Зондовое устройство

(21) 41 (22) 05 (46) 23 (72) Ю, и В,В,Ч (53) 62 (56) Ба оди ния являе тельности держит эл1 3 И,А.Фо 8.8)др. Термобимета аботка, свойств е, 1986, с48,шкин В,А,позиции оашинострое ы: кфиг. 3 Там(54) 3011 ДО (57) Изобр тельным ус полупровод может быть удельного ния полупр тени ройс омышленностт ково вано д я измерен опротивлеизобрете повышение в оний, 1 з.п. ческого ов. 1 Лел ктри дник ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ О ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ относится к измериам, применяемым в тся повышение воспроизвизмерений. Устройство соектропроводящий зонд 1, держатель 2 зонда, закрепленный на корпусе механизма 3 подъема и опускания зонда и находящийся над штоком 4, биметаллические пластины 5 и 6, закрепленные шарнирами 7 и 8, нагреватель 9 с выводами 1 О, выключатель 11, источник 12 питания нагревателя, измеряемый образец 13. Поставленная пель достигается за счет введения второй биметаллической пластины, идентичной первой. В устройстве уменьшена зависимость скорости опускания зонда на измеряемый образец от температуры ок ружающей среды, чем обеспечиваетсяспроизводимости измере- Ь-лы, 1 ипИзобретение относится к измери" тельным устройствам, применяемым в полупроводниковой промьпнленности, и может быть использовано для измерения удельного электрического сопротивле 5 ния полупроводников.Цель изобретения - повышение воспроизводимости измерений.11 а чертеже схематично изображено ,зондовое устройство.Устройство содержит электропроводящий зонд 1 из твердосплавного материала, укрепленный в держателе 2 зонда в виде коромысла. Держатель 2 зонда крепится на корпусе 3 механизма подъема и опускания зонда и находится над штоком 4. В корпусе 3 закреплены идентичные биметаллические пластины 5 и 6., расположенные парал дельно одна над другой сторонами из Металла с меньшим температурным расширением, с помощью шарниров 7 и 8, Шарниры 7 жестко укреплены в корпусе 3, шарниры 8 закреплены в корпусе 3 25 от вертикальных перемещений. Шток 4, из материала с низкой теплопроводностью жестко соединен с центрами биметаллических пластин 5 и 6. Нагреватель 9 расположен на пластине 5, выоды 10 нагревателя 9 укреплены на корпусе 3, Выключатель 11 укреплен на корпусе 3, связан со штоком 4 и может бключать и выключать источник 12 пиТания нагревателя 9. Измеряемый образец 13 расположен на корпусе 3 под зондом 1.Устройство работает следующим образом.При начальном положении биметаллических пластин 5 и 6 шток 4 включает40 с помощью выключателя 11 источник 12 питания нагревателя 9, биметаллическая пластина 5 нагревается и изгибая вверх шток 4 поднимается, пр одолевая упругость пластины 6. Поднявшись до держателя зонда 2, шток 4 толкает его, и зонд 1 отрывается от поверхности измеряемого образца 13. Поднявшись до верхнего положения оп 50 ределяемого взаимным расположением штока 4 и выключателя 11, шток 4 с помощью выключателя 11 отключает источник 12 питания нагревателя 9. РазНость температур биметаллических пластин 5 и 6 уменьшается, пластины 5 и 6 выпрямляются, шток 4 опускается и опускает держатель 2 зонда, а с ним и зонд 1 на поверхность измеряемого образца 13, После этого шток 4 опускается до нижнего положения, определяемого взаимным расположением./штока 4 и выключателем 11, шток 4 с помощью выключателя1 включает источник 12 питания нагревателя 9. 1 икл повторяется.При установке нагревателя 9 на би" металлической пластине 6 опускание зонда 1 на измеряемый образец 13 может происходить при включении источника 12 питания нагревателя 9. При установке биметаллических пластин друг к другу сторонами из металла с большим температурным расширением нагреватель 9 устанавливается на биметаллическую пластину 6 для осуществления возможности опускания зонда при выключении источника 12 питания нагревателя 9 и на пластине 5 для случая опускания зонда 1 при включении источника 12 питания нагревателя 9.Так как начальное положение штока,а следовательно, и зонда определяется разностью температур двух идентичных биметаллических пластин, то ононе зависит от температуры окружающейсреды. Контактное устройство Фиксирует верхнее и нижнее положение штока,а следовательно, максимальную и минимальную разности температур биметаллических пластин, которые при работеустройства не изменяются, и стабилизируется температура корпуса механизма подъема и опускания зонда. Следовательно, уменьшается зависимостьскорости опускания зонда на измеряемый образец от температуры окружающейсреды и повышается воспроизводимостьизмерений,ф о р м у л а и з о б р е т е н и я1, Зондовое устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, содержащее установленные в корпусе электропроводя щий зонд из твердосплавного материала, держатель зонда, механизм подъема и опускания зонда с биметаллической пластиной, жестко соединенной с зондом, и нагревателем, расположенным на биметаллической пластине, и источник питания нагревателя, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью повьшжСоставитель Н.ШмелевТехредЛ.Сердюкова Корректор Э.Лончакова Редактор Г,Волкова Заказ 171 Тираж 446 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж; Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 5 538195 б ния воспроизводимости измерений, в свободно в пазу корпуса, размещенньва корпусе дополнительно установлена . в ее плоскости.вторая биметаллическая пластина, 2, Устройство по и,1, о т л иицентичиая первой расположенная па- ч а ю щ е е с я тем что оно допол-.15. раллельно ей и обращенная к ней одно- нительно содержит контактную группу, иченным металлом, каждая пластина кинематически связанную с зондом и шарнирно одним концом прикреплена к электрически связанную с нагревате корпусу, а другим концом установлена лем.