Генератор колебаний потока жидкости

(51)5 Р 15 В 21/12 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ИЪМ Й;йййй ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ПАТЕНТУ Целью предлагаемого иэо ся сохранение частоты пото ет исключения подвижн твующих элементов конс ючение вероятности внесе ую жидкость загрязнений конструкции генератора ко бретения явка жидкости ых взаимотрукции, т.е, ния в промыпри упрощелебаний,ляет за сч деи иск воч нии(71) Опытный завод микроэлектроники "Риф"(72) П.И, Шипилов и Н.А. Круглова (73) Воронежский опытный завод микроэлектроники "Риф"(56) Авторское свидетельство СССР Мз 907323, кл. Е 15 В 21/12, 1980,Авторское свидетельство СССР М 925432, кл. В 08 В 3/02, 1979.Авторское свидетельство СССР М 1257305, кл, Г 15 В 21/12, 1984.Авторское свидетельство ССР М 597443, кл, В 08 В 9/06, 1976.Авторское свидетельство СССР 1 ч. 1498992, кл, Г 15 В 21/12, 1987. Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для создания пульсирующего потока жидкости в устройствах для высококачественной очистки от жировых и механических загрязнений поверхностей деталей, например, пластин кремния в полупроводниковой промышленности или подложек поликоровых плат в производстве изделий микроэлектронной техники,(54) ГЕНЕРАТОР КОЛЕБАНИЙ ПОТОКА ЖИДКОСТИ(57) Использование: для создания пульсирующего потока жидкости в устр-вах для высококачественной очистки от жировых и механических загрязнений поверхностей деталей. Сущность изобретения: упругий вибратор выполнен в виде коаксиально установленного в камере турбулизатора полого цилиндра с сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов подачи и отвода жидкости и имеющим заостренные кромки. Кромки входят в канал подачи жидкости, Регулятор частоты колебаний выполнен в виде плоской поужчны, один конец к-рой закреплен на вибраторе, другой - на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействия с регулировочными винтами, 3 ил.На фиг.1 изображен общий вид генератора; на фиг.2 - сечение А - А на фиг.1; на фиг.3 - вид по стрелке Б на фиг.2,Генератор состоит из следующих основных элементов: цилиндрического корпуса 1, в котором установлен упругий вибратор 2, имеющий входное 3 и выходное 4 отверстия для жидкости; элементов регулирования частоты колебаний в виде плоской пружины 5, один конец которой закреплен на вибраторе 2, а другой - на поворотной оси 6, имеющей рычаг 7 (фиг.2), взаимодействующий с регулировочными винтами 8 и 9 (см.фиг.З), установленными с наружной стороны корпуса 1, Корпус закрыт крышками 10 и 11. Внутри корпуса установлен сегмент 12, который с рабочим концом вибратора образует дроссельнь 1 й канал 13, Вибратор выполнен в виде коаксиально установленного в камере 1полого цилиндра со сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов и имеющим заостренные кромки,входящие в канал подачи жидкости, 5Вибратор 2 с помощью утолщения 15закреплен консольно, а свободная заостренная кромка 16 направлена навстречу подаваемой жидкости из отверстия 4,10Генератор работает следующим образом.При подаче жидкости через входное отверстие 3 в дроссельный канал 13 одна часть потока попадает в выходное отвер стие 4, а другая завихряется в камере турбулизации 14, При этом, в результате поверхностных срывов жидкости у стенок камеры и взаимодействия прямого и завихренного потоков в дросселирующем канале 20 13 возникают высокочастотные колебания. Они вводят в колебательный процесс вибратор 2, возбуждая. в нем низкочастотные колебания, Процесс входит в режим автоколебаний, 25В конкретном устройстве при длине консольной части вибратора 70 мм, диаметре камеры 38 мм и давлении подаваемой воды 200 кГс/см получены регулируемые колебания потока с частотами 900 - 3000 Гц 30 и амплитудой й 15 кГс/см,В конструкции предложенного генератора колебаний потока жидкости нет движущихся взаимодействующих частей, что полностью исключает загрязнение жидкости продуктами износа. Это является важным положительным качеством особенно при использовании жидкости для промывки изделий в полупроводниковой промышленности и в производстве изделий микроэлектроники.ф о р мул а и зо бр ете н и я Генератор колебаний потока жидкости, содержащий корпус с каналами подачи и отвода жидкости, камеру турбулиэатора, консольно закрепленный упругий вибратор и регулятор частоты колебаний, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью сохранения чистоты потока жидкости эа счет исключения подвижных взаимодействующих элементов конструкции, вибратор выполнен в виде коаксиально установленного в камере полого цилиндра со сквозным пазом, выполненным вдоль образующей со стороны каналов и имеющим заостренные кромки, входящие в канал подачи жидкости, а регулятор частоты колебаний выполнен в виде плоской пружины, один конец которой закреплен на вибраторе, а другой - на поворотной оси, имеющей рычаг, установленный с возможностью взаимодействия с регулировочными винтами.1811567А-,4 10 Составитель М.Цыплакоедактор Т.Иванова Техред М,Моргентал Корректор И.Шулла роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина Заказ 1464 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5