Способ получения пластин из внутреннеокисленного сплава на основе серебра

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 785 22 Г 1/ НИЯ ки, ча- т(2 (2 (4 0-1 К, котоедуя кис- кислорода иг при темпера ый проводят цик ород со смесью а 100 ч. инерт ество циклов и уреличеиэ 1 ки,5причем колт по формул ого предел 2 (Зх но опластины, см де Ь - то ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЦТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБ ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ 1) 4392074/31-022) 16,03.886) 15.09.89. Бюл. Кф 34(71) Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых матери-. алов АН СССР(57) Изобретение относится к получению пластин из внутреннеокисленного сплава на основе серебра, Цель изобретения - повышение механических свойств пластин из сплавов серебра за счет создания многослойной структуры. Пластины подвергают внутрен" нему окислению при температуре 950 -ев А.Я.Виленкинов4,669,225(088.8).П., Розенберг В.М.енные сплавы. - М,:978, с.1-232,Вегга 8 гцг Пдвреги Б 11 Ьег. - Иеце Нц 1 ге,7, в420-423,ЛУЧЕНИЯ ПЛАСТИН ИЗ ВНУОГО СПЛАВА НА ОСНОВЕ Изобретение относится к металлу гии, в частности к внутреннему оки лению пластин из сплавов на основе серебра. Цель изобретения - повышение ме нических свойств пластин за счет создания многослойной структуры. Предложенный способ внутреннего окисления пластин из сплавов на ос ве серебра включает изотермический1150 К, которое проводят цикличес чередуя кислород со смесью из 1-5 стей кислорода на 100 частей инер ного газа, причем количество циклон и определяют по формуле п=Ь/2(3 102 х 10 ), где Ь - толщина изделия, см; время выдержки в кислороде в первом цикле определяют по формуле ь, =и =5 1 х В х Ь С 10 0 /п(с), где С - концентрация легирующего элемен та в сплаве, ат,7.: Т - температура, К; В - отношение стехиометрических коэффициентов при кислороде и легирующем элементе в окисле, образующемся при внутреннем окислении; время выдержки в кислороде в цикле номер 1 (1з.а) определяют по формуле= = 1. х ,-А, где А - сумма длительлностей предыдущих циклов; время выдержки в газовой смеси в цикле номеропределяют по формуле 6;=0,02 с х х 1 р -1 , где я - объемная доля кислорода в газовой смеси. Способ позволяет повысить предел прочности до 12 кг/мм, а относительное удли" нение д до 107 2 табл.3 507857Время выдержки в кислороде в первом цикле Как видно из табл,2, предложенный способ получения пластин из внутреннеокисленных сплавов на основе серебра позволяет повысить уровень механических свойств, а именно: предел прочности на 10-193 и относительное удлинение на 15"203 по сравнению со способом-прототипом. Формула изобретенияСпособ получения пластин из внутреннеокисленного сплава на основе се- ребра, включающий изотермический отжиг при температуре 950-1150 К в кислородсодержащей газовой среде, отличающий с я тем, что, с целью повышения механических свойств засчет создания многослойной структуры, отжиг проводят циклически,. чередуя кислород со смесью иэ 1-5 ч. кислорода на 100 ч, инертного газа, причем количество циклов и определяют по соотношению 2 (3 10210 ) где Ь - толщина пластины сплава, см, ;время выдержки в кислороде определяют по соотношению в первом цикле5 1 хВ Ь "С 10и/где С - концентрация легирующего элемента в сплаве, ат,Е;Т - температура К;В - отношение стехиометрическихкоэффициентов при кислородеи легирующем элементе в оксиде, образующимся при внутреннем окислении;время выдержки в кислороде в цикле номер( 1 (п) определяют по соотношению х -А где А - сумма длительностей предыдущих циклов,а время выдержки в газовой смеси в цикле номеропределяют по соотно- шению В 002 л К 1 г где я - объемная доля кислорода в газовой смеси. 1 50 ЮО(Т51 В Ь С х 107ф с где С - концентрация алюминия всплаве, ат.Х;Т - температура отжига, К;В - отношение стехиометрических коэффициентов при кислороде и легирующем элементе в окисле, образующемся при внутреннем окислении.Время выдержки в кислороде в -м цикле (1 ( х 6 и) определяют по фор-15 муле х д - Алг1 1где А - сумма длительностей предыдущих циклов 20Время выдержки в газовой смеси в 1.-м циклеВ =002Фгде д - объемная доля кислорода в газовой смеси.Пластину из сплава А 8 - 0,5 ат.% А 1 размером 20 10 х 1 мм подвергали внутреннему окислению при 1073 К и цикличесюм чередовании кислорода со смесью из 1 ч кислорода на 100 ч аргона. Окисление проводили в кварцевой трубе, через один конец которой подавали кислород или газовую смесь, другой ее конец оборудован гидравлическим затвором. Задав расстояние между слоями в 110см, получили величину п = 5. Пользуясь известными значениями концентрации алюминия в сплаве, температуры и состава газовой смеси, определяли времена выдерж" 40 ки пластины в кислороде и в газовой смеси для всех, циклов.Результаты приведены в табл,1.Механические свойства определяли на серии из 8 образцов при испытани ях на растяжение при температуре 773 К, Средний предел прочности составил 11,9 кг/мм, а среднее относительное удлинение 9,87 50В табл,2 сравниваются механические свойства пластин иэ сплава Ая - О, 5 ат,Е А 1, окисленных по различных режимам в соответствии с известным и предложенным способами. и )1507857 Таблица 1 Время выдержки, с. в цикле1 2 3 4 5 Параметр,л Ь 70 201 325 452 . 577 8 23 37 52 67 е,. Таблица 2 ОтносиКол-воциклова Пределпрочности 6,кг/мм Температура,. К Толщина образца 1., см Способ тельное удлинение д,Предлагаемый Запредельные значения Изв естный(окислениетолько Вкислороде) Составитель М.ДоперчукРедактор ЛПчолинская ТехредИ.ВересКорректор С.Шекмар Заказ 5523/33 Тираж 576 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР13035, Москва, Ж, Раушская.наб., д, 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент"г.ужгород, ул. Гагарина,101 Объемнаядоля кислорода вгазовойсмеси 0,010,030,050,0050,10,030,031,О 1073 1073 1073 1073 1073 950 1073 1123 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,03 0,2 0,1 5 11,9 5 11,5 5 10,9 5 9,3 5 10,5 5 11,3 5 1,210 9,8 10 9 8 6 6 8 8