Устройство для полирования плоских поверхностей

О П И С А Н И Е 189326ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Соеетских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено ЗО.Х 1.1964 ( 931523/25-8) Кч 67 а 1 присоединением заявкиПриоритет Опубликовано 1 МПК В Комитет по делаМ изобретений и открыт при Сосете й 1 инистро, Бюллетень М Дата опубликования описания 23,Х 11.19 бб. Х. Набиуллин, Е. М. Герцик и Б, В. Ма вител СТРОИСТВО ДЛЯ ПОЛИРОВАНИЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕ Известны устройства для полирования плоских поверхностей, содержащие полировальные диски, вращающийся стол с вакуумными присосами и механизмы подачи и съема. В них стол вращается до тех пор, пока с обрабатываемых деталей не снимется определенный припуск, затем он останавливается и детали разгружаются.Предлагаемое устройство отличается тем, что полировальные диски установлены вдоль направления движения заготовок, удерживаемых вакуумными присосами, Это устройство позволяет полировать заготовки в различных направлениях в процессе транспортирования без остановки стола. Кроме того, вакуумные присосы имеют полость, соединенную с двумя каналами, один из которых постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом, и подпружиненный в осевом направлении клапан, перекрывающий канал, постоянно связанный с вакуум-насосом при отсутствии заготовки и открывающий его в момент соединения другого канала с вакуум-насосом при наличии заготовки в позиции загрузки.Описываемое устройство изображено на фиг, 1; вакуумный присос - на фиг. 2.Основными узлами устройства являются роторы 1 и 2, шпиндели 3 полировальных дисков 4, вращающийся стол б, питатель 6, меха низм 7 подачи и механизм 8 съема отполированных заготовок,Устройство работает следующим образом.Заготовки загружают в питатель, установленный над столом так, что между его поверхностью и питателем имеется зазор, равный двум5 толщинам заготовок и прикрытый резиновым клапаном, предназначенным для предотвращения произвольного выхода заготовок.Поштучная выдача заготовок осуществляется вакуумными присосами, расположенными с 10 заданным шагом по окружности стола.Вакуумные присосы имеют полость 9,соединенную с двумя каналами 10 и 11 (один из них постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом), и подпружиненный в 15 осевом направлении клапан 12, перекрывающий за счет усилия пружины 1 З канал 10.При прохождении вакуумного присоса подпитателем канал 11 на мгновение соединяется с вакуум-насосом, Если заготовка находится 20 в полости 9, создается разрежение и клапан12 перемещается вверх. Заготовка присасывается и извлекается из питателя. При отсутствии заготовки в питателе клапан остается в нижнем положении и выходное отверстие ка нала 10 закрыто; то же наблюдается, когдазаготовка расколота.Заготовки, закрепленные иа вакуумных при.сосах, при повороте стола ротора 1 попадают под быстро вращающиеся диски 4 на поверх-.30 ность которых наносится алмазная паста. Направление полирования заготовок непрерывноменяется, так как они проходят под центрами полировальных дисков.5После прохождения заготовки под всеми полировальными дисками механизм подачи захватывает освобожденную вакуумным присосом заготовку и переносит ее на соответст. вующий вакуумный присос, Дальнейший цикл 10 аналогичен описанному. По окончании полирования заготовки захватываются вакуумными головками механизма съема и сбрасываются в тару.Описанное устройство обеспечивает качественное полирование деталей за период прохождения их под полировальными кругами. Предмет изобретения201. Устройство для полирования плоских поверхностей, например заготовок полупроводпиковых материалов, содержащее полировальные диски, вращающийся стол с вакуумными присосами и механизмы подачи и съема, отличающееся тем, что, с целью полирования заготовок в различных направлениях в процессе траьспортирования, полировальные диски установлены вдоль направления движения заготовок, удерживаемых вакуумными присосами.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что вакуумные присосы имеют полость, соединенную с двумя каналами, один из которых постоянно, а другой периодически связаны с вакуум-насосом, и подпружиненный в осевом направлении клапан, перекрывающий канал, постоянно связанный с вакуум-насосом при отсутствии заготовки и открывающий его в момент соединения другого канала с вакуумпасосом при наличии заготовки в позиции за- грузкиСоставитель Т. ЕрмаковаРедактор Л. М, Жаворонкова Техред Т. П. Курилко Корректоры: С. Н. Соколоваи Г Е Опаринаказ 3890/11 Тираж 1425 Формат бум. 60 У 90/8 Объем 0,27 изд. л. ПодписноеНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д, 4Типография, пр. Сапунова,