Узел соединения вакуумных трубопроводов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1613780
Автор: Иванов
Текст
(51)5 Г 16 1. 23/02 ОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫИ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) УЗЕЛ СОЕДИНЕНИЯ ВАКУУМНЫХТРУБОПРОВОДОВ(57) Изобретение относится к соединительным элементам вакуумных трубопроводови м, б. использовано при производствеизделий микроэлектроники. Цель изобретения - упрощение монтажа-демонтажа. Узел соединения вакуумных трубопроводов содержит фланцы 1 и 2, уплотнительный элемент 3, охватывающие фланцы П-образные захваты 8, соединенные шарнирами, поджимной элемент, выполненный в виде металлического кольца 7 и кольцевой волнистой пружины 6 из сплава с памятью формы, сопрягающихся между собой. Поджимной элемент размещен между боковыми поверхностями фланца 1 и захватов 8, причем кольцевая волнистая пружина 6 контактируе 1 с торцом фланца. 2 ил.1613780 Формула изобретения Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к соединениям вакуумных трубопроводов, и может быть использовано при производстве изделий микроэлектроники.Цель изобретения - упрощение монтажа- демонтажа.На фиг, 1 изображен узел соединения вакуумных трубопроводов при сборке (вверху) и в рабочем положении (внизу), фронтальный разрез; на фиг. 2 - разрез А - А на фиг, 1.Узел соединения вакуумных трубопроводов содержит сопрягаемые фланцы 1 и 2, уплотнительный элемент 3 в виде прокладки из мягкого металла (меди, алюминия или никеля). Фланец 1 имеет кольцевой зубчатый выступ 4, На фланце 2 выполнена ответная кольцевая канавка 5. На одном трубопроводе установлена кольцевая пружина 6 из сплава с памятью формы, например никелида титана, одна поверхность которой сопрягается .с. поверхностью фланца 1, а другая - с металлическим кольцом 7. Сопрягаемые фланцы 1 и 2 взаимодействуют с захватами 8, связанными между собой, например, легкосьемными шарнирами 9. В исходном положении в начальной стадии сборки узла волнистая пружина 6 из сплава с памятью формы имеет форму плоской шайбы, После установки на трубопровод пружины 6 и кольца 7 уплотнительный элемент 3 и сопрягаемые фланцы 1 и 2 вакуумных трубопроводов соединяются захватами 8 с небольшим зазором и фиксируются легкосьемными шарнирами 9. Затем производится нагрев, например, газовой горелкой пружины 6 до температуры 35 - 70 С в зависимости от процентного содержания сплава с памятью формы через прорези между захватами 8.При этом сплав пружины 6 вспоминает и принимает заданную при выполненной ранее термообработке волнистую форму, Напряжения йри возврате формы могут достигать 200 МПа и более. Пружина 6 при восстановлении волнистой формы, взаимодействуя с металлическим кольцом 7, фланцем 1 и захватом 8, создает сжимающие нагрузки, которые передаются коль цевому зубчатому выступу 4. Последнийдеформирует уплотнительный элемент 3, заполняет канавку 5, обеспечивая вакуумную плотность соединения трубопроводов.При необходимости демонтажа узла кольцевую волнистую пружину 6 охлаждают хладагентом,. например жидким азотом, до отрицательных температур, В этом случае происходит обратный возврат формы плоской шайбы пружине 6. Между кольцом 7 и опорной поверхностью захвата образуется за зор, достаточный для извлечения захватов и полной разборки узла.Перед повторной сборкой заменяют уплотнительный элемент. Далее цикл повторяется. Узел соединения вакуумных трубопроводов, содержащий фланцы, уплотнительный элемент между ними, стянутые П-образными 30 захватами, и поджимной элемент, отличающийся тем, что, с целью упрощения монтажа-демонтажа, поджимной элемент выполнен в виде металлического кольца и кольцевой волнистой пружины из сплава с памятью формы, сопрягающихся между соЗ 5 бой, и размещен между боковыми поверхностями одного из фланцев и захватов, причем кольцевая волнистая пружина контактирует с торцом фланца.1613780 аг. ИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5 роизводственно.издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 1 О
СмотретьЗаявка
4636105, 12.01.1989
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7873
ИВАНОВ ЮРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: F16L 23/02
Метки: вакуумных, соединения, трубопроводов, узел
Опубликовано: 15.12.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1613780-uzel-soedineniya-vakuumnykh-truboprovodov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Узел соединения вакуумных трубопроводов</a>
Предыдущий патент: Разъемное соединение трубопроводов
Следующий патент: Шарнирное соединение труб
Случайный патент: Групповой станок для содержания телят