Библиотена

ОПИСАНИЕИЗОбРЕТЕ Н ИяК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советскиа Социалистичеокыв Республик370679 Завиоимое от авт. овидетельства-Заявлено 26,И.1970 ( 1460657(24-7)с присоединением,заявки-Приоритет -Опубликовано 15.11,1973. Бюллетень11Дата опубликования описания 21.17.1973 М. Кл. Н ОЦ 61/80 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРАвторыизобретения В, С, Левин, А, В, Ярош, А. П, Шилов и В, ф. Морозов Заявитель ИМПУЛЬСНЫЙ ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ИСТОЧНИК ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯИзобретение относится к источникам высокоинтенсивного света, в частности к импульсным источникам излучения, предназначеннымм для получения многократных вспышек малой длительности, и может найти применение в техцологическом оборудовании при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем методом фотолитографии.Одной из важнейших технологических операций при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем является экспонирование фоторезистивного слоя контактным и проекционным методом,В настоящее время в качестве источников излучения систем фотоэкспонирования в технологическом оборудовании используют газо- разрядные ртутные лампы и ксецоцовые ду. говые лампы.Известный источник оптического излучения с плоской излучающей поверхностью, содержащий колбу из оптически прозрачного материала, наполненную рабочим газом, ц электродные узлы, характеризуется неравномерностью пучка излучения, вызванной неравномерной яркостью его поверхности, обусловленной наличием неизлучающих промежутков между витками спирали и электрода в центре излучающей поверхности источника, а также его большой собственной индуктивностью, что снижает технические характеристики режима работы. Кроме того, такая конструкцияустройства це позволяет получать короткиевспышки излучения.Известны также газоразрядцые лампы,5 имеющие колбу прямоугольного сечения сплавным переходом от круглого сечения еобласти электродных узлов к прямоугольному в рабочей части.Предлагаемый импульсный газоразрядцый1 О источник оптического излучения также содержит колбу цз прозрачного материала некруг.лого поперечного сечения, снабженную отростками для размещения электродных узловс плавным переходом от круга в приэлек 15 тродных областях к некруглому сечению в рабочей части.Особенностью предлагаемого газоразрядного источника оптического излучения, обеспечивающей двустороннее равномерное радиальное цзлу;ение высокоц интенсивности цулучшение частотцых характеристик, является выполнение колбы в виде полого диска с вогнутой излучающей поверхностью и постоянной площадью поперечного сечения разрядного промежутка,Попере шое сечение разрядного промежутка представляет собой по форме плавный переход от круга в прцэлектродных областях кблизкой к прямоугольноц в рабочей частиЗ 0 диска, а постоянство поперечного сеченияразрядного промежутка достигается соответствующим изменением высоты разрядного промежутка в зависимости от его длины.Кроме того, электродные узлы равномерно размещены по краям полого диска под углом от 0 до 90 к плоскости последнего и по обеим сторонам от него,На фиг. 1 изображен описываемый газо- разрядный источник (две проекции); на фиг, 2 - то же (один из вариантов исполнения, сечение),Газоразрядный, источник оптического излучения содержит разрядную колбу 1, выполненную в виде диска, например, из плавленного кварцевого стекла и заполненную ксеноном до давления 100 - 300 мм рт. ст. По наружной окружности диска диаметрально расположены отростки 2 разрядной колбы, в которых смонтированы электродные узлы 3, каждый из которых содержит токоввод 4 с приваренным к нему электродом 5.Разрядный промежуток колбы состоит из полого диска, заполняемого плазмой в момент разряда, и приэлектродных участков. Круговая форма излучающего тела удобно согласуется с оптической схемой светооптичесской системы. Форма сечения разрядного промежутка плавно переходит из круглой в области электродов в близкую к прямоугольной в области диска. При этом соблюдается постоянство площади поперечных сечений по всей длине разрядного промежутка, что обеспечивает равномерное заполнение плазмой всего газового объема источника во время вспышки. Результатом является равномерное распределение яркости по излучающей поверхности.Второй вариант конструкции (см. фиг. 2) отличается от первого лишь размещением электродных узлов. Последние в зависимости от надобности могут располагаться по противоположным сторонам диска под острыми или прямыми углами к плоскости последнего,Электрическая энергия от накопителя подводится к электродным узлам 3 источника оптического излучения посредством гибких проводов с малым активным сопротивлением(К 0,01 ом).При подаче высоковольтного поджигающего импульса с амплитудой =10 кв и длительностью 1 - 5 мсек создается предвари тельная ионизация разрядного промежуткаисточника оптического излучения, после чего в колбе 1 происходит основной разряд, сопровождающийся интенсивным излучением. Характеристики излучения источника 1 О определяются параметрами разрядной цепии режимом питания. П р едм ет изобретения15 1, Импульсный газоразрядный источникоптического излучения, содержащий колбу изпрозрачного материала некруглого поперечного сечения, снабженную отростками дляразмещения электродных узлов с плавным20 переходом от круга в приэлектродных областях к некруглому сечению в рабочей части,отличающийся тем, что, с целью обеспечениядвустороннего равномерного радиального излучения высокой интенсивности и улучшения25 частотных характеристик, колба выполнена ввиде полого диска с вогнутой излучающей поверхностью и постоянной площадью поперечного сечения разрядного промежутка.2. Источник оптического излучения по30 п. 1, отличающийся тем, что поперечное сечение разрядного промежутка представляет собой по форме плавный переход от круга вприэлектродных областях к близкой к прямоугольной в рабочей части диска, а постоянст 35 во поперечного сечения разрядного промежутка достигнуто соответствующим изменениемвысоты разрядного промежутка в зависимостиот его длины.3. Источник оптического излучения по40 пп, 1 и 2, отличающийся тем, что электродные узлы равномерно размещены по краямполого диска под углом от 0 до 90 к плоскости последнего.4. Источник оптического излучения по45 пп. 1 - 3, отличающийся тем, что электродные узлы размещены по обеим сторонамдиска,Фиг, 1 Составитель М. ЛойшРедактор Т, Загребельная Техред Т. Курилко Корректор В, Жолудева и, Харви, фил, вред Патент Заказ 198/685 Изд. М 230ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и оИосква, Ж.35, Раушска Тираж 780ытий при Совете Миаб., д. 4/5 Подписи ов СС