Способ контроля контактирования интегральных схем

/2 1)5 0 0 ПИСА ЗОБРЕТЕ НИ ЕЛЬСТВ(56) "Электроника ПЛ - 01". ПаспорАвторское свидетельство СССРМ 1383231, кл. 6 01 й 31/02, 1988,(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЪНЫХ СХЕМ(57) Изобретение повышает достоверностконтроля контактирования ИС на этапе за т, М 1986 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВ ключительных операций при загрузке схем в контактные устройства плат элеКтротермотренировки. Цель изобретения - повышение достоверности контроля. Сигнал генератора 4 импульсов подводится на вход микросхемы 2, установленной в блоке 1 контактирования и подключенной от источника 3 питания. Блоком 5 измерений контролируется разница между напряжением входного и вйходного сигналов, по которой определяется величина контактного сопротивления, сравнивается с эталонной, 2 з.п,ф-лы, 2 ил.Изобретение Относится к контрольноизмерительной технике и может быть использОВано В автОматиэированных устройствах контроля интегральных схем (ИС), В частности, на этапе заключительных 5 операций.Цель изобретения - пс вышение достоверности контроля.Контроль контактирования ИС по отклонению переходного сопротивления от эа данной величины основан на том, что при соблюдении заданной величины переходного сопротивления схема либо перестанет функционировать, либО урОвни ее Выходных сигналов не соответствуют заданным, 15При подаче на вход ИС минимального порогового напряжения питания соэдак)тся условия, при которых всякое уменьшение этого напряжения приводит к тому, что переходы активных элементов, которые вхо дят в состав ИС, не мокнут открыться и функционирование схемы прекоащается. Входные воздействия не могут вызывать выходных сигналов, по отсутствию которых и судят о переходном сопротивлении в зоне 25 контактирования.При компарировании уровней питающего напряжения и выходных Сигналов обеспечивается слежение за перепадом этих уровней, При этом задают допустимый 30 перепад как функцию от заданных Величин сопротивления в зоне контактирования, При любом повышении заданной (допустимой) величины переходного сопротивления снижается и перепад уровней, по которому. 35 судят о качестве контакта.Таким образом, способ дозволяет фиксировать не только два варианта "есть контакт"; "нет контакта", но и промежуточные значения переходното сопротивления, что 40 позволяет выявлять схемы и с неполностью нарушенными контактами.На фиг. 1 и 2 приведены схемы распределения напряжений при изменении переходных сопротивлений, 45Контроль контактирования ИС (фиг. 1)производится в точках 1, 2, 3 и 4, где измеряются переходные сопротивления 81, 82, Вз и 84. При переходных с:опротивлениях 81, 82, ВЗ и 84, Равных нУлю, Овых:= Юпит, где 450 1 - коэффиЦиент; Оых - ВыхоДное напРа- жение; Опит - напряжение питания, т.е, контактирование удовлетворительное. При 81, 82, Вэ и 84, больших нуля, Овцх=1 с Овх,- -Опот(1 П; ОвыхКОпит, где Опот - напряжение 55 потерь на заданной частсле 1, что свидетельствует о некачественном контактировании,Схема для осуществления способа конгроля контактирования ИС (фиг. 1) содержит контактные блоки 1,1-1,п с ИС 2, истсиник 3 питания, генератор 4 импульсов и блок 5контроля,На ИС 2 подают питание с источника 3питания, на вход подают воздействия с генератора 4 импульсов. С помощью блока 5контроля контролируют отклонение опорного (на входе) и исследуемого (на выходе)сигналов, Разность уровней между ними задавали как функцию переходного сопротивления, В случае, если разность вышезаданной величины переходного сопротивления, качество контактирования неудовлетворительное и дальнейший маршрутсхемы определяется технологической картой. В случае, если разность равна или нижезаданной, условия контактирования удовлетворительные. Заданная величина переходного сопротивления выбирается взависимости от требований, предьявляемыхк схеме,При включении генератора и подаче питающих напряжений на выходе испытуемойИС появляется выходное напряжение, уровни "0" и "1" которого определяются переходными сопротивлениями 81 - 84. При Вт -84, РаВНЫХ НУЛЮ, Овх = МОпт, ГДЕ ЬС 1, ПРИэтом нормированные величины Овцх "0" и1" задаются в блоке измерений, При 81 -84, больших нуля, логические уровни изменяются, что фиксируется блоком измерений.Допустим, что переходное сопротивление 84 (фиг, 1) стадо больше нормы, токчерез 84 создает дополнительное напряжение Ою, при этом в фазе измерения напряжения Овцх "0" к испытуемой ИС добавитсянапряжение ОВ 4, что будет классифицироваться блоком измерения о некачественномконтактировании, Величина предельно допустимого переходного сопротивления заранее вводится оператором в блокизмерения, с которым сравнивается фактическое измерение.Блок измерения может фиксировать переходные сопротивления и ниже минимального значения (5102 Ом), Величины Ою иОацх "0" определяются напряжением Опит,которое подается в блок измерений для автоматизации процесса проверки контактирования,Возможна также реализация способа,при которой на генераторе импульсов устанавливается минимальное входное напряжение Овх, которое при ожидаемыхзначениях переходных сопротивленийобеспечивает функционирование испытуемой ИС, Блок измерения контролирует этотсигнал, При наличии переходного сопротивления (допустим 81 (фиг. 1) по величинебольше ожидаемого) появляется дополнительное напряжение Ою, снижающее поро1659924 Составитель В.Степанкин.Редактор А,Лежнина Техред М,Моргентал Корректор Н,Корол Подписноеретениям и открытияшская наб 4/5 аз 1843 Тираж 437 ВНИИПИ Государственного комит 113035, МоскваПроизводственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул.Гагарина, 101 оговое входное напряжение непосредственно на выводе ИС, которое уже не позволяет воздействовать на испытуемую ИС по первому входу - функционирование ИС прекращается, что фиксируется блоком 5 контроля.Предлагаемый способ позволяет зафиксировать переходное сопротивление величиной 15-100 Ом, чем и обеспечивается повышение достоверности контроля контактирования ИС, так как становится возможным оценивать качество контактирования при различных заданных величинах переходного сопротивления,Формула изобретения 1. Способ контроля контактирования интегральных схем, заключающийся в том, что на контролируемые микросхемы подают напряжение питания и импульсное воздействие, измеряют информативный параметр, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения достоверности контроля, перед началом контроля на достоверной выборке устанавливают зависимость между величиной информативного параметра и контактным сопротивлением микросхем, в процессе испытаний определяют по измеренному значению информативного параметра вели чину контактного сопротивления, сравнивают его с эталонной величиной и по результату сравнения судят о качестве контактирования микросхем, причем в качестве информативного параметра выбирают раз ность между входным и выходным напряжениями микросхемы.2. Способ по и. 1, отл ич а ю щи йс ятем, что при подаче импульсного воздействия на вход микросхемы его амплитуду вы бирают равной пороговому напряжениюпереключения данного типа интегральных схем, контролируют функционирование микросхемы и при его наличии считают контактирование удовлетворительным.20 3.Способпоп,1,отличающийсятем, что в качестве информативного параметра принимают разность между напряжением питания и напряжением выходного сигнала интегральной микросхемы.25