, не показанная на чертеже, и действуюющая на резервуар через кварцевую подушку. Шарниры кварцевых пластин расположены так, что в среднем положении механизма объект находится в точке О пересечения прямых, проходящих через центры шарнйров. При такой геометрии центроида точки О для малых утлов наклона оказывается весьма небольшой, соизмеримой с полем зрения микроскопа, и уход точечки О в предметной плоскости легко компенсировать подвижкой предметного столика, а уход вдоль оптической оси является величиной второго .порядка по отношению к первой и соизмерим с глубиной резкости, Вследствие того, что трение в шарни рах весьма невелико, шарниры на кернах илиигольчатых осях возможно вьгполнить с большой точностью, пружина служит лишь для возврата механизма в исходное .положение и не участвует в кинематическом замыкании 15 между резервуаром и корпусом, перемещениеоказывается весьма плавным.Благодря тому, что в контакте с гелиевымрезервуаром находятся только иварцевый палец толкателя и кварцевые пластичны, длина которых велика по сравнению с площадью поперечного сечения, теплоизоляция резервуара весьма высока. Предмет изо бретенияСтолик для электронного микроскопа, включающий корпус, держатель объектавыполненный в виде резервуара для хладагента с з 0 трубопроводами и коническим каналом дляпрохождения электронного луча и помещения объекта, привод поворота держателя и устройство для сохранения центра поворота в точке наблюдения, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов столика, а также повышения теплоизоляции резервуара для хладагента и плавности поворота держателя, устройство для сохранения центра, поворота в точке наблюдения выполнено в,виде двух сим метричных относительно оптической оси,пластин из теплоизолирующего материала, например кварца, шарнирно связанных с де 1 ржателем объекта и корпусом, причем в,исходном положении держателя центры шарниров рас положены на прямых, пересекающихся в точке наблюдения.Редактор Б. Нанкина Техред Т, Ускова Типография, ир, Сапунова, 2 Заказ 1841/9 Изд.1500 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5