Вакуумный вентиль

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сока Соаетскнх. "Соцналнстнческнк Республик ависихое авт. свидетельс Заявлено 20,Ч 11.1970 ( 1459945/25 с присоединением заявками,Приоритет М, Кл. Г 161 с 1/,34Г 161 11/18 Г 161 с 41/10 Котеитет ло делао наобоетений н открытий пои Соеете Мииистрое СССРОпубликовано 07.Ч 11,1972. Б етень2 46 (088.8) Дата опубликования описания 15.7111.19 Авторыизобретен Н. С. Гриненко и А, Е, Яно зико-техническ АНинститут низких температурраинской ССР аявитель АКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ Приме в период водить о насосом,создания На фи в разрез ски изоб стенной Вакуу с двумя ны 2 и соединень содерхкит корпус 1 двумя седлами и клапапри помощи ребер 4 ожухом 5, Кожух имеет Изобретение относится к запорной арматуре, применяемой в высоковакуумной технике.Известны высоковакуумные вентили с перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума для систем сверхвысокого вакуума с двумя сильфонами клапанами, укрепленными и подвижными от самостоятельных приводов.Предлагаемый вентиль отличается тем, что канал рабочей полости отделен от полости защитного вакуума корпусом с седлом под запорный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым своим клапаном.Кроме того, в вентиле установлена крьцпка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмом запирания клапанов. нение вакуумных вентилеи позволяетзапуска двустенной камеры произткачку всей вакуумной системы одним предназначенным в дальнейшем для защитного вакуума.г. 1 изобра;кен предлагаемый вентиль е, общий вид; на фиг. 2 - схематичеражена установка вентиля на двукамере.мный вентилфланцами и3, Корпус 1жестко с к фланец для установки вентиля на камереч патрубок для подсоединения к системе откачки, фланец с центрирующим буртикомдля установки корпуса б с механизмами уп 5 равления клапанами и место для установкикрышки 7 герметизации. Герметизация осуществляется при помощи металлической прокладки. Вакуумная плотность при перемещении клапанов 2 и 3 обеспечивается стальпы 1 О ми сильфонами 8 и 9, Сильфон 9 одной стороной при помощи вакуумной сварки соединенс крышкой герметизации, другой - с корпусом 10 клапана 3. Сильфон 8 одной стороной - с корпусом 10 клапана 3, другой - со15 штоком 11 клапана 2. Запиранпе вентиля осуществляется вдавливанием медных клапанов2 и 3 в седла корпуса 1. Перемещение клапана 2 достиаетс двписением шта привращении гайки 12, перемещение клапана 3 -20 кольцом 13 при вращении винта 14. Кольцотремя тягами 15 жестко соединяется с корпусом 10 клапана 3. Для уменьшения спл трения, установлены шарикоподшипники 1 б и 17.Необходимая центровка, направленность дви 25 жения клапанов 2 и 3 обеспечивается направляющими штока и тяг в корпусе б, который,в свою очередь, центрируется относительно седсл корпуса 1 на кожухе,Откачивающая система подсоедпнена к паЗО трубку 18 (см. фиг, 2) при открытых клапанах 2 и 3 производит откачк всей вакуум344196 11 ной системы камеры в период запуска, в дальнейшем при закрытом клапане 3 производит откачку только из полости между камерами, т. е, создает защитный вакуум в двустенной камере. К патрубку 19 подсоединяется другая откачивающая система, которая производит откачку рабочего объема двустенной камеры при открытом клапане 2 и закрытом клапане 3. Предмет изобретения 1. Вакуумный вентиль для систем сверхвысокого вакуума с двумя перекрывающими каналы рабочей полости и полости защитного вакуума клапанами, уплотненными сильфонами и подвижными от самостоятельных приводов, отличающийся тем, что, с целью получения чистоты вакуумирования, канал рабочей полости отделен от полости защитного вакуума корпусом с седлом под запорный орган клапана, расположенного соосно с каналом рабочей полости, также перекрываемым сво им клапаном.2. Вентиль по п. 1, отличающийся тем,что в нем установлена крышка герметизации полости защитного вакуума, не связанная с механизмом запирания клапанов,Редактор Т. Шагов Корректор Е, Миронов пография, пр. Сапунов Заказ 2582;8 Изд, Мц 1096 1 Н 1111 ПИ Комитета по делам изобретений и отк Москва, Ж, РаушскаяТираж 406 Подписное тий при Совете Министров СССР аб., д, 45