Способ определения порога вторичной электронной эмиссии металла

ТЕНИ има исс ова М.В. М.: Наука,коэффэмис цящихэнергмуле ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОРОГА ВТО РИЧНОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ МЕТАЛЛА(57) Изобретение относится к областиэлектронного машиностроения и можетбыть использовано при конструировании и изготовлении устройств, в рабо Изобретение относигся к электронному машиностроению и может быть использовано при конструировании и изготовлении различных устройств, в работе которых используегся явление электронной эмиссии с металлических поверхностей.Целью изобретения является повьппение точности определения порога вторичной электронной эмиссии (ВЭЭ) металла. В способе определения порога Е р мегалла, предусматривающем бомбардировку помещенной в откачанный прибор исследуемой мишени сфокусированным 801518745 А 1 2те которых используется явление электронной эмиссии с металлических поверхностей. Цель изобретения - повьппение точности определения порога вторичной электронной эмиссии. Для определения порога вторичной эмиссии на исследуемую мишень направляют сфокусированный пучок медленных электроновПодавая на сетку прибора отрицательный по огношению к мишени потенциал, получают распределение вторичных электронов по энергиям. Для определения эффективного электронного сродства Х з из полученных вторичных электронов вычитают упругоотраженные и по электронам, энергии которых меньше энергии электронов в первичном пучке, находят значения у На построенном графике зависимости Х, от энергии первичных элекгрокое Ер по излому пе кем апре- С деляют величину порога вгоричной эмиссии. 1 ил. пучком медленных электронов, для нахождения величины Е получают распреРделения вторичных электронов , по энергиям в области малых энергий первичных электронов и строят график зависимости эффективного электронного сродства Хот энергии первичных электронов, причем величину х вычисляют по экспериментальным значения циенга вторичнои электроннои и и количества элекгронов, вхов вакуум с энергиями, меньшимиии первичных элекгронов, по фор Х э1 +Г 1+ эфГ хэф 11 Е 1518 74 5хэф = 3 эВ и ,= 3,5 эВ методом линейной интерполяции определялось соогветствующее данной энергии Е р6,2 эВ значение+Е;фх,ф1Г эфЕ,. 1А11 50 где Е . - средние значения энергийэлектронов в каждом из интерваловразбиения была несколько меньше, адругая - несколько больше эксперимен 55тального значения тока мишени 1Ь = 0,775. По этим двум значениям где А - коэффициент вторичной электронной эмиссии;х - эффективное электронное сродэфство 10Е; - энергия вторичных электронов 3д; - количество вторичных электронов, выходящих в вакуумс энергией Е 15Способ осуществляют следующим образом.Мишень, изготовленную из поликрис - таллической вольфрамовой фольги тол - шиной 0,1 мм, тщательно обезгаживают 20 в вакууме -10 Торр при температуре 2500 К. Измерения проводят в приборе типа квазисферического конденсагора с антидинатронной сеткой. Источником электронов служила элекгронная 25 пушка с прямонакальным вольфрамовым катодом. Распределение вторичных электронов по энергиям получали методом электрического дифференцирования кривых задержки вторичного тока и за писывали на двухкоординатном самописце.х вычислялась для энергии первичэгных электронов Е г6,2 эВПоскольку разброс по энергиям в первичном пучке составлял 0,5 эВ,вторичные электроны, начиная с энергии 5,7 эВ, считались упруго отраженными, и поэтому разбиение кривой распределения проводилось вплоть до этой энергии. Шаг 40 разбиения составлял 0,5 эВ. После определения количества электронов г, принадлежащих различным интервалам энергий, подбирались два таких донольно близких значения х,эф= 3 эВ и 1,д,ф= 45 = 3,5 эВ, чтобы одна из соответствующих им сумм 0775-07403 + ээ 0 823 0 740 3 ь 21 эВАналогичные вычисления х ф проводились для всех остальных значений ЕКак следует из представленной на чертеже (кривая 1) зависимости х эф (Е р) значение порога ВЭЭ для вольфрама равное 4,4 эВ оказалось весьма близким к рекомендованному в справочнике значению работы выхода вольфрама 4,54 эВ.Затем на мишень напыпяли массивный слой платины и определяли порог ВЭЭ э гого слоя (кривая на чертеже) полученное значение 5,7 эВ отличается от значения работы выхода платины 5,32 эВ. Одновременно с измерением пороговых значений энергии определялась и величина контакгной разности потенциалов между вольфрамовой подложкой и напыленным :поем платины по методу Андерсона, которая составила 1,3 эВ, что точно соогветствует разности пороговых значений энергии для вольфрама и платины.Формула изобретенияСпособ определения порога вторичной электронной эмиссии металла, заключающийся в бомбардировке в вакууме исследуемой мишени пучком сфокусированных медленных электронов и регистрации энергетических распределений вторичных электронов при различных энергиях первичного пучка, о т л и ч а ю " щ и й с я тем, что, с целью повьппения точности определения порога вторичной электронной эмиссии, измеряют количество электронов 6;, выходящих в вакуум с энергиями Е меньшими энергии первичных электронов, и полный ток вторичных электронов, по ко" торому определяют коэффициент вторичной электронной эмиссии Ь, затем по найденным величинам рассчитывают величину эфФективного электронного сродства х,ф, строят график зависимосги х,ф от энергии первичных электронов и по излому на графике определяюг порог вторичной электронной эмиссии.1518745 Составитель М.СевостьяновРедактор Ю.Середа Техред Л.Сердюкова Корректор Т.Пали Подписное СССР изводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 10 Заказ 6601/ВНИИПИ Госуд Тираж 789ственного комитета по изо 113035, Москва, Ж, Р ретениям и открытиям приушская наб., д. 4/5