Способ определения удельной площади поверхности твердых тел
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(51)5 0 01 В 1511 (192 ЕТЕН ИСАНИЕ ЛЬСТ СКОМУ А лополимерных ин. Н,Ф.Семеники ме Н,К,Мышков(54) СПО ПЛОЩА (57) Иэоной техн Изобрете 4 фь,нои технике и контроля пло изобретен ти зд сце) дд пучка счет боле поверхог итель стве зо ности 3 альн ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОВРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР(71) Институт мехасистем АН БССР(56) Беляев Г,С, иповерхности с учедь 1 ЦНИИТС, 1971Ройх И.Л. О вработки на величиДАН СССР, т.146,СОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УДЕЛЬНОИ ДИ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ бретение относится к измерительике и может быть использовано для относится к измерительжет быть использовано для ди поверхности твердых тел;Известен способ определения удельной площади поверхности (УПП) твердых тел путем снятия профилограмм поверхности, которые содержат информацию о величине удельной площади поверхности. Для этой цели контактным или бесконтактным методом определяют один иэ параметров профиля, например угол наклона микроне- ровности, расстояние между ними или среднеарифметическое отклонение профиля. по которому судят об УПП,Однако этот способ обладает недостаточным разрешением. контроля площади поверхности твердых тел, 1(ель изобретения - повышение чувствительности зд счет использования в качестве зонда пучка электронов, достоверности за счет более точного отображения реальной поверхности и достоверности за счет увеличения обьегла получаемой в единицу времени инфорлдции, На исследуемую поверхность направляют сфокусиро. ванный пучок электронов, рдзвернутый в растр, регистрируют интенсивность истинно вторичных электронов, определя(от ее среднее и минилдльное зцдцсц(ия по их отношению судят о величине удельной площади поверхности (УПП), Измерение проводят при двух диаметрах г(учкд эле тронов. Сог(т. ветствующих мини 1 лдльнюлу и лдксилальному шагам исследуемого дидпдзонд неровностей. 2 з,п, ф-лы, 2 ил,Наиболее близким к предлагаемому является способ, в котором опг)вделк)т характеристический параметр пове 1)хно(:ти - угол при вершине микронеровцости на проф. илограмме, по которому судят от УПГ 1.Недостатками известного способа являются большое время, затрачиваемое цд определение характеристического пдрдметра и расчет УПП, невозможность определения УПП в различных размерных дидпазоцдх, ограниченный обьем обрабатываемой ин-. формации. 1 я поье чувст. и(,пол( (пл,3 я в к; электроов. дпстлертоц ног о прджс.я (и, д т(эх к(. эксг(1 н(:(цости за счет увеличения обьема получаемойв единицу времени информации.Поставленная цель достигается тем, чтосогласно способу на исследуемую поверхность направляют сфокусированный пучок 5электронов, разворачивают его растр, регистрируют интенсивность истинно вторичных электронов, определяют ее среднее иминимальное значения и по их отношениюсудят о величине удельной площади поверхности.Измерение удельных площадей проводят при двух диаметрах пучка электронов.соответствующих минимальному и максимальному шагам исследуемого диапазона 15неровностей, а об изменении удельной площади поверхности этих неровностей судятпо их отношению,На фиг.1 изображена схема взаимодействия пучка электронов (зонда) с исследуемой поверхностью; на фиг,2измерительный комплекс,Способ осуществляют следующим образом,На исследуемую поверхность твердого 25тела направляют сфокусированный пучокэлектронов, разворачивают его в растр, регистрируют интенсивность истинно вторичных электронов, определяют среднее 7 иминимальное 1 мин значения интенсивности, 30а об удельной площади поверхности (5 л)судят по отношению 35Поскольку неровности шероховатой поверхности имеют размерь 1, находящиеся вшироком диапазоне значений, измереннаявеличина ЧПП зависит от размера зонда (диаметра пучка электронов). 