Вытяжной шкаф

/О 55 В 08 ОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕДОМСТВО СССРОСПАТЕНТ СССР) ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ йству вытяжных шкафов аторий, Цель изобретеэффективности очистки оны. Вытяжной шкаф соый корпус с загрузочной фильтр, пол, вытяжную ол выполнен из 3-х зон с ю перфорации по глуби- , площади и коэффициени которых связаны ; Р 2; Рэ= 0,35; 4; 1. Кп 1.04, 1 ил. конкретно к устро химических лабор ния - повышение воздуха рабочей з держит герметичн дверью. перчатки, систему, причем п различной степень не рабочей камеры ты перфораци зависимостями; Р 1 Кп 2, Кпз=0,8: 0,5: ельскии институт н, В.М К,Г,Егор встроРедин.овнными инк ниф Ай я: ретение от емам, более ымса р 4 (Л (Л но сверхчи одержи загруэоч ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(57) Область примененносится к вентиляционн Изобретение относится к области вентиляционных систем, а именно к устройству вытяжных шкафов химических лабораторий и может быть использовано в химической, микроэлектронной, фармацевтической и других областях народного хозяйства для работы со сверхчистыми, токсичными и биологически опасными для человека веществами.Наиболее близким техническим решением является вытяжной шкаф для работы с токсичными и биологически опасными веществами, содержащий герметичный корпус, выполненный из стального листа со стеклянной передней стенкой, герметичной дверью и встроенным резиновыми перчатками, глухой пол, фильтр очистки воздуха, включающий фильтр грубой очистки и фильтр тонкой очистки, вытяжную систему для отвода загрязненного воздуха,Известное устройство позволяет проводить работы со сверхчистыми и биологически опасными веществами, предотвращает вредные выбросы в окружающую среду за счет герметизации соединении элементов конструкции корпуса и загрузочной двери. При разгерметизации конструкции для выполнения операции загрузки-выгрузки, случайных нарушениях целостности корпуса шкафа, разрывах резиновых перчаток защита от выбросов достигается за счет созданного в рабочей зоне пониженного (относительно атмосферного) давления,Недостатком указанного устройства является малая чистота в рабочей зоне для работы со сверхчистыми веществами из-за создаваемого в рабочей зоне турбулентного воздушного потока, препятствующего поддержанию обеспыленной рабочей атмосферы и приводящей к загрязнению вещества.Целью изобретения является повышение эффективности очистки воздуха в рабочей зоне. изобретения поясняется чертежом,Вытяжной шкаф для работы стыми токсическими веществам корпус 1; стеклянную переднюную дверь 2; резиновые перчатки 3; воздушный фильтр 4; фальшпол 5; вытяжную систему 6,Корпус 1 сделан из металла или любого другого листового материала, швы конструкции выполнены герметично, Стеклянная загрузочная дверь 2, с расположенным по периметру резиновым уплотнением, имеют герметично встроенные перчатки 3 для маниЛуЛйрования объектами в рабочей зонеи замок.г"Воздуййый фильтр 4 изготовлен из фильтровой ткани ФПП 15-1, 5 ТУ-16-2062- 76. По паспортным данным ткань имеет эффективность очистки 0,999 для частиц размером 0,5 мкм и более, Для получения сверхчистого воздуха и для оптимальной работы фильтра необходимо установить два слоя ткани, Фильтрующая ткань крепится в жестком каркасе.Фальшпол 5 представляет из себя перфорированный металлический лист с различными зонами, отличающимися друг от друга степенью перфорации, наибольшей у загрузочной двери и наименьшей у задней стенки шкафа.Вытяжная система б крепится герметично снизу корпуса шкафа 1, под фальшполом 5.Вытяжной шкаф работает следующим образом.Вытяжная система б функционирует постоянно. За счет отсоса воздуха и гидравлического сопротивления самого фильтра в шкафу создается пониженное давление на 7-8 мм рт,ст, по отношению к атмосферному. При наличии разности давлений в рабочую зону через фильтр 4 начинает поступать наружный воздух со скоростью 0,45 м/с, Из-за разного гидравлического сопротивления зон фальшпола 5 образуется направленное движение воздушного потока 7 от фильтра к первой зоне фальшпола, Поток предотвращает проникновение пыли и загрязнений с перчаток 3 и загрузочной двери 2 в рабочую зону, Загрязненный воздух через отверстия фальшпола поступает в подфальшпольное пространство и далее в вытяжную систему 6.Наибольшую потребность в такой конструкции испытывает электронная промыш 5 ленность, выпускающая большиеинтегральные схемы (БИС) оперативных запоминающих устройств (ОЗУ) емкостью 64,256 Кбит и 1 Мбит. Технология изготовленияБИС предусматривает использование боль 10 шого количества сверхчистых химическихрастворов (органические растворители: диоксан, метил целлозольвацетат, диметилформамид, органические кислоты и др.),Одной из основных причин загрязнений15 сверхчистых растворов является их разливиз больших фляг в мелкую технологическуютару.Во время этой операции аэрозольныечастицы, взвешенные в рабочей зоне шка 20 фа, попадают в раствор и вызывают его загрязнения, В дальнейшем во времятехнологического процесса частицы переносятся из раствора на полупроводниковыепластины и вызывает дефекты на поверхности и конечный брак продукции,Предложенное устройство устраняетуказанные недостатки,Формула изобретения Вытяжной шкаф, содержащий корпус сзагрузочной дверью, рабочим отверстием со встроенными перчатками и полом.фильтр и вытяжную систему, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения 35 эффективности очистки воздуха рабочей зоны, пол выполнен перфорированным из трех зон, при этом степень перфорации каждой зоны в направлении от загрузочной двери к противолежащей стенке корпуса 40 определяется по следующей зависимостиКпКпК = 0,8: 0,5: 0,4, а площади зон определяют по зависимости Е; Р; Г= = 0,35;1:1, при этом вытяжная система размещена под полом, а площадь пола вычис ляют по формуле Р =П/1620, где Пс -производительность откачки вытяжной системы Рп - площадь пола.,Копч роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород. ул,Гагарина. 101 Заказ 28 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская нэб 4/5