Датчик температуры

(5 ИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕ 2термочувствительный элемент, один слой которого выполнен в виде тензорезисторов. Толщины слоев выбраны определенным образом из приведенного соотношения. Датчик снабжен также до" полнительными тензорезисторами, толщи на и база которых меньше толщины и базы первых тензореэисторов. Все тенэорезисторы включены в полный мост. При изменении температуры вследствие разного коэдхЬициента термического расширения материалов слоев термочувствительного элемента происходит изгиб последне и на выходе моста возникает элепорциональныйф-лы, 2 ил,ой слоев 1 и 2 материнтами терми1 термочувтолщиной Ь алов с разл ческого ра ными коэААициеширения. Слойного элементаЪ, выполнен иэиз двух вольфрторов 3 и 4 то ствительи шириной а слой 2 алюминия,мрениевыхщиной Ьензорезисбазой 1. на активной полоски тензорезист 3 и 4 равна Ь;.олщины слоев 1 ильного элемента вь т о 2 термочувстЖраны из соо т шения де Г, и т ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР А ВТОРСНОВЛУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(56) Авторское свидетельство СССРУ 1045005, кл. С 01 К 56, 1982.Патент СЧА У 3403558,кл. 73-362, опублик, 1968, .(57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повыситьточность измерений за счет улучшениястабильности выходной характеристикидатчика и увеличения его чувствительности. Датчик содержит двухслойный Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение при тонких медико-биологических исследованиях, диагностике и конт роле температуры различных технологических процессов.Целью изобретения является повышение точности измерений температуры за счет увеличения стабильности выходной характеристики датчика и его чувствительности.На фиг, 1 (а,б и в) показан предлагаемый датчик в трех проекциях;на йиг. 2 - схема соединения тензорезисторов тензочувствительных слоев термочувствительного элемента датчикаДатчик температуры содержит двухслойный термочувствительный элемент, выполненный в виде скрепленных между рическии сигнал, .проемпературе. 1 з.п. модули упругости материвалов слоев;обре тени мула 1. Датчидвухслойныймент, одинзоччвствите е к температуры, со термочувствитель слой которого вып льным и включен в ельного моста, о т л я тем, что, с цельюый элелнен те х ери чаловышии ных полосок тензорезисторов 3 и 4,Для получения максимальной чувствительности и линейности выходной ха 5рактеристики датчика он снабжен дополнительными тензорезисторами 5 и 6 толщиной Ь э и базой 1 з, при этом Ьз(ЬТ, Ьа 1 1, Тенэорезисторы 5 и 6 такжевыполнены из вольфрамрениевого сплава 1 ри размещены на слое 1,противоположнотензорезисторам 3 и 4. Все тензореэисторы включены в полный мостУитсона.Датчик температуры работает следующим образом,При изменении температуры вследствие значительно большего коэффициентатермичеакого расширения у алюминия,чем у вольфрамрения происходит изгиб 20термочувствительного элемента. В результате происходит разбаланс мостаи на выходе последнего возникает сигнал, пропорциональный изменению температуры. 25шения точности измерений, тензочувствительный слой термочувствительногоэлемента выполнен в виде двух тензорезисторов, при этом толщины слоеввыбраны из соотношения Ь, - толокна первого слоя термо чувствительного элемента; Ь- толщина тензореэисторов;Е , К - модули упругости материало первого слоя и тензорезисторов соответственно; где- суммарная ширина рабочейчасти тензорезисторов;Ъ, - ширина первого слоя термочувствительного элемента.2. Датчик по п. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что он снабжен дополнительным тензочувствительным слоем, размещенным на первом слое термочувствительного элемента со стороны, про тивоположной его тенэочувствительному слою, и выполненным из двух тензоре" эисторов, база и толщина которых меньше базы и толщины тенэорезисторов первого тензочувствительного слоя, при этом тензорезисторы каждого тензочувствительного слоя включены в противоположные плечи измерительного моста.1596213 пил Составитель В.Голубев Техред Л.Олийнык Корректор СЛевкун еда Подписное Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул, Гагарин Заказ 2904 Тираж 498ВНИИПИ Государственного комитета по113035, Москва, Жобрете Раушск и открытиям при ГКНТ СЧСРаб., д. 45