265648

О П И С А Н И Е 265648ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ боев Советских Социалистических Республик. 47 Ь, 18 47 Ь, 22 явлено с присоединением заявкиПриоритетОпубликован 6 Ь Комитет по делам иаобретеиий и открыт при Совете Мииистро СССР.11.1970. Бюллетен ния описания 29.И 70 та опублик Шекриладзе, О. А. Зассено-исследовательскогоИ, Менделеева позн". тт,Зту)11 ВлеДуЯ.,инстЩИВЧ,".О;,.; ц 6 И п 11рава, В,и В. зного на гии им, ДРОРЕДУКТОР МИКРОПЕРЕМЕ 1 ЦЕг 1 ИЙ Изобретение нике, точному вычислительно может быть и высокоточных различных оп при помощи м тер фер ометр а устройств и относится к измерительнои техприоборостроению, автоматике, й технике и, преимущественно, спользовано при измерениях на интерференционных приборах в ерациях, которые выполняются икрометрических подач узлов ин(кареток с зеркалами, отсчетных т. д.),Авторыизобретения М. В. Чхеидзе, Р. А. Ка Заявитель Тбилисский филиал Всесою метролоИзвестен гидроредуктор микроперемещении, применяемый в измерительной технике, состоящий из двух ступеней, каждая из которых заполнена жидкостью и представляет собой сильфон, соединенный с камерой, на торце которой имеется упругая мембрана, При этом площади мембран значительно превышают площади поперечных сечений сильфонов,Подающий винт гидроредуктора сжимает сильфон первой ступени, жидкость перетекает в камеру и вызывает деформацию мембраны, которая, в свою очередь, сжимает сильфон второй ступени. Жидкость, перетекая в камеру, смещает жесткий центр выходной мембраны, чем и осуществляется микроперемещение.Однако известный гидроредуктор не дает возможности применения автоматики и дистанционного управления, а при ручном управлении невозможно получить плавные и высокочастотные микроперемещения. В описываемом гидроредукторе все эти недостатки устранены. С этой целью первая ступень гидроредуктора микроперемещений выполнена в виде сдвоенной камеры, заполненной рабочей жидкостью с электроосмотическими и гидравлическими свойствами и разделенной электроосмотической диафрагмой, по обе стороны которой расположены управляющие электроды. Для сохранения стабильности микроперемещсний при снятии напряжения с управляющих электродов, поры-капилляры электроосмотической диафрагмы выполнены с размерами, обеспечивающими верхний предел рабочего давления рабочей жидкости.На чертеже схематично изображен описываемьш гидроредуктор, в продольном разрезе и его конечное звено.Первая ступень гидроредуктора состоит изступенчатого сильфона с камерой 1, изготов ленной из резины или упругой пластмассы, икамерой 2, снабженной на торце упругой мембраной 3. Внутри сильфона между камерами 1 и 2 встроена микропористая электроосмотическая диафрагма 4, по обе стороны которой рас положены управляющие электроды 5. Камеры1 и 2 заполнены однотипной полярной жидкостью б, Жесткий центр мембраны 3 скреплен со второй ступенью, а именно с сильфоном 7, который продолжается коробкой 8, снабжен ной на торце упругой мембраной 9. Полостьзсильфона 7 и коробки 8 заполнена рабочей жидкостью 10. К жесткому центру мембраны 9 крепится упор 11. Жесткий треугольник 12 имеет постоянный безлюфтовый контакт с упором 11 и с кареткой 13, подвешенной на плоских пружинах 14.Приводом гидроредуктора служит электроосмотический насос, состоящий из микропористой диафрагмы 4, управляющих электродов 5 и полярной жидкости б, рабста когорого основана на известном явлении переноса полярной жидкости через диафрагму (пористое тело со сквозными отверстиями - капиллярами, диаметр которых лежит в пределах от долей единицы до сотен микрон) под влиянием электрического поля, создаваемого управляющими электродами, оасположенными по сбе стороны пористого тела и имеющими гальванический контакт с полярной жидкостью, К электродам 5 прикладывается постоянное напряжение, в результате чего происходит передвижение жидкости из одной камеры сильфона в другую. Давление в камере сильфона зависит от величины напряжения на управляющих электродах, а направление движения - ог полярности напряжения.Таким образом полярная жидкссть б, она же и рабочая жидкость первой ступени гидро- редуктора, перетекает из камеры 1 в камеру 2, Камера 1 при этом, имея большую упругость, под действием разрежения сжимается. Полярная жидкость, создавая избыточное давление в камере 2, осуществляет прогиб жесткого центра упругой мембраны 3, Регулируя величину приложенного напряжения, можно регулировать величину давления и, следовательно, величину прогиба упругой мембраны 3. Далее жесткий центр упругой мембраны 3 давит на сильфон 7, и рабочая жидкость 10 перетекает в коробку 8, вызывая прогиб жесткого центра упругой мембраны 9, Так как в обеих ступенях площади упругих мембран конструктивно выбраны значительно большими, чем площади поперечных сечений сильфонов, то происходит существенная редукция микроперемещений жесткого центра упругой мембраны 9 и скрепленного с ним упора 11, Жесткий треугольник 12 поворачиваетсявокруг упругого шарнира и, осуществляя дополнительное увеличение общей редукции гидроустройства за счет конструктивно выбранного соотношения его плеч, производит микроперемещение каретки 13 на величину Л 1.10 При снятии управляющего напряжения наэлектроосмотическом насосе в коробке 8 сохраняется избыточное давление благодаря применению микропсристой диафрагмы 4, обеспечивающей удержание давлений (микропе ремещений) в заданном рабочем диапазоне.Реверс микроперемещений осуществляетсяизменением знака на управляющих электродах 5. 20 Предмет изобретения1, Гидроредуктор микроперемещений, снаб.женный гидроустройством, вычолненным издвух ступеней, каждая из которых заполнена2 жидкостью и представляет собой соединенныйс камерой сильфон, передающий микроперемещения посредством упругой мембраны, отличающийся тем, что, с целью получения плавных и высокочастотных микроперемещений иЗ 0 применения автоматического и дистанционногоуправления, первая ступень гидроредукторавыполнена в виде сдвоенной камеры, заполненной рабочей жидкостью с электроосмотическими и гидравлическими свойствами и раз 35 деленной электроосмотической диафрагмой, пообе стороны которой расположены управляющие электроды.2. Гидроредуктор по п, 1, отличающийся тем,что, с целью сохранения стабильности микро 40 перемещений при снятии напряжения с управляющих электродов, поры-капилляры электроосмотической диафрагмы выполнены с размерами, обеспечивающими верхний предел рабочего давления рабочей жидкости,Составитель Т. ЕгороваРедактор Г, К. Гончарова Техред 3, Н. Тараненко Корректоры Г, П. Шильмани О, Б. ТюринаЗаказ 1657/6 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мипис 1 ров СССР Москва Ж.35, Раушская наб д, 415 Типография, пр. Сапунова, 2