Крофотонаборное устройство для изготовления

О П И С А Н И Е 263414ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 03.1,1968 ( 1210719/18-10) сл, 57(1, 1( соединением заявкиМПК 6 031УДК 655.229.7 (088.8) Комитет по делам зобретеиий и открыти при Совете Министров СССРиорит публиковано 04.11,1970, Бюллетен 1.1970 а опубликования описан Авторыизобретени Райхман/ И. М. Глазков, В. А. Зайцев, В. А. Козлов, Яи Э. Н. Тряков аявите МИКРОФОТОНАБОРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕФОТОШАБЛОН О В узел блок Изобретение относится к области микроэлектронного производства,Известны фотонаборные устройства для производства фотошаблонов, содержащие станину, координатный стол с микрометрическими винтами и приводом от шаговых электродвигателей, проекционный объектив, сменных диафрагм, осветитель, затвор и программного управления.Эти устройства имеют невысокую точность (разрешающую способность) из-за расположения проекционного объектива, узла сменных диафрагм, затвора и осветителя, объединенных в единый конструктивный узел и размещенных на консолях станины над координатным столом. Такое расположение делает чувствительным устройство к воздействию внешних и внутренних источников вибраций и тепла. Кроме того, оно имеет недостаточную производительность, поскольку количество сменных диафрагм ограничено и отсутствует возможность непосредственного получения высококачественных мультиплицированных фотошаблонов путем проецирования предвари,тельно изготовленного на устройстве промежуточного фотошаблона.Предложенное устройство не имеет этих недостатков. В нем сменная оправа с проекционным объективом установлена в опирающемся на верхнюю плоскость станины горизонтальном основании координатного стола, снаоженного окном для объектива и гнездом для крепления фотопластины, а шторчатая наборная диафрагма подвешена к основанию координатного стола на проходящих черсз окно станины колоннах, на которых между наоорной диафрагмой и объективом закреплена обойма для установки промежуточного фото- шаблона.10 На чертеже представлена принципиальнаясхема описываемого устройства.Оно содержит станину 1, на которой закреплены осветитель 2 и затвор 8, На верхней горизонтальной плоскости станины через ре зиновые прокладки установлено основание 4координатного стола 5. Для повышения точности текущие координаты определяются не микрометрическими винтами и щаговыми электродвигателями, а чувствительными дат чиками б линейных перемещений, выполнен.ными на дифракционных решетках.Известно, что наибольшая точность ст- павки координат соответствует положению перемещающегося объекта в центре координат.25 ного стола. С этой целью в координатном столе имеется гнездо 7, в котором расположена фотопластина 8 светочувствительным слоем вниз. Кроме того, в координатном столе сдслано окно для объектива 9, приподнятого над 30 основанием 4. Проекционный объектив 9 в оп 26341425 30 35 раве 10 помещен в окне основания координатного стола, что уменьшает влияние вибрационных и тепловых воздействий на точность проецирования изображений. Раздвижная шторчатая наборная диафрагма 11 подвешена к основанию 4 на колоннах 12, проходящих через окно (отверстие) станины, что уменьшает влияние различных внешних воздействийа точность проецирования изображений, повышая тем самым разрешающую способность устройства, а применение раздвижной шторчатой диафрагмы увеличивает его производительность,При изготовлении фотошаблонов среднего качества, минимальные размеры элементов которых до 5 лк, в основание 4 вставляется сменная оправа 10 с линзовым растром. Ограниченные размеры проецируемых элементов (не более 0,1;(0,1 л,я) позволяют при этом получить удовлетворительное разрешение. При изготовлении фотошаблонов высокого качества, минимальные размеры проецируемых элементов которых менее 5 лк, в основание 4 вставляется оправа 10 с высокоразрешающим объективом. Вначале через ооъектив проецируется изображение наборной диафрагмы 11 и изготовляется промежуточный фотошаблон, который затем на этом же устройстве мультиплицируется. На колоннах 12 закреплена обойма Й для установки промежуточного фотошаблона, изображение которого проецируется высококачественным объективом 9 на фоточувствительный слой пластины 8, а координатный стол совершает шаговые пере 5 10 15 20 мешения. В этом случае устройство выполняет роль фотоштампа.Применение в качестве проекционного объектива линзового растра значительно повышает производительность.Для защиты фотопластин и оптики от внешнего света и пыли гнездо 7 для установки фоопластин закрыто колпаком 14, имеющим окно со светофильтром 15 и загрузочное окно со шторками 1 б. Работой устройства управляет программный блок 17 по вводимой с перфоленты или другого носителя информации,Предмет изобретенияМикрофотонаборное устройство для изготовления фотошаблонов, содержащее станину с осветителем и затвором, координатный стол с датчиками линейных перемещений, наборную диафрагму с раздвижными шторками, сменный объектив в виде линзового растра или высокоразрешающего объектива и блок программного управления, отличающееся тем, что, с целью повышения точности (разрешающей способности) и производительности, сменная оправа с проекционным объективом установлена в опирающемся на верхнюю плоскость станины горизонтальном основании координатного стола, снабженного окном для обьектива и гнездом для крепления фотопластины, а шторчатая наборная диафрагма подвешена к ос: званию координатного стола на проходящих через окно станины колоннах, на которых между наоорной дифрагмой и объективом закреплена обойма для установки промежуточного фотошаблона.17 Составитель А, М. МассовТехред Т. П. Курилко Корректор С. М, Сига Реда кт орнее пография, пр. Сапунова, 2 аказ 1334/12 Тираж 500 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Чннистров СССР Москва Ж, Раушская наб., д. 4(5