Система для управления нагревательным элементом

Номер патента: 1471174

Авторы: Заборня, Сафохин

ZIP архив

Текст

свидеС 0 ГРЕВАДЛЯ УПРАВЛЕН ОМ ектие относит может быт нии аналогспольз оваифровых управлениих проце нных сист хнологиче 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ П 1 НТ СССР ОПИСАНИЕ И(57) Изобретероавтоматикено при построавтоматизировтемпературой сов, например диФФузии, окисления иэпитаксии полупроводниковых пластин,Целью изобретения является повьппемекачества управления. Указанная цельдостигается за счет ввЕцення в устройство для управления нагревателсчетчика, мультиплексора, блок срнения, ВС-цепочки, триггера и инвертора. Устройство содержит источник1 переменного напряжения, управляемый выпрямительный элемент 2, нагревательный элемент 3, делитель 4 напряжения, нуль-орган 5, преобразователь 6 код - интервал времени, счетчик 7, мультиплексор 8, блок 9, сравнения, ВС-цепочку 10, триггер 11 иинвертор 1 2. 1 ил.1471174 Формула изобретения Система для управления нагревательным элементом, содержащая источник переменного напряжения, выход которого через управляемый выпрямительный элемент подключен к нагревательному элементу и через последовательно соединенные делитель напряжения Составитель Г,Нефедова Редактор АЛандор Техред Л.Сердюкова Корректор И.ВасильеваЗаказ 1606/49 Тираж 788 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 ходов по приходу на его счетный вход импульсов с выхода нуль-органа 5 И = О, 1, 2, и т.д,), При этом код И поступает на преобразователь 6 код - интервал времени и преобразуется в мощность, выделяемую на элементе 3.Таким образом, мощность выделяемая на нагревательном элементе З,постепенно увеличивается с каждым периодом напряжения Ц(1) до момента, когда выполняется условие И 7 = Б . В этот йомент блок 9 сравнения вырабатывает импульс, который перебрасывает триггер 11. Последний,в свою очередь, переключает мультиплексор 8, подключая тем самым код И на вход преобразователя 6 код - интервал вре" мени, После этого система работает в описанном рабочем режимеи нуль-орган - к входу синхронизации преобразователя код - интервалвремени, корректирующий вход которо го подключен к выходу делителя напря"жения, выход преобразователя код -интервал времени соединен с входомуправления управляемого выпрямительного элемента, о т л и ч а ю щ а яс я. тем, что, с целью повышения качества управления, в нее введенысчетчик, мультиплексор, блок сравне"ния, ВС-цепочка, триггер и инвертор,причем выход нуль-органа соединен 15 со счетным входом счетчика, выходкоторого соединен с первым входомблока сравнения и первым входом мультиплексора, выход которого соединенс информационным входом преобразова-.30 теля код - интервал времени, второйвход мультиплексора подключен к входу системы и соединен с вторым входом блока сравнения, выход которогосоединен с входом установки в "О" 25 триггера, выход которого соединен суправляющим входом мультиплексора,а вход установки триггера в "1" соединен с выходом НС-цепочки и черезинвертор - с входом сброса счетчика З 0 и вход ВС-цепочки подключен к шинепитания.

Смотреть

Заявка

4306793, 21.09.1987

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8495

ЗАБОРНЯ АЛЕКСАНДР ВИКТОРОВИЧ, САФОХИН СЕРГЕЙ МИХАЙЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G05B 11/26

Метки: нагревательным, элементом

Опубликовано: 07.04.1989

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1471174-sistema-dlya-upravleniya-nagrevatelnym-ehlementom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Система для управления нагревательным элементом</a>

Похожие патенты