Электромагнитный регулятор потока

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 725192 А 05 О 7/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ВТОРСКО ИДЕТЕЛ ЬСТВ ЛЯТОР ческого ы Ю(56) Авторское свидетельство СССРЬЬ 1275382, кл. 6 05 О 7/00, 1985.Авторское свидетельство СССРМ 1462256, кл. 6 05 0 7/00, 1987,4) ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЙ РЕГУОТОКА7) Изобретение касается автомати регулирования и может использоваться для поддержания требуемого разрежения в вакуумных системах различного назначения. Цель изобретения - расширение области применения электромагнитного регулятора потока. Регулятор содержит корпус 1 с входной 3 и выходной 10 полостями, разделенными перегородкой 4 с отверстиями 5, образующими матрицу, в которых размещены ферромагнитныетела(шарики) 6, причем заслонки отверстий выполнены в виде сплошных упругих мембран 7, расположенных между перегородкой 4 и электромагнитами 8. 2 ил,Изобретение относится к средствам для получения или поддержания требуемого давления в баллоне и к области автоматического регулирования микропотоков газа, а более конкретно к конструкции регуляторов газовых потоков в вакуумных системах, и может быть использовано в качестве регулируемого натекателя или переменного газового сопротивления при получении и поддержании требуемого разрежения в вакуумной системе или вакуумном объеме.Известен регулятор расхода газа с числовым управлением для регулирования потока газа в вакуумных системах, состоящий из корпуса, разделенного на входную и выходную камеры перегородкой с отверстиями и управляемыми клапанами по числу разрядов команды управления и отсеками во входной камере, соединенными посредством отверстий.Известно также устройство для дискретного регулирования расхода газа, содержащее корпус с входными и выходными отверстиями, упругую прокладку с жиклерами в виде пластин, которые размещены между фланцами и прижимами с возможностью возвратно-поступательного движения и фиксации крайних положений.Недостатками указанных устройств являются их сложность, сравнительно узкий диапазон регулирования потока газа, сложность получения требуемого вида функции выходного потока газа и соответствия его форме управляющего сигнала.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является регулятор расхода с числовым управлением, содержащий корпус с входной и выходной полостями, Выходная камера отделена от входной перегородкой с дросселями, а внутри выходной камеры установлены пластины с отверстиями, которые делят ее на два объема. Регулятор работает как переменное сопротивление, смеситель или распределитель потоков газа.Недостатком регулятора является сложность конструкции клапанов и узкий диапазон плавного регулирования микропотока газа, что обусловливает узкую область применения электромагнитного регулятора потока.Цель изобретения - расширение области применения электромагнитного регулятора потока.Поставленная цель достигается тем, что в электромагнитном регуляторе корпус содержит входную и выходную полости, разделенные перегородкой с системой сквозных отверстий, симметрично по обе стороны перегородки установлены электромагниты, которые связаны с заслонками, выполненными в виде сплошных упругих мембран. Отверстия перегородки образуют матрицу и заполнены ферромагнитными те лами.На фиг.1 и 2 показана конструкция регулятора потока.Электромагнитный регулятор потокасодержит симметричные относительно пло скости АА корпус 1, входной штуцер 2, входную полость 3, перегородку 4 со сквозными поперечными отверстиями 5, ферромагнитные тела 6 в виде шариков, упругие, герметично прилегающие к корпусу 1 и 15 перегородке 4 мембраны 7, систему электромагнитов 8, расположенных соосно с отверстиями 5 над мембранами 7, источники 9 питания и управления электромагнитами, выходную полость 10 и выходной штуцер 11, 20 Регулятор работает следующим образом.Газ поступает через входной штуцер 2во входную полость 3. При отсутствии управляющего сигнала на электромагнитах 8 25 упругие мембраны 7 герметично прилегаютк корпусу 1 и перегородке 4, поток газа не поступает в выходную полость 10 и на выходной штуцер 11. При подаче управляющих сигналов на электромагниты 8 от 30 источников 9 питания и управления ферромагнитные тела б приходят в движение, оттягивая упругую мембрану 7 от перегородки 4. В результате этого упругие мембраны 7 прогибаются, образуя тем самым канал для 35 потока газа, протекающего из входной 3 ивыходную 10 полости.Длина и поперечное сечение образующихся каналов зависят от величины сигнала и координат включенных в данный момент 40 электромагнитов. Управляя матрицей электромагнитов, можно в широких пределах регулировать величину газового потока, поступающего из входной полости в выходную.45 К входной полости может подводитсянесколько газов, при этом она может быть разделена перегородками, что позволит использовать данный регулятор как управляемый смеситель;Управление током в электромагнитах 50 может быть аналоговым, импульсным, широтно-импульсным и другим. Оно может проводится непосредственно от ЭВМ или микропроцессора. Корпус 1 и перегородка 4 могут быть выполнены из металла или нол имерных материалов. Упругие мембранымогут быть выполнены из различных материалов, в том числе из резины, металлов, полимеров. Они могут обладать ферромагнитными свойствами. Ферромагнитные те1725192 ла могут быть заменены ферромагнитнымпорошком. Яв.2 40 45 50 Составитель А,НовиковРедактор О.Юрковецкая Техред М.Моргентал Корректор С,Черни Заказ 1175 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитете по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 Формула изобретенияЭлектромагнитный регулятор потока.содержащий корпус с входной и выходнойполостями, разделенными перегородкой сотверстиями, заслонки которых связаны сэлектромагнитами, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью расширения области применения электромагнитного регулятора, отверстия образуют матрицу, причем электромагниты установлены симметрично по обе 5 стороны перегородки, а заслонки выполнены в виде сплошных упругих мембран, расположенных между электромагнитами и перегородкой, в отверстиях которой размещены ферромагнитные тела.10