Способ девакуумирования электронно-лучевой трубки

(51)5 . ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТВЕДОМСТВО СССР(ГО ЕТЕНИЯ олее близок к мизации вакуательного выСПА 1 ЕНТ ССР)ПИСАНИЕ ИЗО АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(71) Паневежский завод иЭкранаси(54)СПОСОБ ДЕВАКУУМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ Изобретение относится к области производства электронно-лучевых трубок и может быть использовано в процессе их регенерации, в частности кинескопов, в стадии их девакуумирования.. Известен способ девакуумирования кинескопов путем пробивки с тенках горлышка трубки малых отверстий лазерным импульсным излучением. Однако, в этом процессе при пробивке отверстия мельчайшие частицы испаренного стекла втягиваются в трубку и осаждаются внутри кинескопа, повреждая люминесцирующий слой стеклянного экрана и закупоривая отверстия маски.Известен также способ девакуумизации кинескопов, согласно которому часть горлышка кинескопа помещают внутрь герметизированной камеры, из которой откачивают воздух, до давления, ниже давления внутри трубки, Часть надреза локально на(57) Назначение: изобретение относится к области производства электронно-лучевых трубок. Изобретение позволяет ускорить время пробивки отверстий при девакуумизации кинескопов. Сущность; импульсный пучок лазерного. излучения с длиной волны, соответствующей полосе пропускания стекла, фокусируют на внутренней стороне стенки горловины колбы, образующееся облако из вытравленных частиц стекла оседает на внутренних стенках горловины колбы, исключая порчу деталей кинескопа, и не экранирует излучение. 1 з,п. ф-лы, 1 ил. пав гревают с помощью сйециального устройст- Б ва, горловину отрезают и удаляют по всей внутренней стенке герметизированной ка- д меры. Эатем в камеру постепенно подают газ до уровня атмосферного давления.Известен способ восстановления. электронно-лучевых трубок, который отличается от предыдущего тем, что поверх надреза С наматывают раскаленную нихромовую про Ъь волоку, а сопло для нагревания воздуха рас- Ц 3 полагают над отражательной перегородкой дпя иаправпеииой циркуляции воздуха с ос. колками стекла. Эти способы очень трудоемки, требуют дополнительного оборудования. Следует также отметить, что их трудно автоматизировать и их практически невозможно реализовать при поточном производстве.Из числа известных наиб заявляемому способу девакуу умной трубки путем последов1785045 3 4травливания импульсным пучком лазерного Способ осуществляется следующим обиэлучения ряда отверстий в горловине кол- разом.бы кинескопа с последующим выравниванием давления. При этом лазерный пучок позицию таким образом, чтобы его горлышфокусируютнанаружнойповерхностистен ко на расстоянии 1,5 см от конц бки.П ит конца тру кибом вки. ри девакуумизации указанным спосо- опиралось на опору 4, Это позволом, во-первых, в кинескоп не попадают нейшем(после дегерметизации) сохранитьразного вида опасные включения, т,к. диа- нужную для регенерации часть кинескопа.метр отверстия мал, а во-вторых, не созда- Отверстие выполняют в горлышке кинеско. ется ударная воздушная волна, 10 па пучком импульсного лазерного излучеповреждающая маску и экран кинескопа. ния, беспрепятственно проходящего черезорое ч окусируется линЭто позволяет из процесса регенерации ис- канал опоры 4, которое фок сиключить разборку кинескопа на отдельные зой 2 на внутреннюю поверхность стекляндетали и последующую его сборку, а сразу ной оболочки кинескопа 5.использовать в собранном виде части кине Пучок импульсного излучения постепенно вытравливает с внутренней стороныОднако, при фокусировании серии им- колбы кратер до образования отверстия.пульсов лазерного излучения на внешней Образующееся облако из вытравленных частенке горловины кинескопа при каждом стиц стекла оседает на внутреннихстенкахвытравливании появляется плазменный фа горловины колбы икел испаренного стекла. Факел появляется излучение. Затем с помощью опоры 4 горв начале импульса облучения, поэтому часть лышко кинескопа смешают для пробивкиэнергии импульса излучения отражается от нового отверстия и цикл травления повторяплазменного факела и не участвует в вы- ют. Точность фокусировки и конец травлетравливании отверстия. В связи с этим тре ния регистрируют по появлению окончаниябуемое количество импульсов для свечения индикатора 8 канала регистрации.вытравливания увеличивается и, соответст- Ниже приво итсж приводится пример конкретнойвенно, удлиняется общий цикл девакууми- реализации способа.