40Для определения изменения УПП производят измерение при двух диаметрах пучка электронов, соответствующих минимальному и максимальному шагам исследуемого диапазона поверхностей, а об УПП 45этих неровностей судят по их отношению,Реализация способа осуществлялась наизмерительном комплексе (фиг.2): растровый электронный микроскоп РЭМ (1 БМ =- 50А) микроЭБ 1 Л (Искра 226). 50Исследовали образцы из стали 45, обработанные плоским шлифованием, имеющимшероховатость Ва = 0,2 - 1,6 мкм (7 9 - 76кл),Исследуемый образец помещают в камеру микроскопа, Электронный зонд, сформированный с электронно-оптическойсистемой микроскопа 1, разворачивается врастр по образцу 2, Возникающее вторичное электронное излучение регистрируется детектором 3, сигнал с которого через блок 4 сопряжения подается на ЭВУ 11. Блок сопряжения содержит цифровой генератор 5 развертки, управляющий разверткой зонда и дисплеем РЭМ, аналого-цифровой преобразователь 6 для ввода сигнала, цифроаналоговь 1 й преобразователь для вывода результатов, схему 7 управления для синхронизации комплекса и программного переключения режимов работы РЭМ,Комплекс содержит ряд периферийных устройств - графопостроитель 8, матричное печатающее устройство 9, накопитель 10 на гибких магнитных дисках,Аналоговый сигнал с микроскопа после преобразования обрабатывается ЗБМ по специальной программе, которая включает в себя операции усреднения и сравнения, Результат выдается на матричном печатающем устройстве 9, При необходимости определения УПП в заданном размерном диапазоне д 1 - 02 устанавливают диаметр ,зонда (пучка электронов) о 2, проводят цикл измерения, определяют Яуд 2, изменяют диаметр зонда б , повторяют цикл измерений, определяют 5 уд 1 и по их отношению судят от УПП в диапазоне шагов неровностей б 1 - о 2Бся процедура вычислений автоматизирована,Формула изобретения 1, Способ определения удельной площади поверхности твердых тел, заключающийся в том, что определяют характеристический параметр поверхности, по которому судят о величине ее удельной площади, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности, достоверности и экспрессности измерений. на исследуемую поверхность направляют сфокусированный пучок электронов, разворачивая его в растр, регистрируют интенсивность истинно вторичных электронОв, определяют ее среднее и минимальное значения и по их отношению судят о величине удельной площади поверхности.2, Способ поп 1,отлича ющийся тем, что, с целью определения измерений удельной площади поверхности, определяют измерение удельных площадей при двух диаметрах пучка электронов, соответствующих минимальному и максимальному шагам исследуемого диапазона неровностей, а об измерении удельной площади поверхности этих неровностей судят по их отношению,.Рщо,дижРЫ Тираж Подписноеного комитета по изобретениям и открытиям при Г 35, Москва. Ж, Раушская наб., 4/5
СмотретьЗаявка
4779360, 09.01.1990
ИНСТИТУТ МЕХАНИКИ МЕТАЛЛОПОЛИМЕРНЫХ СИСТЕМ АН БССР
ГРИГОРЬЕВ АНДРЕЙ ЯКОВЛЕВИЧ, МЫШКИН НИКОЛАЙ КОНСТАНТИНОВИЧ, СЕМЕНЮК НИКОЛАЙ ФЕДОРОВИЧ, ХОЛОДИЛОВ ОЛЕГ ВИКТОРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 15/02
Метки: площади, поверхности, твердых, тел, удельной
Опубликовано: 15.07.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1747891-sposob-opredeleniya-udelnojj-ploshhadi-poverkhnosti-tverdykh-tel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения удельной площади поверхности твердых тел</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения толщины
Следующий патент: Ультразвуковой измерительный преобразователь скорости линейного перемещения
Случайный патент: Водородный счетчик электрической энергии