зации. Кроме того, высокотемпературные В горловине кинескопа 5 пескопа производитсячастицы испаренного стекла разлетаются в 30 несколько небольших, диамет ом 150д о большоь объеме и попадают на отверстий 3-6 на расстоянии примерно 1,5овольнэлементы устройства лазерного излучения, см от конца трубки, Число отверстий подбинапример, фокусирующую линзу, вызывая рают из условия, что при одном отверм отверстиидиаметром 150 мкм полная девакуумизаЦелью изобретения является ускорение 35 ция кинескопа происходит примерно за 3 ч,процесса вытравливания ряда отверстий в при двух - за 1 5, . Вгорловине колбы кинескопа.Согласно изобретению поставленная технологического процесса регенерации,цель достигается тем, что в способе деваку- Так как излучение фоклучение ч окусируется наумизации кинескопа путем последователь внутреннюю стенку горлышка кинескопа,ного вытравливания импульсным пучком длина волны лазера должна быть такой, чтолазерного излучения ряда отверстий в гор- бы излучение не поглощалось стеклянной., длина волны лазера должна , ловине колбы кинескопа с последующим стенкой т.е, дл аосе пропускания стек выравниванием давления, импульсный пу- соответствовать полоса пропускания стекла о,З -чок лазерного излучения с длиной волны, 45 ла, Так как полоса пропм жно использовать широкосоответствующейпьлосепропусканиястек мкм, то возможно испо ьла, фокусируют на внутренней стороне распространенные лазеры на гранате с нестенки горловины колбы. одимом и другие. Параметры используемогоПредлагаемое изобретение представ- лазерногосветового импульса:лено на чертеже блок-схемой установки для 50 длина волны = 1,06 мкм;осуществления данного способа. длительность импульса = 0.5 мс.Установка для девакуумизации кинео ношение диаметра отверскопов состоит из источника лазерного им- Учитывая соотношентенки тру ки кинескопа, апульсного излучения 1, светоделительной стияитолщиныст нбпластины 2, и фокусирующей лазерное из также оптические свойства стекла э с ру ение линзы 3. Опора 4 служит для фикса- ментально установлено, что наиболее целеции кинескопа 5. Фотоэлектрическая сообразносоздаватьотверстиядляцветныхи м о ра атываемогосистема, регистрирующая появление отвер- кинескопов облучением б бимпульсов. то наиболеестия, состоит из собирательной линзы 6, местасериейиэ 10 имп ль .Эфотодатчика 7 и индикатора 8, оптимальный энергетическискии режим и при1785045 рьянов л Корректор А. Мотыль Составитель В Техред М.Морг ктор С. Кулакова аказ 4368 ВНИИПИ Тираж арственного комитета по 113035, Москва, ЖПодписноебретениям и открытиям приаушская наб., 4/5 НТ СС Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 10 этом не наблюдалось скалывание стекла трубки кинескопа,При появлении отверстия излучения лазера происходит сквозь отверстие и плазма (и ее свечение) не появляются. Это свидетельствует о наличии отверстия в стенке кинескопа, Если индикатор 8 показывает о наличии плазменного свечения, то производство отверстия еще не завершено и необходимо дальнейшее облучение, При появлении сквозного отверстия в стенке горлышка кинескопа сигнал о наличии йлазменного свечения на индикаторе пропадает,Облучение кинескопа при этом прекращается и начинается медленная дегерметизация кинескопа.Суммарное время пробивки отверстий составляет 7 с, время пробивки такого же числа отверстий по прототипу составляет 30 с,Таким образом, заявляемый способ позволяет сократить время девакуумизации. Кроме того, способ безопасен, может быть автоматизирован, использован при поточном производстве. Кроме того, данный способ увеличивает срок службы источника лазерного излучения, вследствие того, что лазерное излучение фокусируется на внутреннюю стенку колбы. Поэтому плазмейный факел, направленный в противоположную сторону от лазерного луча, не гасит последнего, благодаря чему, вся энергия излучения участвует в вытравливанииотверстия и количество требуемых лазерных импульсов уменьшается,5 Формула изобретения 1. Способ девакуумирования электронно-лучевой трубки, включающий последова-.тельное воздействие импульсным 10 фокусированным лазерным излучением йаповерхность горловины стеклянной оболочки электронно-лучевой трубки, создание ряда отверстий в горловине для выравнивания давления,о тлич а ющййся тем.что,с 15 целью интенсификации процесса за счетснижения потерь энергии, импульсный лазерный пучок фокусируют на внутренней поверхности горловины, энергию импульса лазерногО луча выбирают равной энергии 20 порога разрушения стекла оболочки, адлину волны Л излучения выбирают соответствующей полосе пропускания стекла, при этом длительность импульсов т и частоту следования импульсов 1 выби реют из выражений 0,2 мст 1,5 мс;0,01 ГцЮ100 Гц.2. Способ по и. 1 о т л и ч а ю щ и й с ятем, что длину волныЛ импульсного лазерного излучения выбирают из выражения 30 0,3 мкмЛ2,0 мкм.